一种压电陶瓷驱动的三自由度角度调节装置及调节方法

文档序号:10660188阅读:554来源:国知局
一种压电陶瓷驱动的三自由度角度调节装置及调节方法
【专利摘要】一种基于压电陶瓷驱动的三自由度调节装置,由位于底部的Z方向偏转机构、以及安装在底部的X方向偏转机构、安装X方向偏转机构上的Y方向偏转机构和安装在偏转机构角度输出的偏转块上的载物台组成;Z方向偏转机构位于底部,由安装基板和两个带预紧的压电堆组成;Z方向偏转机构内的压电堆在大小和方向相同的电压下输出Z方向偏转;X方向偏转机构和Y方向偏转机构原理类似,包含偏转机构框架和一对压电堆,X方向偏转机构和Y方向偏转机构垂直安装,整体垂直于Z方向偏转机构平面;当某一偏转机构内的一对压电堆在差分电压作用下产生差分位移,并在柔性铰链的导向作用下使偏转块产生角位移输出;本发明由于三个轴独立驱动,无摩擦,可实现三自由度大范围、高精度调节。
【专利说明】
一种压电陶瓷驱动的三自由度角度调节装置及调节方法
技术领域
[0001]本发明属于精密仪器技术领域,具体涉及一种基于压电陶瓷驱动的三自由度调节 装置及调节方法。
【背景技术】
[0002] 随着航天工程等学科的迅速发展,高精度姿态调节机构在目标扫描探测、跟踪、瞄 准以及天文望远镜、图像稳定控制、航天器通讯精确指向等方面得到了广泛应用,并发挥着 日益重要的作用。
[0003] 以音圈电机为核心器件的电磁类作动装置,往往具有体积大,工作时有电磁泄漏, 且位置保持时功耗大、发热严重等不足。
[0004] 基于传统摩擦铰链的连接方式,存在传动精度低、器件磨损,以及为了减少磨损而 采用润滑导致的器件污染。
[0005] 压电作动器具有尺寸小、重量轻、功耗低、响应快、作动精度高、输出力大、发热小 等特点,广泛应用于高精度调节和作动机构中。
[0006] 基于柔性铰链的传动基于结构的弹性变形,传动精度高,无摩擦,无需润滑等优 点。

【发明内容】

[0007] 为了避免上述音圈电机及摩擦铰链的不足,本发明的目的在于提供基于压电陶瓷 驱动的三自由度调节装置及调节方法,本发明装置能够使所驱动的对象独立沿X、Y、Z方向 偏转;该装置具有尺寸小、重量轻、无机械摩擦、能快速响应、角度保持功耗低、三自由度独 立调整的特点。
[0008] 为了实现上述目的,本发明采用如下技术方案:
[0009] 一种基于压电陶瓷驱动的三自由度调节装置,包括依次连接的Ζ方向偏转机构1、Χ 方向偏转机构2、Υ方向偏转机构3和载物台4;所述Ζ方向偏转机构1位于Χ0Υ平面内,为装置 的安装底座,X偏转的偏转机构2位于Υ0Ζ平面内,Υ方向偏转机构3位于Χ0Ζ平面内;
[0010] 所述Ζ方向偏转机构1由安装基板1-1、第一带预压力的压电堆作动器1-2、第一 Ζ方 向偏转梁1-3、第二带预压力的压电堆作动器1_4、Ζ方向偏转块1-5和第二Ζ方向偏转梁1-6 组成;所述安装基板1-1分别与第一 Ζ方向偏转梁1-3和第二Ζ方向偏转梁1-6通过柔性铰链 连接;第一 Ζ方向偏转梁1-3和第二Ζ方向偏转梁1-6与Ζ方向偏转块1-5通过柔性铰链连接;Ζ 方向偏转块1-5无铰链的两侧为安装凹槽;第一带预压力的压电堆作动器1-2和第二带预压 力的压电堆作动器1-4安装在安装基板1-1内,一端嵌入安装基板1-1内,另一端分别安装在 通过柔性铰链与第二Ζ方向偏转梁1-6和第一 Ζ方向偏转梁1-3连接的槽内;
