用于使带电粒子偏转的偏转板和偏转设备的制造方法与工艺

本发明涉及一种用于使带电粒子偏转的偏转板以及一种用于使带电粒子偏转的偏转设备。

背景技术：
已知通过电场和/或磁场来使移动的带电粒子偏转。同样已知通过将电压施加到导电板上来生成电场。

技术实现要素：
本发明的任务在于，提供一种改进的用于使带电粒子偏转的偏转板。该任务通过根据本发明的偏转板来解决。本发明的另一任务在于，提供一种改进的用于使带电粒子偏转的偏转设备。该任务通过根据本发明的偏转设备来解决。根据本发明的用于使带电粒子偏转的偏转板具有凹进部，所述偏转板被构造为金属涂覆的电路板并且所述凹进部被构造在金属涂层中。有利地，该偏转板相较于没有凹进部的偏转板生成具有改善的空间分布的电场。在该偏转板的一种优选的实施方式中，该偏转板被构造为基本上平坦的板。有利地，该偏转板于是可以简单且低成本地制造。尤其是，该偏转板有利地可以被制造为电路板，例如印刷电路板。在该偏转板的一种实施方式中，该凹进部被构造为孔洞。有利地，由此由该偏转板生成的电场在孔洞的区域中被减弱。在该偏转板的另一种实施方式中，该凹进部被构造为槽缝。有利地，该凹进部的该构造也导致通过该偏转板产生的电场在该凹进部的区域中的减弱。合乎目的的是，该凹进部居中地布置在该偏转板中。有利地，通过该偏转板产生的电场的空间分布于是具有更平坦的分布。在该偏转板的一种合乎目的的实施方式中，该偏转板具有导电材料，尤其是金属。有利地，该偏转板于是可以被充电到一电势。根据本发明的用于使带电粒子偏转的偏转设备具有上述类型的第一偏转板。有利地，可以利用该偏转设备来使粒子射束的带电粒子偏转。由于有利地构造的偏转板，可以使用该偏转设备来选择性地使来自带电粒子的相继束的射束的各个粒子束偏转。在该偏转设备的一种优选的实施方式中，该偏转设备具有上述类型的第二偏转板。有利地，在该偏转设备的偏转板之间于是可以生成电势差。在该偏转设备的一种特别优选的实施方式中，偏转板被构造为基本上平坦的板。在此，第一偏转板和第二偏转板垂直于第二空间方向定向。此外，第一偏转板和第二偏转板在第二空间方向上彼此间隔。有利地，在该偏转设备中，电场的指向第二空间方向的分量在垂直于第二空间方向的空间方向上近似矩形地伸展。在该偏转设备的一种改进方案中，该偏转设备具有第三偏转板和第四偏转板。在此，第三偏转板相对于第一偏转板在垂直于第二空间方向的第三空间方向上偏移。此外，第四偏转板相对于第二偏转板在第三空间方向上偏移。有利地，于是可以在第三偏转板与第四偏转板之间施加与在第一偏转与第二偏转板之间不同的电势差。在该偏转设备的一种优选的实施方式中，该偏转设备构造为使在第三空间方向上移动的带电粒子朝第二空间方向偏转。有利地，该偏转设备于是可以被用于使来自粒子射束的各个粒子或粒子束选择性地偏转。附图说明本发明的上面所描述的特性、特征和优点以及其实现的方式和方法结合以下的对实施例的描述而能够更清楚且更明白地理解，所述实施例结合附图更详细地予以阐明。在这里：图1示出微粒治疗仪器的示意图；图2示出偏转设备的示意图；图3示出该偏转设备的板对的第一剖面；图4示出该偏转设备的板对的俯视图；图5示出该偏转设备的板对的第二剖面；以及图6示出该板对之内的场强分布的曲线图。具体实施方式图1以极为示意性的图示出作为偏转设备的示范性应用的微粒治疗仪器100。然而，偏转设备也可以使用在多个其他应用领域中。本发明绝对不限于微粒治...