有机EL显示面板的制造方法与流程

本发明涉及有机EL(Electroluminescence：电致发光)显示面板的制造方法，特别是涉及使用到湿法工艺的制造方法。

背景技术：

近年来正在推进关于使用有机EL元件的有机EL显示面板的大型化的研究和开发。在有机EL显示面板中，沿着作为支撑材料的基板的主面呈矩阵状地排列有多个有机EL元件，该有机EL元件构成像素而在图像显示面中显示图像。

有机EL元件采用以一对电极夹着至少包含将有机化合物作为材料的发光层的功能层的结构。需要注意的是，在功能层中，除了发光层以外还有注入层、传输层、阻止层、缓冲层等。功能层的形成方法大致分为真空蒸镀法等干法工艺和喷墨法等湿法工艺。湿法工艺是使用含有功能层的材料(功能性材料)的溶液(以下称为“墨(インク)”。)的形成方法，从其形成精度和成本方面来看，是适于实现显示面板的大型化的技术。尤其，正在推进通过使墨为微小的液滴喷射到基板上而将墨直接涂布于像素形成区域的喷墨法的开发。

在此，喷墨法中，边使排列在直线上的多个喷嘴在沿着基板的主面的一定的扫描方向上相对地移动的同时，边从该喷嘴向像素形成区域喷射墨。此时，上述扫描方向一般设定为与像素形成区域排列成的矩阵的行方向或列方向平行。而且，已披露了一种通过使喷嘴排列的方向相对于扫描方向倾斜来调整相邻的喷嘴的涂布间隔的技术(例如参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特开2004-111074号公报

技术实现要素：

发明要解决的技术问题

图16是示出喷嘴列824的扫描方向dsx和涂布部位A8的示意性平面图。在喷嘴列824中，使墨为微小的液滴喷射的喷嘴824N在延伸方向dh上排列。另外，像素形成区域P分别具有子像素形成区域SP(R)、(G)、(B)，并且其在行方向d1和列方向d2上排列。各喷嘴824N边在与行方向d1平行的扫描方向dsx上移动，边向子像素形成区域SP(R)、(G)、(B)中任一个区域(图中为子像素形成区域SP(B))的涂布部位A8喷射墨。

在此，各喷嘴824N中存在因墨的喷射机构的个体偏差、经时变化所致的状态偏差，从而有时在喷嘴824N的液滴的喷射量上会产生个体差异。图16的方法中这样的喷嘴824N的喷射量的个体差异会反映在行方向d1上。

具体地说，例如考虑在图16中带斜线的喷嘴824NX的喷射量与其它喷嘴824N的喷射量相比极端地少(或多)的情况。由于扫描方向dsx与行方向d1平行，因此被喷嘴824NX涂布的子像素形成区域SP(B)(图的斜线部)在行方向d1上排列。即，在用该方法制造的有机EL显示面板中，亮度极端高(或低)的像素或不发光的像素、发色偏离的像素在行方向d1上排列，因此发生沿着像素的排列方向的线状的亮度不匀、发色不匀。

另外，即使在专利文献1的方法中也会发生上述沿着像素的排列方向的线状的亮度不匀、发色不匀。图17是示出喷嘴列924的扫描方向dsx和涂布部位A9的示意性平面图。与专利文献1的方法同样，在喷嘴列924中，各喷嘴924N排列成的延伸方向dh相对于扫描方向dsx倾斜。在这种情况下，由于也是扫描方向dsx与行方向d1平行，因此，例如被喷射量比其它喷嘴924N少(或多)的喷嘴924NX(图的斜线部)涂布的子像素形成区域SP(B)(图的斜线部)将在行方向d1上排列。因而，用该方法制造的有机EL显示面板中也会发生沿着像素的排列方向的线状的亮度不匀、发色不匀。