[0011] 所述X方向偏转机构2由整块金属切割成的框架和两个压电堆组成;包括形状为向 上"凹"形的具有较大刚度的轴对称的金属框形成的基座2-1,基座2-1内部的凹槽用于与Υ 方向偏转机构3安装配合用,基座2-1内侧顶部两端通过外侧柔性铰链与第一X方向偏转梁 2- 3和第二X方向偏转梁2-5相连;第一 X方向偏转梁2-3和第二X方向偏转梁2-5的内侧通过 内侧柔性铰链与X方向偏转块2-4相连;X方向偏转块2-4为向下"凹"形的金属块,用于和Y方 向偏转机构3中的Y方向偏转块安装配合用;基座2-1的底部有两个突出的金属块,形成下凹 安装槽2-8,用于与Z方向偏转机构1上的Z方向偏转块1-5的安装凹槽实现安装用;第一X方 向偏转梁2-3和第二X方向偏转梁2-5靠近基座2-1处的下端分别设置有用底部柔性铰链连 接的金属帽,用于安装压电堆并起导向做用;第一X方向压电堆2-2和第二X方向压电堆2-6 下端安装在基座2-1上,上端通过金属帽与第一 X方向偏转梁2-3和第二X方向偏转梁2-5相 连;
[0012] 所述Y方向偏转机构3由整块金属切割成的框架和两个压电堆组成;包括刚性基座 3- 1,刚性基座3-1底部有一个凹槽用于和X方向偏转机构2的底部凹槽,通过加工尺寸的约 束实现定位配合;刚性基座3-1内侧顶部两端通过外侧柔性铰链与第一Y方向偏转梁3-3和 第二Y方向偏转梁3-5相连接;第一 Y方向偏转梁3-3和第二Y方向偏转梁3-5靠近刚性基座3-1处的底端通过底部柔性铰链与压电堆安装帽相连接;第一 Y方向偏转梁3-3和第二Y方向偏 转梁3-5的内侧通过内侧柔性铰链与Y方向偏转块3-4连接;Y方向偏转块3-4为上表面带有 凹槽的金属块,凹槽用于和X方向偏转块2-4安装配合;第一 Y方向压电堆3-2和第二Y方向压 电堆3-6下端安装在刚性基座3-1上,上端分别安装在第一 Y方向偏转梁3-3和第二Y方向偏 转梁3-5压电堆安装帽上;
[0013] 所述载物台4上表面为物体安装平面,形状根据对象设定;底部为X、Y双向的凹槽 分别用于与X方向偏转块2-4和Υ方向偏转块3-4相连,安装后的X方向偏转块2-4与Υ方向偏 转块3-4成为一个整体。
[0014] Ζ方向偏转机构1和X方向偏转机构2之间相配合部分通过螺钉连接;X偏转的偏转 机构2和Υ方向偏转机构3之间配合部分通过螺钉连接;载物台4与X方向偏转机构2与Υ方向 偏转机构2安装后的偏转块通过螺钉连接;载物台4上留有安装孔,以便搭载物体安装。
[0015] 上述基于压电陶瓷驱动的三自由度调节装置的调节方法:
[0016] 对于所述Ζ方向偏转机构1,当安装在Ζ方向偏转机构1内的第一带预压力的压电堆 作动器1-2和第二带预压力的压电堆作动器1-4在一对大小相等方向相同的电压作用下,基 于压电材料的逆压电效应,压电堆产生大小相等方向相反的一对位移,第一带预压力的压 电堆作动器1-2和第二带预压力的压电堆作动器1-4分别通过柔性铰链推动相连的第二Ζ方 向偏转梁1-6和第一 Ζ方向偏转梁1-3沿伸长方向产生偏转,进而通过柔性铰链驱动位于中 间的Ζ方向偏转块1-5产生偏转;Ζ方向偏转块1-5带动整个调节装置产生Ζ方向的偏转;
[0017] 对于所述X方向偏转机构2,当安装在X方向偏转机构2内的第一X方向压电堆2-2和 第二X方向压电堆2-6基于逆压电效应,在一对差分电压作用下产生一对差分形式位移输 出,第一X方向压电堆2-2和第二X方向压电堆2-6分别通过底部柔性铰链推动相连的第一X 方向偏转梁2-3和第二X方向偏转梁2-5绕着外侧柔性铰链偏转,进而通过内侧柔性铰链驱 动位于中间的X方向偏转块2-4绕着X轴偏转,从而带动载物台4实现X轴方向上的偏转;
