专利名称：Xy轴直线型真空调频机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空调频机，属于电子行业-真空调频设备技术领域。二、 背景技术现有韩国、美国真空调频机，其工作原理为被调频体通过电机工作带动 调频圈旋转，频率计即时对调频体进行频率侦测，调频体通过获取银量的多 少，频率由高向低调整，调整至合格范围为合格品。现有技术存在的问题是 调频机在动作方面都是以电机带动调频圈旋转，使之转到被调整位置上，工 作效率不高，最多的调频机只有144个工位， 一个调频周期在15分钟左右， 这种技术已经是在本领域里最高的工作效率。上述调频机为一个电机带动多个齿轮使调频圈旋转，而且电机装于真空 室外，无论是机械结构或工作原理都很复杂，涉及许多密封工艺，密封件、 齿轮、轴承等寿命都很短，经常需要更换。上述调频机的被调频体在调频圈上垂直放置，调频圈的机械结构相当复 杂，成本也很高；测试被调频体时，接触方式为弹簧片式，此种方式运动速 度慢，影响工作效率。其工作流程当真空室内真空度到一定数值，电极加热，由电机带动调频圈转动，测试每个被调频体的频率，留存数值做参考，逐个调整被调频体频率，将被调 频体调整到合格范围。用时15分钟 20分钟，每个调频圈可承载144个被调频体。三、 发明内容本实用新型的目的在于解决上述已有技术存在的不足之处，提供一种能 够提高调频机在单位时间内工作效率的XY轴直线型真空调频机。本实用新型的XY轴直线型真空调频机，通过以下技术方案实现 XY轴直线型真空调频机，特殊之处在于，包括由底版3、真空室壁19、 上盖板20构成的真空室，真空室内设有连接带动承载体夹具托盘10分别在X 方向、Y方向步进移动的X方向步进移动装置、Y方向步进移动装置，X方 向步进移动装置、Y方向步进移动装置通过支撑架5连接在底版3上，与真 空室连接的固定支撑架21上连接有被调频体频率探测装置，被调频体频率探测装置位于夹具托盘10上的夹具16上方，夹具16下方设有蒸发盒8与蒸发 电极7构成的银蒸发装置；所述X方向步进移动装置，由X方向电机4连接带动X方向同步带17， X方向同步带17连接带动X方向滑块6在X方向直线导轨31上运动，Y方 向步进移动装置固定在X方向滑块6, X方向滑块6带动Y方向步进移动装 置沿X方向移动；所述Y方向步进移动装置，由Y方向电机2连接带动Y方向同步带18 移动，Y方向同步带18连接带动Y方向滑块9在Y方向直线导轨1上运动， 承载体夹具托盘10固定在Y方向滑块9上，Y方向滑块9带动承载体夹具托 盘10沿Y方向移动；所述被调频体频率探测装置连接在固定支撑架21上，固定支撑架21连 接电机支撑座28，电机支撑座28上设有电机11,电机11连接带动凸轮30 与探针骨架12活动连接，电机支撑座28上固定有直线轴13，探针骨架12的 套孔沿直线轴13移动、与直线轴13活动连接，直线轴13外与探针骨架12 之间套有直线轴承29，探针骨架12的两端分别设有探针14，探针14对应蒸 发帽眼15位置。本实用新型的XY轴直线型真空调频机，所有电气元件只通过两个线路 版与真空室外连接，省去许多密封与机械结构；两个电机一个作用于X轴的 运动， 一个作用于Y轴运动，使承载体夹具托盘在一个平面上作X、 Y方向 运动，无论是时间和空间都有很大程度上的縮小，在单位面积下得到更多的 利用空间，设计的夹具托盘可承载200个被调频体，真空室内可放置两个夹 具托盘，采用双路调频，这样一个调频周期(15分钟)可调400个被调频体， 大大的提高了此工序的工作效率；测试被调频体的接触方式改为通过控制电 机带动凸轮，使滑块上下直线运动，在滑块上固定两组弹簧探针，上下运动 接触被调频体，测量被调频体频率，此种方式运动速度快，测量准确。
