专利名称：一种石墨组合式轨道防着板的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及石英晶体制造业技术领域，特别是涉及一种石墨组合式轨道防着板，主要用于石英晶体制造业的氩离子刻蚀式晶振自动频率调整设备的耗材维护，扩大石墨材质的工业用途。
背景技术：
现有技术中，通常采用单一式不锈钢轨道防着板作为氩离子蚀刻式晶振自动微调机的轨道防护，如图I所示，该不锈钢轨道防着板的底板I中间设有两个通孔4，两侧各设有一个圆孔2，两个圆孔2的外侧均设有一个防护板3，这种结构在进行石英晶体制造时只能使用两周的寿命局限，耐用性较差。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种石墨组合式轨道防着板，能够延长自身的使用寿命。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是提供一种石墨组合式轨道防着板，包括不锈钢制成的底板，所述底板两侧各设有一个圆孔，所述两个圆孔外侧均设有一防护板，所述底板中间设有安装槽；所述安装槽的中间设有两个通孔，所述安装槽内放置有中间开有两个通孔的石墨片，所述石墨片上通孔的位置与安装槽中通孔的位置相互对应。所述安装槽中间的两个通孔为圆孔或方孔。所述石墨片上的通孔与安装槽上的通孔大小一致。有益效果由于采用了上述的技术方案，本实用新型与现有技术相比，具有以下的优点和积极效果本实用新型利用石墨材质的低溅射率特点和不锈钢容易加工的特点，设计出组合式轨道防着板来满足晶振频率自动调整设备上对轨道防着板需要耐氩离子轰击的要求，此技术的关键是利用了不锈钢和石墨材质各自的优点，达到持久耐用，更换方便，成本便宜的目的。
图I是现有技术中单一式不锈钢轨道防着板结构示意图；图2是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。[0012]本实用新型的实施方式涉及一种石墨组合式轨道防着板，如图I所示，包括不锈钢制成的底板1，所述底板I两侧各设有一个圆孔2，所述两个圆孔2外侧均设有一防护板3，所述底板I中间设有安装槽；所述安装槽的中间设有两个通孔4，所述安装槽内放置有中间开有两个通孔的石墨片5，所述石墨片5上的通孔的位置与安装槽中的通孔4的位置相互对应。为了使防着板的使用寿命更长，所述安装槽中间的两个通孔4可以是圆孔，也可以是方孔，石墨片5上的通孔与安装槽上的通孔大小一致。不难发现，本实用新型利用石墨材质的低溅射率特点和不锈钢容易加工的特点，设计出组合式轨道防着板来满足晶振频率自动调整设备上对轨道防着板需要耐氩离子轰 击的要求，此技术的关键是利用了不锈钢和石墨材质各自的优点，达到持久耐用，更换方便，成本便宜的目的。
权利要求1.一种石墨组合式轨道防着板，包括不锈钢制成的底板(I )，所述底板(I)两侧各设有一个圆孔(2)，所述两个圆孔(2)外侧均设有一防护板(3)，其特征在于，所述底板(I)中间设有安装槽；所述安装槽的中间设有两个通孔(4)，所述安装槽内放置有中间开有两个通孔的石墨片(5)，所述石墨片(5)上通孔的位置与安装槽中通孔的位置相互对应。
2.根据权利要求I所述的石墨组合式轨道防着板，其特征在于，所述安装槽中间的两个通孔(4)为圆孔或方孔。
3.根据权利要求I或2所述的石墨组合式轨道防着板，其特征在于，所述石墨片(5)上的通孔与安装槽上的通孔(4)大小一致。
专利摘要本实用新型涉及一种石墨组合式轨道防着板，包括不锈钢制成的底板，所述底板两侧各设有一个圆孔，所述两个圆孔外侧均设有一防护板，所述底板中间设有安装槽；所述安装槽的中间设有两个通孔，所述安装槽内放置有中间开有两个通孔的石墨片，所述石墨片上通孔的位置与安装槽中通孔的位置相互对应。本实用新型利用石墨材质的低溅射率特点和不锈钢容易加工的特点，设计出组合式轨道防着板来满足晶振频率自动调整设备上对轨道防着板需要耐氩离子轰击的要求。
文档编号H03H3/04GK202663364SQ201220284119
公开日2013年1月9日 申请日期2012年6月13日 优先权日2012年6月13日
发明者李宝太 申请人:台晶(宁波)电子有限公司