[0018] 对于所述Υ方向偏转机构3,当安装在Υ方向偏转机构3内的第一Υ方向压电堆3-2和 第二Υ方向压电堆3-6基于逆压电效应,在一对差分电压作用下,产生一对差分形式位移输 出,第一Υ方向压电堆3-2和第二Υ方向压电堆3-6通过底部柔性铰链推动相连的第一Υ方向 偏转梁3-3和第二Υ方向偏转梁3-5绕着外侧柔性铰链偏转,进而通过内侧柔性铰链驱动位 于中间的Y方向偏转块3-4绕着Y轴偏转,从而带动载物台4实现Y方向上的偏转;
[0019] 所述Χ、Υ、Ζ方向上的偏转均为独立驱动,Χ、Υ输出相互影响小,与Ζ向输出独立;整 个装置无机械摩擦,实现三轴高精度角度独立调节。
[0020] 与现有技术相比较,本发明具有如下优点:
[0021 ] 1 )、结构紧凑,尺寸小,重量轻。
[0022] 2 )、三轴独立驱动,无机械摩擦,精度高。
[0023] 3)、在满行程时可输出较大角位移,若角度输出小时,可实现较低的驱动电压和较 低的功耗,增加了装置实用性。
【附图说明】
[0024] 图1为本发明装置装配图。
[0025] 图2为Ζ方向偏转机构。
[0026]图3为X方向偏转机构。
[0027]图4为Υ方向偏转机构。
[0028]图5为各轴偏转示意图。
【具体实施方式】
[0029]本发明一种基于压电陶瓷驱动的三自由度调节装置,包括Ζ方向偏转机构1、Χ方向 偏转机构2、Υ方向偏转机构3和载物台4。装配图如图1所示,X方向偏转机构3和Υ方向偏转机 构3垂直安装,整体垂直于Ζ方向偏转机构1平面。
[0030] 如图2所示,Ζ方向偏转机构1由安装基板1-1、第一带预压力的压电堆作动器1-2、 第一 Ζ方向偏转梁1-3、第二带预压力的压电堆作动器1-4、ζ方向偏转块1-5和第二Ζ方向偏 转梁1-6组成;所述安装基板1-1分别与第一 Ζ方向偏转梁1-3和第二Ζ方向偏转梁1-6通过柔 性铰链连接;第一 Ζ方向偏转梁1-3和第二Ζ方向偏转梁1-6与Ζ方向偏转块1-5通过柔性铰链 连接;Ζ方向偏转块1-5无铰链的两侧为安装凹槽;第一带预压力的压电堆作动器1-2和第二 带预压力的压电堆作动器1-4安装在安装基板1-1内,一端嵌入安装基板1-1内,另一端分别 安装在通过柔性铰链与第二Ζ方向偏转梁1-6和第一 Ζ方向偏转梁1-3连接的槽内。
[0031] 如图3所示,X方向偏转机构2由整块金属切割成的框架和两个压电堆组成;包括形 状为向上"凹"形的具有较大刚度的轴对称的金属框形成的基座2-1,基座2-1内部的凹槽用 于与Υ方向偏转机构3安装配合用,基座2-1内侧顶部两端通过外侧柔性铰链与第一 X方向偏 转梁2-3和第二X方向偏转梁2-5相连;第一 X方向偏转梁2-3和第二X方向偏转梁2-5的内侧 通过内侧柔性铰链与X方向偏转块2-4相连;X方向偏转块2-4为向下"凹"形的金属块,用于 和Υ方向偏转机构3中的Υ方向偏转块安装配合用;基座2-1的底部有两个突出的金属块,形 成下凹安装槽2-8,用于与Ζ方向偏转机构1上的Ζ方向偏转块1 -5的安装凹槽实现安装用;第 一 X方向偏转梁2-3和第二X方向偏转梁2-5靠近基座2-1处的下端分别设置有用底部柔性铰 链连接的金属帽,用于安装压电堆并起导向做用;第一X方向压电堆2-2和第二X方向压电堆 2-6下端安装在基座2-1上,上端通过金属帽与第一 X方向偏转梁2-3和第二X方向偏转梁2-5 相连。