进而，上述那样的线状的亮度不匀、发色不匀并非仅在喷嘴的喷射量存在极端的个体差异(存在喷嘴824NX、喷嘴924NX)的情况下才会发生。即使在个体差异小的情况下，例如当相邻的多个喷嘴的喷射量均比平均少等、具有同一倾向的个体差异的喷嘴集中于一定范围内时，由于个体差异的重叠，也会发生沿着像素的排列方向的线状的亮度不匀、发色不匀。

上述那样的沿着像素的排列方向的线状的亮度不匀、发色不匀非常容易被视觉上辨别到，导致有机EL显示面板的显示品质降低，从而成为一大问题。因此，本发明的目的在于，提供一种使用喷墨法的有机EL显示面板的制造方法，该方法能够降低由于喷嘴的喷射量的个体差异导致发生沿着像素的排列方向的线状的亮度不匀、发色不匀。

用于解决技术问题的方案

在本发明的一方面所涉及的有机EL显示面板的制造方法中，准备基板；在所述基板上形成多个第一电极；在形成有多个第一电极的基板上形成分隔壁，以形成被分隔壁包围的排列成矩阵状的多个像素形成区域。并且，在该制造方法中，边使排列在直线上的多个喷嘴在沿着基板的主面的一定的扫描方向上相对地移动，边从多个喷嘴向多个像素形成区域喷射含有功能性材料的墨，从而分别对多个像素形成区域涂布墨。进而，在该制造方法中，通过使涂布的墨干燥而分别在多个像素形成区域中形成包含功能性材料的功能层；并且，在覆盖形成有功能层的多个像素形成区域的位置至少形成第二电极。而且，在该制造方法中，在涂布墨时，通过将多个像素形成区域所排列的行方向与扫描方向所成的角度θ设定为大于0°且小于90°，由此，多个喷嘴各自跨像素形成区域的多行来涂布所述墨。

发明效果

在上述方面所涉及的有机EL显示面板的制造方法中，由于喷嘴的扫描方向相对于行方向倾斜，因此，即使存在与其它喷嘴相比喷射量少或多的喷嘴，由该喷嘴涂布的像素形成区域也将跨多个行、且不会在行方向上排列。因而，根据该制造方法，能降低由喷嘴的喷射量的个体差异所致的沿着行方向、即像素的排列方向的线状的亮度不匀、发色不匀的发生。

附图说明

[图1]是示出有机EL显示装置1的整体构成的框图。

[图2]是将有机EL显示面板10的图像显示面的局部放大后的示意性平面图。

[图3]是沿着子像素形成区域SP的行方向d1的示意性截面图。

[图4]是用于说明有机EL显示面板10的制造方法的工序图。

[图5]是示出有机EL显示面板10的制造过程的示意性截面图，(a)是示出阳极形成工序的图，(b)是示出空穴注入层形成工序的图，(c)是示出分隔壁形成工序的图。

[图6]是示出有机EL显示面板10的制造过程的示意性截面图，(a)是示出墨涂布工序的图，(b)是示出干燥工序的图，(c)是示出电子传输层形成工序的图。

[图7]是示出有机EL显示面板10的制造过程的示意性截面图，(a)是示出阴极形成工序的图，(b)是示出密封工序的图。

[图8]是示出在墨16a的涂布中使用的喷墨装置100的立体图。

[图9]是示出喷嘴列124的扫描方向ds和涂布部位A的示意性平面图。

[图10](a)是示出相邻的喷嘴124Na、124Nb的涂布间隔Dd1的图，(b)是示出相邻的像素形成区域P中的喷嘴的涂布部位A3、A4在列方向d2上的偏差Dd2的图。

