一种电源开关接口电路的制作方法

文档序号:10337639阅读:909来源:国知局
一种电源开关接口电路的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型是有关电源开关控制,且特别是有关于一种电源开关接口电路。
【背景技术】
[0002]日本东京电子公司是专业的半导体生产线设备供应商之一,其生产的TE5000等离子体刻蚀机,采用等离子体技术进行半导体薄膜材料刻蚀,将设计图形转移到产品上,从而实现特定的立体半导体器件结构。而机台上的电磁阀、机械手臂马达、直流冷却风扇、控制电路板,大多数使用直流24V电源供电。如图1所示,此电源必须具备一专用的接口 11,与TE5000等离子体刻蚀机的接口 12完全一致,且与接口 12连接,所述接口 12输出电源控制信号A和5V电压,所述电源控制信号A是用来控制直流24V电源的开通或者关断。但这种具有专用接口电路11的直流电源为上世纪80年代生产,与现在的直流电源相比,技术比较落后,故障率高,体积庞大,进口价位高。
[0003]迫切需要设计一种开关接口电路与所述等离子体刻蚀机机台的接口匹配,且能够与其他电源装置连接,以此能够使用更优质的电源装置为所述等离子体刻蚀机机台供电。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型正是思及于此,提供一种电源开关接口电路,能够接收控制信号输入,且与任意电源装置匹配,设计简单。
[0005]本实用新型的技术方案,一种电源开关接口电路,包括,主功率开关和信号接收电路,所述信号接收电路具有输入端和输出端,所述信号接收电路的输入端接收输入信号,所述信号接收电路对所述输入信号进行处理并输出适用于控制所述主功率开关的控制信号,所述信号接收电路的输出端与所述主功率开关的控制端连接,为所述主功率开关提供控制信号。
[0006]本实用新型的一具体实施例中,上述信号接收电路包含一分压电路、一辅助电源、一辅助开关,所述分压电路接收所述输入信号,对所述输入信号进行分压处理后输出至所述辅助开关控制端,所述辅助开关连接所述辅助电源与所述信号接收电路的输出端,所述辅助开关导通时,所述辅助电源为所述信号接收电路的输出端提供控制信号。
[0007]本实用新型的一具体实施例中,上述分压电路为一电阻分压电路。
[0008]本实用新型的一具体实施例中,上述输入信号为高电平时所述辅助开关导通,所述辅助电源为所述主功率开关提供控制信号,并控制所述主功率开关导通。
[0009]本实用新型的一具体实施例中,上述一种电源开关接口电路,应用于所述电源,所述电源包括功率输入端和功率输出端,所述主功率开关与所述电源的功率输入端串联,所述主功率开关关断时,所述电源关断,所述主功率开关开通时,所述电源接收主功率输入。
[0010]本实用新型的一具体实施例中,所述主功率开关与所述电源的功率输出端串联,所述主功率开关关断时,所述电源停止为输出端供电,所述主功率开关导通时,所述电源为输出端供电。
[0011]本实用新型的一具体实施例中,所述输入信号为TE5000等离子体刻蚀机的电源控制信号。
[0012]本实用新型的一具体实施例中,所述电源为24V直流电源。
[0013]有益效果,本实用新型设计的接口电路,简单易实现,可以与任意的电源匹配,通过使用该接口电路,电源能够接收外部的控制信号开通或者关断,特别是能够接收TE5000等离子体刻蚀机的电源控制信号。
[0014]为让实用新型的上述特征和优点能更明显易懂,下文特举实施例,并配合所附图式作详细说明如下。
【附图说明】
[0015]图1为已知技术中一种电源装置图。
[0016]图2为本实用新型的电源开关接口电路一具体实施例的示意图。
[0017]图3为本实用新型的信号接收电路的具体实施例。
[0018]图4为本实用新型的电路与电源连接的一种具体实施例。
[0019]图5为本实用新型又一具体实施例。
【具体实施方式】
[0020]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细说明。
[0021]本实用新型实施例提供一种电源开关接口电路,具有简单易实现的优点,且能够降低电路设计成本,以下特举实施例做为本实用新型确实能够据以实施的范例。另外,凡可能之处,在图式及实施方式中使用相同标号的组件/构件/步骤,系代表相同或类似部件。
[0022]图2为本实用新型一具体实施例的电路图,一种电源开关接口电路21,包括,主功率开关S和信号接收电路210,所述信号接收电路具有输入端IN和输出端0UT,所述信号接收电路210的输入端IN接收输入信号,所述信号接收电路210对所述输入信号进行处理并输出适用于控制所述主功率开关S的控制信号,所述信号接收电路210的输出端OUT与所述主功率开关S的控制端连接,为所述主功率开关S提供控制信号。
[0023]本实用新型的一具体实施例中,如图3所示,所述信号接收电路310包含一分压电路3101、一辅助电源VCC、一辅助开关Q,所述分压电路3101接收所述输入信号,对所述输入信号进行分压处理后输出至所述辅助开关Q的控制端,所述辅助开关Q连接所述辅助电源VCC和所述主功率开关S的控制端,为所述主功率开关S提供控制信号。
[0024]所述分压电路3101为电阻分压电路,包含电阻Rl和R2,所述电阻Rl和R2串联,中间节点为输出端,与所述辅助开关Q的控制端连接,为其提供合适的驱动电压,但是本实用新型并不局限于此,只要能够实现分压功能的电路均可应用于本实用新型。
[0025]所述信号接收电路310还包括一限流电阻R3,所述辅助电源VCC、辅助开关Q和所述限流电阻R3串联,构成串联支路,所述辅助开关Q导通时,所述串联支路为所述主功率开关S提供控制信号,并控制所述主功率开关S开通或者关断。
[0026]图4为本实用新型电路与一电源连接的具体实施例,本实施例中,所述电源具有功率输入端
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