[0032]如图4所示,Υ方向偏转机构3位于Χ0Ζ面内,由整块金属切割成的框架和两个压电 堆组成;包括刚性基座3-1,刚性基座3-1底部有一个凹槽用于和X方向偏转机构2的底部凹 槽,通过加工尺寸的约束实现定位配合;刚性基座3-1内侧顶部两端通过外侧柔性铰链与第 一 Y方向偏转梁3-3和第二Y方向偏转梁3-5相连接;第一 Y方向偏转梁3-3和第二Y方向偏转 梁3-5靠近刚性基座3-1处的底端通过底部柔性铰链与压电堆安装帽相连接;第一 Y方向偏 转梁3-3和第二Y方向偏转梁3-5的内侧通过内侧柔性铰链与Y方向偏转块3-4连接;Y方向偏 转块3-4为上表面带有凹槽的金属块,凹槽用于和X方向偏转块2-4安装配合,安装后的X方 向偏转块2-4与Y方向偏转块3-4成为一个整体;第一 Y方向压电堆3-2和第二Y方向压电堆3-6下端安装在刚性基座3-1上,上端分别安装在第一 Y方向偏转梁3-3和第二Y方向偏转梁3-5 压电堆安装帽上。
[0033]载物台4上表面为物体安装平面,形状可以根据对象设定;底部为X、Y双向的凹槽 分别用于与X方向偏转块2-4和Υ方向偏转块3-4相连。
[0034]为了详细说明各个机构的位置及其安装关系,引入三维坐标系。Ζ方向偏转机构1 位于底部Χ0Υ平面内,为装置的安装底座;X偏转的偏转机构2位于Υ0Ζ平面内。底部通过下凹 安装槽2-8与Ζ方向偏转机构1上的Ζ方向偏转块1-5的安装槽实现安装定位。Υ方向偏转机构 3位于Χ0Ζ平面内,Υ方向偏转机构3底部通过凹槽与X方向偏转机构2的底部凹槽实现定位配 合,X方向偏转机构2和Υ方向偏转机构3二者垂直安装,定位可通过加工尺寸保证。同时,Υ方 向偏转机构3的Υ方向偏转块3-4向上的凹槽与X偏转的偏转机构2顶部X方向偏转块2-4向下 凹槽配合。安装后的X方向偏转块2-4的Υ方向偏转块3-4成为一个整体。
[0035]载物台底部通过双向凹槽与安装后的整体偏转块定位配合。Ζ方向偏转机构1和X 方向偏转机构2之间相配合部分通过螺钉连接;X偏转的偏转机构2和Υ方向偏转机构3之间 配合部分通过螺钉连接;载物台4和X方向偏转机构2与Υ方向偏转机构3配合后的二维偏转 台通过螺钉连接。载物台4上留有安装孔,以便搭载物体安装。
[0036] 上述基于压电陶瓷驱动的三自由度调节装置的调节方法:
[0037] 对于所述Ζ方向偏转机构1,当安装在Ζ方向偏转机构1内的第一带预压力的压电堆 作动器1-2和第二带预压力的压电堆作动器1-4在一对大小相等方向相同的电压作用下,基 于压电材料的逆压电效应,压电堆产生大小相等方向相反的一对位移,第一带预压力的压 电堆作动器1-2和第二带预压力的压电堆作动器1-4分别通过柔性铰链推动相连的第二Ζ方 向偏转梁1-6和第一 Ζ方向偏转梁1-3沿伸长方向产生偏转,进而通过柔性铰链驱动位于中 间的Ζ方向偏转块1-5产生偏转;Ζ方向偏转块1-5带动整个调节装置产生Ζ方向的偏转。
[0038] 对于所述X方向偏转机构2,当安装在X方向偏转机构2内的第一X方向压电堆2-2和 第二X方向压电堆2-6基于逆压电效应,在一对差分电压作用下产生一对差分形式位移输 出,第一X方向压电堆2-2和第二X方向压电堆2-6分别通过底部柔性铰链推动相连的第一X 方向偏转梁2-3和第二X方向偏转梁2-5绕着外侧柔性铰链偏转,进而通过内侧柔性铰链驱 动位于中间的X方向偏转块2-4绕着X轴偏转,从而带动载物台4实现X轴方向上的偏转。
[0039] 对于所述Υ方向偏转机构3,当安装在Υ方向偏转机构3内的第一Υ方向压电堆3-2和 第二Υ方向压电堆3-6基于逆压电效应,在一对差分电压作用下,产生一对差分形式位移输 出,第一Υ方向压电堆3-2和第二Υ方向压电堆3-6通过底部柔性铰链推动相连的第一Υ方向 偏转梁3-3和第二Υ方向偏转梁3-5绕着外侧柔性铰链偏转,进而通过内侧柔性铰链驱动位 于中间的Υ方向偏转块3-4绕着Υ轴偏转,从而带动载物台4实现Υ方向上的偏转。