[图11]是示出墨16a的一例中的涂布量与相对亮度的关系的曲线图。

[图12]是示出墨16a的一例中的涂布量偏差与N/TN的关系的曲线图。

[图13]是示出角度θ、α时的喷嘴列124对子像素形成区域SP的扫描的示意性平面图。

[图14]是用于说明喷墨装置100中的扫描次数的示意性平面图。

[图15]是示出变形例所涉及的喷墨装置200的立体图。

[图16]是示出喷嘴列824的扫描方向dsx和涂布部位A8的示意性平面图。

[图17]是示出喷嘴列924的扫描方向dsx和涂布部位A9的示意性平面图。

具体实施方式

＜本发明的一方面的概要＞

在本发明的一方面所涉及的有机EL显示面板的制造方法中，准备基板，在基板上形成多个第一电极，在形成有多个第一电极的基板上形成分隔壁，从而形成被分隔壁包围的排列成矩阵状(行列状)的多个像素形成区域。另外，在该制造方法中，边使排列在直线上的多个喷嘴在沿着基板的主面的一定的扫描方向上相对地移动，边从多个喷嘴向多个像素形成区域喷射含有功能性材料的墨，由此分别对多个像素形成区域涂布墨。进而，在该制造方法中，通过使涂布的墨干燥，从而分别在多个像素形成区域中形成包含功能性材料的功能层，并在覆盖形成有功能层的多个像素形成区域的位置至少形成第二电极。并且，在该制造方法中，在涂布墨时，通过将多个像素形成区域所排列的行方向与扫描方向所成的角度θ设定为大于0°且小于90°，由此，多个喷嘴各自跨像素形成区域的多行来涂布上述墨。

在上述方面所涉及的有机EL显示面板的制造方法中，由于喷嘴的扫描方向相对于行方向倾斜，因此，即使存在与其它喷嘴相比喷射量少或多的喷嘴，被该喷嘴涂布的像素形成区域也会涉及到多行，不会在行方向上排列。因而，根据该制造方法，能降低喷嘴的喷射量的个体差异所致的沿着行方向、即像素的排列方向的线状的亮度(辉度)不匀、发色不匀的发生。

另外，在本发明的其它方面所涉及的有机EL显示面板的制造方法中，在上述方面的基础上，在形成多个像素形成区域时，使多个像素形成区域所排列的行列方向的间隔为一定。进而，在该制造方法中，在将该一定的间隔中的行方向侧的间隔设为Dp、将列方向侧的间隔设为Dp2时，将角度θ设定为使Dp×tanθ的值不等于Dp2。

在上述方面所涉及的有机EL显示面板的制造方法中，由于对应每一像素形成区域进行涂布的喷嘴的组合会发生变化，因此能降低沿着扫描方向的线状的亮度不匀、发色不匀的发生。

另外，在本发明的其它方面所涉及的有机EL显示面板的制造方法中，在上述方面的基础上，在涂布墨时，分别将多个喷嘴排列的间隔设定为一定的值Dn、将扫描方向与多个喷嘴排列的方向所成的角度设定为一定的值α。并且，在该制造方法中，当将N设为正的整数时，将角度θ设定为满足下述数学式1。

[数学式1]

$\mathrm{\θ}={\sin }^{-1}\left(\frac{N\·Dn\·\sin \mathrm{\α}}{Dp}\right)$

在上述方面所涉及的有机EL显示面板的制造方法中，在行方向上相邻的像素形成区域中，各喷嘴的涂布部位错开墨的涂布间隔的恰好N倍。因而，在行方向上排列的哪个像素形成区域中均保有墨的涂布部位。由此，在行方向上排列的像素形成区域之间，涂布部位在列方向的位置、涂布数量的偏差得到抑制、且行方向的涂布不匀的发生得到抑制。因此，在上述方面所涉及的有机EL显示面板的制造方法中，能降低行方向的亮度不匀、发色不匀的发生。

另外，在本发明的其它方面所涉及的有机EL显示面板的制造方法中，在上述方面的基础上，当形成多个像素形成区域时，在多个像素形成区域中分别形成与红色、绿色和蓝色各自对应的子像素形成区域。进而，在该制造方法中，在涂布墨时，通过对与红色、绿色、蓝色对应的每个子像素形成区域进行多个喷嘴的扫描，从而分别涂布不同的上述墨。并且，在该制造方法中，将角度θ设定为使得涂布上述墨中亮度相对于涂布量的变化最大的墨时的扫描方向所对应的N的值为涂布其它墨时的扫描方向所对应的N的值以上。

