一种smd石英谐振器离子刻蚀调整频率的托盘载料装置制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种SMD石英谐振器离子刻蚀调整频率的托盘载料装置，它包括基板（4）、离子掩模块（3）、导向块镶板（2）和盖板（1），基板（4）、离子掩模块（3）、导向块镶板（2）和盖板（1）通过螺钉（8）固定在一起，基板（4）上开设有放置孔（10），导向块镶板（3）上开设有导向块镶嵌孔（11），导向块镶嵌孔（11）四壁上镶嵌有带有锥度的导向块（9），离子掩模块（3）上开设有离子掩模孔（7），基板（4）离子刻蚀位置开设有离子束通过孔（6）。本发明的有益效果是：它改善了SMD石英谐振器离子刻蚀的插入率，并且提高了产品的定位精度以及提高了产品生产良率。
【专利说明】—种SMD石英谐振器离子刻蚀调整频率的托盘载料装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及石英谐振器器离子刻蚀调整频率的托盘载料装置，特别是一种SMD石英谐振器离子刻蚀调整频率的托盘载料装置。
【背景技术】
[0002]石英谐振器离子刻蚀是提将石英晶片镀金膜或银膜后，搭载入基座后的，装入托盘并传入真空腔内进行离子刻蚀。在刻蚀前测量系统对来料进行频率测试并计算出需要刻蚀的时间，在刻蚀后进行再次测量以检测调整频率后产品是事满足要求。
[0003]离子刻蚀的过程是在真空中通过钨丝放电使Ar气体电离成等离子体，接着对Ar离子进行加速使其成为高能量的离子束，最后通过栅极将高能离子束引出，使其射向镀膜后的石英晶片，产生碰撞使镀膜表面产生溅射，达到减薄金膜或银膜而达到频率调整的目的。
[0004]石英谐振器在手机的应用领域里面是必不可缺的一款元器件，随着移动手机的高速发展的同时也带动着各种行业的电子元器件的更新与变迁，随着手机越来越小，元器件也跟着越来越小，特别是SMD石英谐振器系列，是随着手机的变小而变小。为了满足手机的应用，石英谐振器随之变小，依次从7050发展到5032、3225、2520、2016、1612。
[0005]在离子刻蚀时，频率测量系统都是通过探针物理接触，并且是在真空的环境中进行。随着石英谐振器尺寸越来越小，传统的托盘载料装置越来越难保证探针精确接触产品，并且需要大量时间来对探针模块进行微调才能达到相对较好的状态。由于定位接触不好会导致的不良后果:在离子刻蚀前探针没有接触好则会判定当来料异常，后续不会再进行离子刻蚀；在离子刻蚀后测试时探针没有接触好，则会判定产品刻蚀不良，两种情况都会导致产品良率低下，需要设备维护人员花大的时间来调整。
【发明内容】
[0006]本发明的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种提闻广品定位精度和提闻广品生产良率的SMD石英谐振器离子刻蚀调整频率的托盘载料装置。
[0007]本发明的目的通过以下技术方案来实现:一种SMD石英谐振器离子刻蚀调整频率的托盘载料装置，它包括基板、离子掩模块、导向块镶板和盖板，所述的基板、离子掩模块、导向块镶板和盖板通过螺钉固定在一起，所述的基板上开设有放置孔，所述的导向块镶板上开设有导向块镶嵌孔，所述的导向块镶嵌孔四壁上镶嵌有带有锥度的导向块，所述的离子掩模块上开设有离子掩模孔，所述的基板离子刻蚀位置开设有离子束通过孔，所述的放置孔、导向块镶嵌孔、离子掩模孔和离子束通过孔的中心处于同一轴线上。
[0008]所述的离子掩模块上还开设有与导向块镶嵌孔大小相同的沉孔，所述的导向块底部装配在沉孔内。
