薄膜体声波共振器滤波器的制作方法

文档序号:14686059发布日期:2018-06-14 22:57阅读:来源:国知局
技术总结
一种声波共振器,包括基本水平的压电材料膜,在所述膜的上表面和下表面上分别具有上金属电极和下金属电极,所述膜围绕其周边通过粘附聚合物附着在矩形互连框架的内侧壁上,用于封装的所述框架的侧壁基本垂直于所述膜并且包括在电介质基质中的导电通孔,所述导电通孔在所述侧壁内基本垂直延伸,所述金属电极与所述导电通孔通过在所述膜的上表面上的特征层导电连接,在所述互连框架的上端和下端连接有上盖和下盖以密封所述声波共振器使其与周围环境隔离。

技术研发人员:卓尔·赫尔维茨;黄士辅;
受保护的技术使用者:珠海越亚封装基板技术股份有限公司;
技术研发日:2015.12.08
技术公布日:2016.07.13

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