在上述方面所涉及的有机EL显示面板的制造方法中，在涂布喷嘴的喷射量的个体差异将更强地反映为亮度的不匀的墨时，使进行涂布的喷嘴的替换数量N变为最大，从而能有效地降低线状的亮度不匀、发色不匀的发生。

另外，在本发明的其它方面所涉及的有机EL显示面板的制造方法中，在上述方面的基础上，在形成子像素形成区域时，将子像素形成区域形成为长边方向与行方向正交的长条状。进而，在该制造方法中，不管是针对涂布哪种墨时的所述扫描方向，均将角度θ设定为大于0°且为45°以下。

在上述方面所涉及的有机EL显示面板的制造方法中，喷嘴的扫描方向离与子像素形成区域的长轴方向正交的行方向近。因而，在上述方面所涉及的有机EL显示面板的制造方法中，能增大每一子像素形成区域的涂布喷嘴数量，能相对地减小喷嘴的喷射量的个体差异所带来的影响。

另外，本发明的其它方面所涉及的有机EL显示面板的制造方法中，在上述方面的基础上，将子像素形成区域的长边方向的长度设为Lsp。进而，在该制造方法中，不管是针对涂布哪种墨时的扫描方向，均将角度θ设定为满足下述数学式2。

[数学式2]

$\mathrm{\θ}\≤{\tan }^{-1}\left(\frac{Lsp}{Dp}\right)$

在上述方面所涉及的有机EL显示面板的制造方法中，通过增大角度θ，从而能够抑制为对所有子像素形成区域进行涂布所需的喷嘴的数量增加、能够抑制喷嘴的喷射量的个体差异反映于列方向。

另外，在本发明的其它方面所涉及的有机EL显示面板的制造方法中，在上述方面的基础上，不管是针对涂布哪种墨时的扫描方向，均将角度θ和角度α设定为满足下述数学式3。

[数学式3]

α≤90°-θ

在上述方面所涉及的有机EL显示面板的制造方法中，能将每一子像素形成区域的涂布喷嘴数量确保为与一般的喷墨法为相同程度以上，能在不增加像素间的亮度不匀的情况下降低线状的亮度不匀、发色不匀。

另外，在本发明的其它方面所涉及的有机EL显示面板的制造方法中，在上述方面的基础上，准备主面为长方形状的基板，在形成像素形成区域时，使行方向、列方向分别与基板的长边方向、短边方向一致。进而，在该制造方法中，在涂布墨时，将基板的长边方向的长度设为W，将基板的短边方向的长度设为H，将多个喷嘴排列成的全长设为L。并且，在该制造方法中，不管是针对涂布哪种墨时的扫描方向，均将角度θ设定为满足下述数学式4。

[数学式4]

$\[\frac{Hcos\mathrm{\θ}+W\sin \mathrm{\θ}}{L\sin \mathrm{\α}}\]=\[\frac{H}{L\sin \mathrm{\α}}\]$

在上述方面所涉及的有机EL显示面板的制造方法中，能够在不比角度θ＝0°的一般喷墨法增加扫描次数的情况下对基板整面涂布墨，并能抑制制造工序的增加。

需要说明的是，本申请中两个方向所成的角度是指投影到由该两个方向限定的平面上的该两个方向相交的角度中更小的一方。因而，两个方向所成的角度为0°以上且90°以下。

＜实施方式＞

下面，边参照附图，边说明本发明的一方面所涉及的有机EL显示面板的制造方法。

1.有机EL显示装置1的整体构成

图1是示出有机EL显示装置1的整体构成的框图。有机EL显示装置1用于电视机、个人计算机、工作用显示器、便携终端等中，其包括长方形状的有机EL显示面板10和与其连接的驱动控制部20。驱动控制部20包括4个驱动电路21～24和控制电路25。