[0040]所述Z方向偏转机构1、X方向偏转机构2、Y方向偏转机构3结构设计所用偏转原理 一致,如图5所示,L1为偏转梁压电堆驱动铰链中心至外侧柔性铰链中心的距离,L2为偏转 梁压电堆驱动铰链中心距内侧与偏转块连接铰链中心的距离,L3为偏转块在相应偏转机构 所在面内的截面宽度,若压电堆驱动下产生δ?的沿压电堆轴向的位移,则偏转梁端部近似 产生S2的位移。则中间偏转块带动载物台偏转角度α可以近似为:
[0042]所述Χ、Υ、Ζ方向上的偏转均为独立驱动,Χ、Υ输出相互影响小,与Ζ向输出独立。整 个装置无机械摩擦,可以实现三轴高精度角度独立调节。
【主权项】
1. 一种基于压电陶瓷驱动的三自由度调节装置,其特征在于:包括依次连接的Z方向偏 转机构(1)、X偏转的偏转机构(2)、Y方向偏转机构(3)和载物台(4);所述Z方向偏转机构(1) 位于XOY平面内,为装置的安装底座,X偏转的偏转机构(2)位于YOZ平面内,Y方向偏转机构 (3)位于XOZ平面内; 所述Z方向偏转机构(1)由安装基板(1-1)、第一带预压力的压电堆作动器(1-2)、第一Z 方向偏转梁(1-3)、第二带预压力的压电堆作动器(1-4)、Z方向偏转块(1-5)和第二Z方向偏 转梁(1-6)组成;所述安装基板(1-1)分别与第一 Z方向偏转梁(1-3)和第二Z方向偏转梁(1-6)通过柔性铰链连接;第一 Z方向偏转梁(1-3)和第二Z方向偏转梁(1-6)与Z方向偏转块(1-5)通过柔性铰链连接;Z方向偏转块(1-5)无铰链的两侧为安装凹槽;第一带预压力的压电 堆作动器(1-2)和第二带预压力的压电堆作动器(1-4)安装在安装基板(1-1)内,一端嵌入 安装基板(1-1)内,另一端分别安装在通过柔性铰链与第二Z方向偏转梁(1-6)和第一Z方向 偏转梁(1-3)连接的槽内; 所述X方向偏转机构(2)由整块金属切割成的框架和两个压电堆组成;包括形状为向上 "凹"形的具有较大刚度的轴对称的金属框形成的基座(2-1),基座(2-1)内部的凹槽用于与 Y方向偏转机构(3)安装配合用,基座(2-1)内侧顶部两端通过外侧柔性铰链与第一X方向偏 转梁(2-3)和第二X方向偏转梁(2-5)相连;第一 X方向偏转梁(2-3)和第二X方向偏转梁(2-5)的内侧通过内侧柔性铰链与X方向偏转块(2-4)相连;X方向偏转块(2-4)为向下"凹"形的 金属块,用于和Y方向偏转机构(3)中的Y方向偏转块安装配合用;基座(2-1)的底部有两个 突出的金属块,形成下凹安装槽(2-8 ),用于与Z方向偏转机构(1)上的Z方向偏转块(1 -5)的 安装凹槽实现安装用;第一X方向偏转梁(2-3)和第二X方向偏转梁(2-5)靠近基座(2-1)处 的下端分别设置有用底部柔性铰链连接的金属帽,用于安装压电堆并起导向作用;第一X方 向压电堆(2-2)和第二X方向压电堆(2-6)下端安装在基座(2-1)上,上端通过金属帽与第一 X方向偏转梁(2-3)和第二X方向偏转梁(2-5)相连; 所述Y方向偏转机构(3)由整块金属切割成的框架和两个压电堆组成;包括刚性基座 (3-1),刚性基座(3-1)底部有一个凹槽用于和X方向偏转机构(2)的底部凹槽实现定位配 合,所述Y方向偏转机构(3)和X方向偏转机构(2)垂直安装,并通过加工尺寸来保证配合;刚 性基座(3-1)内侧顶部两端通过外侧柔性铰链与第一Y方向偏转梁(3-3)和第二Y方向偏转 梁(3-5)相连接;第一 