[0009]所述的放置孔、导向块镶嵌孔、离子掩模孔和离子束通过孔均为方形孔。
[0010]所述的基板的长边两侧分布有步进孔。
[0011]本发明具有以下优点:本发明的托盘载料装置，在导向块镶板上镶嵌有导向块，导向块改善了 SMD石英谐振器离子刻蚀的插入率，并且提高了产品的定位精度以及提高了产品生广良率。
【专利附图】
【附图说明】
[0012]图1是本发明的俯视结构示意；
图2是图1中A-A剖面结构示意；
图3是图1中I处放大示意图；
图中，1-盖板，2-导向块镶板，3-离子掩模板，4-基板，5-组成步进孔，6-离子束通过孔，7-离子掩模孔，8-螺钉，9-导向块。
【具体实施方式】
[0013]下面结合附图对本发明做进一步的描述，本发明的保护范围不局限于以下所述: 如图1所示，一种SMD石英谐振器离子刻蚀调整频率的托盘载料装置，它包括基板4、离子掩模块3、导向块镶板2和盖板1，如图2所示，所述的基板4、离子掩模块3、导向块镶板2和盖板I通过螺钉8固定在一起，所述的基板4上开设有放置孔10，所述的导向块镶板3上开设有导向块镶嵌孔11，所述的导向块镶嵌孔11四壁上镶嵌有带有锥度的导向块9，产品放入放置孔10后，在导向块9和自身重力的作用下滑入中心位置，所述的离子掩模块3上开设有离子掩模孔7，离子掩模孔7只让限定的离子束通过并进行离子刻蚀调整频率，所述的基板4离子刻蚀位置开设有离子束通过孔6，且基板4的长边两侧分布有步进孔5，步进孔5使整个拖盘在多次步进后完成离子刻蚀，所述的放置孔10、导向块镶嵌孔11、离子掩模孔7和离子束通过孔6的中心处于同一轴线上。
[0014]在本实施例中，如图2所示，所述的离子掩模块7上还开设有与导向块镶嵌孔11大小相同的沉孔，如图3所示，所述的导向块9底部装配在沉孔内，所述的放置孔10、导向块镶嵌孔11、离子掩模孔7和离子束通过孔6均为方形孔。
【权利要求】
1.一种SMD石英谐振器离子刻蚀调整频率的托盘载料装置，其特征在于:它包括基板(4)、离子掩模块(3)、导向块镶板(2)和盖板(1)，所述的基板(4)、离子掩模块(3)、导向块镶板(2)和盖板(I)通过螺钉(8)固定在一起，所述的基板(4)上开设有放置孔(10)，所述的导向块镶板(3 )上开设有导向块镶嵌孔(11 )，所述的导向块镶嵌孔(11)四壁上镶嵌有带有锥度的导向块(9)，所述的离子掩模块(3)上开设有离子掩模孔(7)，所述的基板(4)离子刻蚀位置开设有离子束通过孔(6)，所述的放置孔(10)、导向块镶嵌孔(11)、离子掩模孔(7)和离子束通过孔(6)的中心处于同一轴线上。
2.根据权利要求1所述的一种SMD石英谐振器离子刻蚀调整频率的托盘载料装置，其特征在于:所述的离子掩模块(7)上还开设有与导向块镶嵌孔(11)大小相同的沉孔，所述的导向块(9)底部装配在沉孔内。
3.根据权利要求1所述的一种SMD石英谐振器离子刻蚀调整频率的托盘载料装置，其特征在于:所述的放置孔(10)、导向块镶嵌孔(11)、离子掩模孔(7)和离子束通过孔(6)均为方形孔。
4.根据权利要求1所述的一种SMD石英谐振器离子刻蚀调整频率的托盘载料装置，其特征在于:所述的基板(4)的长边两侧分布有步进孔(5)。
【文档编号】H03H3/02GK104378079SQ201410616046
【公开日】2015年2月25日 申请日期:2014年11月5日 优先权日:2014年11月5日
【发明者】李 东 申请人:东晶锐康晶体（成都）有限公司