有机EL显示面板10(以下称为“面板10”。)是具有长方形状的图像显示面的显示面板，作为一例，是顶部发光型且有源矩阵方式的有机EL显示面板。作为一例，驱动电路21～24在面板10的周围配置有4个，但驱动控制部20的构成不限于此，可适当地变更驱动电路的数量、位置。

2.面板10的构成

图2是将面板10的图像显示面的局部放大后的示意性平面图。面板10包括多个像素形成区域P，这多个像素形成区域P沿着图像显示面排列成由正交的行方向d1和列方向d2构成的矩阵状。像素形成区域P在行方向d1和列方向d2上排列的间隔是一定的值，像素形成区域P在行方向d1上按像素间隔Dp、在列方向d2上按像素间隔Dp2排列。

在各像素形成区域P中，分别与红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)各自对应的子像素形成区域SP(R)、SP(G)、SP(B)各形成有1个，它们在行方向d1上隔开间隔排列。下面，在不特别区分子像素形成区域SP(R)、SP(G)和SP(B)时，记载为子像素形成区域SP。

在面板10中，如图1所示，行方向d1与面板10的长边方向平行，列方向d2与面板10的短边方向平行。需要注意的是，在本申请中，长方形和长方形状的形状中的短边方向指的是与长边方向正交的方向。

图3是沿着子像素形成区域SP的行方向d1的示意性截面图。在子像素形成区域SP中形成有顶部发光型的有机EL元件，在基板11上层叠有第一电极12、透明电极13、空穴注入层14、分隔壁15、发光层16、电子传输层17、第二电极18和密封层19。需要说明的是，上述层叠构成终究只是一个例子，除此以外也可以层叠有空穴传输层、电子注入层、阻止层、缓冲层等。另外，也可以省略上述各层中的一部分。

在面板10中，多个第一电极12在基板11上形成为由行方向d1和列方向d2构成的矩阵状，在各第一电极12上形成有透明电极13。并且，以覆盖基板11的上表面和所有透明电极13的方式形成有空穴注入层14。在空穴注入层14上形成有包围用于限定像素形成区域P和子像素形成区域SP的开口15a的分隔壁15，在开口15a内形成有发光层16。进而，以覆盖全部发光层16和位于发光层16的间隔中的分隔壁15的方式依次形成有电子传输层17、第二电极18和密封层19。需要注意的是，上述结构终究只是一个例子，例如空穴注入层14、电子传输层17或第二电极18也可以仅形成于各开口15a内。

需要说明的是，虽然省略了图示，但也可以在子像素形成区域SP的列方向d2上将多个第一电极12配置于各子像素形成区域SP中的分隔壁15的开口15a内。例如，也可以在列方向d2上将3个第一电极12配置在1个开口15a中。既可以基于单独的信号控制各个第一电极12，也可以基于同一信号控制3个第一电极12。另外，在基于单独的信号控制第一电极12的情况下，为了避免来自相邻的第一电极12的干扰，也可以在第一电极12之间设置由电绝缘体构成的像素限制层。优选该像素限制层的高度低于分隔壁15的高度。

基板11是面板10的支撑部件。虽然省略了图示，但在基板11中，于长方形平板状的主体上形成有TFT(Thin Film Transistor：薄膜晶体管)层。在TFT层中，通过TFT元件、电容元件、配线等电子电路元件构成对供应至有机EL元件的电流进行控制的电路。另外，在TFT层的最上部形成有层间绝缘层(未图示)，基板11的上表面被平坦化。

基板11的主体由电绝缘性材料形成。具体地，作为该材料，例如可使用钠玻璃、无荧光玻璃、磷酸系玻璃、硼酸系玻璃、石英、丙烯酸系树脂、苯乙烯系树脂、聚碳酸酯系树脂、环氧系树脂、聚乙烯、聚酯、硅系树脂、氧化铝等。另外，基板11例如也可以是在铝、不锈钢等金属板上涂布有电绝缘性材料的基板。