附图l:原有调频机结构示意图； 附图2:原有调频机调频圈结构示意图；附图3:本实用新型XY轴直线型真空调频机结构示意图； 附图4:图3的侧视图；附图5:被调频体频率探测装置结构示意图； 附图6:图5的侧视图；附图7:图5的附视图。1、 Y方向直线导轨，2、 Y方向电机，3、底版，4、 X方向电机，5、支撑 架，6、 X方向滑块，7、蒸发电极，8、蒸发盒，9、 Y方向滑块，10、夹具托 盘，11、电机，12、探针骨架，13、直线轴，14、探针，15、蒸发帽眼，16、 夹具，17、 X方向同步带，18、 Y方向同步带，19、真空室壁，20、上盖板， 21、固定支撑架，22、电机，23、支撑圈，24、支撑柱，25、调频圈，26、 蒸发电极，27、底版，28、电机支撑座，29、直线轴承，30、凸轮，31、 X 方向直线导轨。五具体实施方式
以下给出本实用新型的具体实施方式
，用来对本实用新型作进一步说明。 以下给出的实施实例是在大生产过程中随机抽样的结果。 实施例XY轴直线型真空调频机，包括由底版3、真空室壁19、上盖板20构成 的真空室，真空室内设有连接带动承载体夹具托盘10分别在X方向、Y方向 步进移动的X方向步进移动装置、Y方向步进移动装置，X方向步进移动装 置、Y方向步进移动装置通过支撑架5连接在底版3上，与真空室连接的固 定支撑架21上连接有被调频体频率探测装置，被调频体频率探测装置位于夹 具托盘10上的夹具16上方，夹具16下方设有蒸发盒8与蒸发电极7构成的 银蒸发装置；X方向步进移动装置，由X方向电机4连接带动X方向同步带17， X方 向同步带17连接带动X方向滑块6在X方向直线导轨31上运动，Y方向步 进移动装置固定在X方向滑块6, X方向滑块6带动Y方向步进移动装置沿 X方向移动；Y方向步进移动装置，由Y方向电机2连接带动Y方向同步带18移动， Y方向同步带18连接带动Y方向滑块9在Y方向直线导轨1上运动，承载 体夹具托盘10固定在Y方向滑块9上，Y方向滑块9带动承载体夹具托盘 IO沿Y方向移动;被调频体频率探测装置连接在固定支撑架21上，固定支撑架21连接电 机支撑座28，电机支撑座28上设有电机11，电机11连接带动凸轮30与探 针骨架12活动连接，电机支撑座28上固定有直线轴13，探针骨架12的套孔 沿直线轴13移动、与直线轴13活动连接，直线轴13外与探针骨架12之间 套有直线轴承29，探针骨架12的两端分别设有探针14，探针14对应蒸发帽眼15位置。本实用新型的实施例XY轴直线型真空调频机(1) 改变原有被调频体的运动轨迹与工作形态运用两个电机，且都安装于真空室内，所有电气元件只通过两个线路版与真空室外连接，省去许多密封与机械结构。两个电机一个作用于x轴的运动， 一个作用于Y轴运动，使承载体夹具托盘在一个平面上作X、 Y方向运 动。无论是时间和空间都有很大程度上的縮小。(2) 放置方式由被调频体在调频圈上垂直放置改采用托盘式夹具，被调 频体水平放置，上方用一个带有磁性的盖版将其固定住，使之有与调频圈一 样固定的承载体。因为X、 Y轴直线运动大大縮小了工装夹具托盘10的体积， 这样就可以在单位面积下得到更多的利用空间，设计的夹具托盘可承载200 个被调频体，真空室内可放置两个夹具托盘，采用双路调频，这样一个调频 周期(15分钟)可调400个被调频体，大大的提高了此工序的工作效率。,(3)原有测试被调频体的接触方式为弹簧片式，改为通过控制电机带动 凸轮，使滑块上下直线运动，在滑块上固定两组弹簧探针，上下运动接触被 调频体，测量被调频体频率。