Y方向偏转梁(3-3)和第二Y方向偏转梁(3-5)靠近刚性基座(3-1)处的 端通过底部柔性铰链与压电堆安装帽相连接;第一 Y方向偏转梁(3-3)和第二Y方向偏转梁 (3-5)的内侧通过内侧柔性铰链与Y方向偏转块(3-4)连接;Y方向偏转块(3-4)为上表面带 有凹槽的金属块,凹槽用于和X方向偏转块(2-4)安装配合;第一 Y方向压电堆(3-2)和第二Y 方向压电堆(3-6)下端安装在刚性基座(3-1)上,上端分别安装在第一 Y方向偏转梁(3-3)和 第二Y方向偏转梁(3-5)压电堆安装帽上; 所述载物台(4)上表面为物体安装平面,形状根据对象设定;底部为X、Y双向的凹槽分 别用于与X方向偏转块(2-4)和Υ方向偏转块(3-4)相连,安装后的X方向偏转块(2-4)与Υ方 向偏转块(3-4)成为一个整体。2. 根据权利要求1所述的基于压电陶瓷驱动的三自由度调节装置,其特征在于:所述Ζ 方向偏转机构(1)和X方向的偏转机构(2)之间相配合部分通过螺钉连接,X方向偏转机构 (2)和Υ方向偏转机构(3)之间配合部分通过螺钉连接,载物台(4)与X方向偏转机构(2)和Υ 方向偏转机构(3)安装后的偏转块通过螺钉连接。3.权利要求1所述基于压电陶瓷驱动的三自由度调节装置的调节方法:其特征在于: 对于所述Z方向偏转机构(1 ),当安装在Z方向偏转机构(1)内的第一带预压力的压电堆 作动器(1-2)和第二带预压力的压电堆作动器(1-4)在一对大小相等方向相同的电压作用 下,基于压电材料的逆压电效应,压电堆产生大小相等方向相反的一对位移,第一带预压力 的压电堆作动器(1-2)和第二带预压力的压电堆作动器(1-4)分别通过柔性铰链推动相连 的第二Z方向偏转梁(1-6)和第一 Z方向偏转梁(1-3)沿伸长方向产生偏转,进而通过柔性铰 链驱动位于中间的Z方向偏转块(1 -5)产生偏转;Z方向偏转块(1 -5)带动整个调节装置产生 Z方向的偏转; 对于所述X方向偏转机构(2 ),当安装在X方向偏转机构(2)内的第一X方向压电堆(2-2) 和第二X方向压电堆(2-6)基于逆压电效应,在一对差分电压作用下产生一对差分形式位移 输出,第一X方向压电堆(2-2)和第二X方向压电堆(2-6)分别通过底部柔性铰链推动相连的 第一 X方向偏转梁(2-3)和第二X方向偏转梁(2-5)绕着外侧柔性铰链偏转,进而通过内侧柔 性铰链驱动位于中间的X方向偏转块(2-4)绕着X轴偏转,从而带动载物台(4)实现X轴方向 上的偏转; 对于所述Y方向偏转机构(3 ),当安装在Y方向偏转机构(3)内的第一Y方向压电堆(3-2) 和第二Y方向压电堆(3-6)基于逆压电效应,在一对差分电压作用下,产生一对差分形式位 移输出,第一Y方向压电堆(3-2)和第二Y方向压电堆(3-6)通过底部柔性铰链推动相连的第 一 Y方向偏转梁(3-3)和第二Y方向偏转梁(3-5)绕着外侧柔性铰链偏转,进而通过内侧柔性 铰链驱动位于中间的Y方向偏转块(3-4)绕着Y轴偏转,从而带动载物台(4)实现Y方向上的 偏转; 所述X、Y、Z方向上的偏转均为独立驱动,X、Y输出相互影响小,与Z向输出独立;整个装 置无机械摩擦,实现三轴高精度角度独立调节。
【文档编号】H02N2/02GK106026763SQ201610326612
【公开日】2016年10月12日
【申请日】2016年5月17日
【发明人】徐明龙, 田征, 敬子建
【申请人】西安交通大学
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