基板11的TFT层由形成元件和配线的半导体、导电体、电绝缘体的层叠结构以及覆盖该层叠结构的层间绝缘层构成。作为半导体，例如可使用硅、铟-锌-镓氧化物等氧化物半导体、杂环芳香族化合物等具有在平面方向扩展的π电子共轭体系的有机半导体等。作为导电体，例如可使用铝、铜、金等金属；铟锡氧化物(ITO)、铟锌氧化物(IZO)等导电性氧化物等。作为绝缘体，例如可使用氮化硅、氧化硅、氮氧化硅、氧化铝、丙烯酸系树脂、聚酰亚胺系树脂、硅氧烷系树脂、苯酚系树脂等。作为层间绝缘层，可使用具有电绝缘性的能形成图案的材料、例如丙烯酸系树脂、聚酰亚胺系树脂、硅氧烷系树脂、苯酚系树脂等有机材料。

需要说明的是，在面板10中，基板11(主体)限定面板10的长边方向和短边方向。因而，基板11(主体)主面的长边方向与行方向d1平行、短边方向与列方向d2平行。

第一电极12例如由Al(铝)、Ag(银)、APC(银、钯和铜的合金)、ARA(银、铷和金的合金)、MoCr(钼和铬的合金)、或NiCr(镍和铬的合金)等形成，其不仅作为阳极发挥功能，而且还具有使在发光层16中产生的可见光反射并将其导向上方的功能。

透明电极13由ITO(铟锡氧化物)、IZO(铟锌氧化物)等形成，其不仅作为阳极发挥功能，而且还具有介于第一电极12与空穴注入层14之间来使这些层的接合性变得良好的功能。

空穴注入层14例如由金属氧化物、金属氮化物或金属氮氧化物等金属化合物形成。作为金属氧化物，例如可举出Cr(铬)、Mo(钼)、W(钨)、V(钒)、Nb(铌)、Ta(钽)、Ti(钛)、Zr(锆)、Hf(铪)、Sc(钪)、Y(钇)、Th(钍)、Mn(锰)、Fe(铁)、Ru(钌)、Os(锇)、Co(钴)、Ni(镍)、Cu(铜)、Zn(锌)、Cd(镉)、Al(铝)、Ga(镓)、In(铟)、Si(硅)、Ge(锗)、Sn(锡)、Pb(铅)、Sb(锑)、Bi(铋)等的氧化物和从La(镧)到Lu(镥)的所谓稀土元素等的氧化物。

分隔壁15例如由树脂等有机材料或玻璃等无机材料形成。在有机材料的例子中，可举出丙烯酸系树脂、聚酰亚胺系树脂、酚醛型苯酚树脂等，在无机材料的例子中，可举出SiO(氧化硅)、SiN(氮化硅)等。如图2所示，分隔壁15形成为使得子像素形成区域SP(开口15a)的平面形状大致为以列方向d2为长轴、以行方向d1为短轴的椭圆状。更具体地，分隔壁15以使开口15a的在行方向d1上相对的两边分别为直线状、而在列方向d2上相对的两边分别为半圆弧状的方式包围开口15a。