此种方式运动速度快，测量准确。 托盘工作流程由Y方向电机2带动Y方向同步带18，使夹具托盘10在Y方向直线运 动，测量完一个被调频体、夹具托盘10在Y方向直线运动1步，运行到第 20步时，X方向电机工作，带动X方向同步带，使夹具托盘10在X方向直 线运动，运行1步，此时再由Y方向电机沿Y反方向直线运动，运行20步， Y方向电机停止，由X方向电机沿X方向运行一步，以此类推，共运行200 个坐标点，使其在夹具上的被调频体进行测量与调频。用时10~15分钟，双 托盘可承载400个被调频体。探针工作流程在拖盘运行一步后，由电机带动凸轮，使直线导轨上下直线运动，使探 针接触被调频体电极，测量其频率。
权利要求1. XY轴直线型真空调频机，特征在于，包括由底版(3)、真空室壁(19)、上盖板(20)构成的真空室，真空室内设有连接带动承载体夹具托盘(10)分别在X方向、Y方向步进移动的X方向步进移动装置、Y方向步进移动装置，X方向步进移动装置、Y方向步进移动装置通过支撑架(5)连接在底版(3)上，与真空室连接的固定支撑架(21)上连接有被调频体频率探测装置，被调频体频率探测装置位于夹具托盘(10)上的夹具(16)上方，夹具(16)下方设有蒸发盒(8)与蒸发电极(7)构成的银蒸发装置。
2、 按照权利要求1所述的XY轴直线型真空调频机，特征在于，所述X 方向步进移动装置，由X方向电机(4)连接带动X方向同步带(17)， X方 向同步带(17)连接带动X方向滑块(6)在X方向直线导轨(31)上运动， Y方向步进移动装置固定在X方向滑块(6)， X方向滑块(6)带动Y方向步 进移动装置沿X方向移动。
3、 按照权利要求1所述的XY轴直线型真空调频机，特征在于，所述Y 方向步进移动装置，由Y方向电机(2)连接带动Y方向同步带(18)移动， Y方向同步带(18)连接带动Y方向滑块(9)在Y方向直线导轨(1)上运 动，承载体夹具托盘(10)固定在Y方向滑块(9)上，Y方向滑块(9)带 动承载体夹具托盘(10)沿Y方向移动。
4、 按照权利要求1所述的XY轴直线型真空调频机，特征在于，所述被 调频体频率探测装置连接在固定支撑架(21)上，固定支撑架(21)连接电 机支撑座(28)，电机支撑座(28)上设有电机(11)，电机(11)连接带动 凸轮(30)与探针骨架(12)活动连接，电机支撑座(28)上固定有直线轴(13)，探针骨架(12)的套孔沿直线轴(13)移动、与直线轴(13)活动连 接，直线轴(13)外与探针骨架(12)之间套有直线轴承(29)，探针骨架(12) 的两端分别设有探针(14)，探针(14)对应蒸发帽眼(15)位置。
专利摘要本实用新型涉及一种真空调频机，属于电子行业-真空调频设备技术领域。包括由底版3、真空室壁19、上盖板20构成的真空室，真空室内设有连接带动承载体夹具托盘10分别在X方向、Y方向步进移动的X方向步进移动装置、Y方向步进移动装置，X方向步进移动装置、Y方向步进移动装置通过支撑架5连接在底版3上，与真空室连接的固定支撑架21上连接有被调频体频率探测装置，被调频体频率探测装置位于夹具托盘10上的夹具16上方，夹具16下方设有蒸发盒8与蒸发电极7构成的银蒸发装置。本实用新型省去许多密封与机械结构；单位面积下得到更多的利用空间，大大提高工作效率；接触方式改为通过控制电机带动凸轮，运动速度快，测量准确。
文档编号H03H3/04GK201113934SQ20072002517
公开日2008年9月10日 申请日期2007年7月12日 优先权日2007年7月12日
发明者罡 陈 申请人:烟台开发区金威科技开发有限责任公司