回到图3，发光层16例如由作为有机高分子的F8BT(poly(9、9-di-n-octylfluorene-alt-benzothiadiazole))形成。需要注意的是，发光层16不限于由该材料形成的构成，可构成为包括公知的有机材料。例如可使用在日本特开平5-163488号公报中记载的类喔星(oxinoid)化合物、苝化合物、香豆素化合物、氮杂香豆素化合物、噁唑化合物、噁二唑化合物、紫环酮(perinone)化合物、吡咯并吡咯化合物、萘化合物、蒽化合物、芴化合物、荧蒽化合物、并四苯化合物、芘化合物、晕苯化合物、喹诺酮化合物及氮杂喹诺酮化合物、吡唑啉衍生物及吡唑啉酮衍生物、若丹明化合物、(chrysene)化合物、菲化合物、环戊二烯化合物、茋化合物、二苯基苯醌化合物、苯乙烯基化合物、丁二烯化合物、双氰亚甲基吡喃化合物、双氰亚甲基噻喃化合物、荧光素化合物、吡喃鎓化合物、噻喃鎓化合物、硒吡喃鎓化合物、碲吡喃鎓化合物、芳香族坎利酮化合物、低聚亚苯基化合物、噻吨化合物、花青苷化合物、吖啶化合物、8-羟基喹啉化合物的金属配合物、2-联吡啶化合物的金属配合物、席夫碱与III族金属的配合物、8-羟基喹啉(喔星)金属配合物、稀土类配合物等荧光物质等。需要说明的是，发光层16相当于本实施方式中的功能层的一个方式。

电子传输层17由具有将从第二电极18注入的电子向发光层16传输的功能的材料形成。具体地，例如由硝基取代9-芴酮衍生物、噻喃二氧化物衍生物、联苯醌(Diphenoquinone)衍生物、苝四羧基衍生物、蒽醌二甲烷衍生物、亚芴基甲烷衍生物、蒽酮衍生物、噁二唑衍生物、紫环酮衍生物、喹啉配合物衍生物(均在特开平5-163488号公报中记载)、氧化磷衍生物、三唑衍生物、三嗪衍生物、硅杂环戊二烯衍生物、二(2,4,6-三甲苯基)硼衍生物、三芳基硼衍生物等形成。

第二电极18例如由ITO、IZO等形成，其作为阴极发挥功能。

密封层19具有抑制第二电极18以下的层暴露于水分中、或暴露于空气中的功能，其例如由SiN(氮化硅)、SiON(氮氧化硅)等材料形成。

3.有机EL显示面板10的制造方法

图4是用于说明面板10的制造方法的工序图。图5、图6、图7是示出面板10的制造过程的示意性截面图。

(1)准备基板(S1)

首先，准备基板11。具体地，准备将电绝缘性材料成形为长方形平板状而得的主体，在主体上形成TFT层。作为TFT层的形成方法，例如可以将溅射、化学蒸镀、旋涂等薄膜形成法与光刻法等图案化法相组合。另外，也可以根据需要进行等离子体离子注入、烘烤等处理。

(2)形成阳极(S2)

接着，在基板11上形成由第一电极12和透明电极13构成的阳极。具体地，通过例如溅射形成了金属薄膜之后，通过例如光刻法将该金属薄膜图案化为矩阵状，从而在基板11上形成排列为矩阵状的多个第一电极12(图5(a))。需要注意的是，也可以通过真空蒸镀等形成金属薄膜。同样地，通过例如溅射形成ITO薄膜，并通过例如光刻法将该ITO薄膜图案化为仅在第一电极上，从而形成透明电极13。另外，在上述内容中，也可以是在形成金属薄膜和ITO薄膜之后，通过光刻法依次对ITO薄膜、金属薄膜进行图案化，从而在基板11上形成排列为矩阵状的多个第一电极12和透明电极13。

(3)形成空穴注入层(S3)

接着，在形成有透明电极13的基板11上形成空穴注入层14。具体地，例如通过真空蒸镀法或溅射等在包括透明电极13的上表面在内的基板11的整个上表面侧以均匀的膜厚形成氧化钨膜，由此形成空穴注入层14(图5(b))。

(4)形成分隔壁(S4)

接着，在形成有空穴注入层14的基板11上形成分隔壁15。具体地，例如在空穴注入层14上通过涂布等而形成包含光致抗蚀剂材料的抗蚀膜，在该抗蚀膜的相当于透明电极13的上方的位置通过例如光刻法设置开口15a，形成分隔壁15(图5(c))。此时，开口15a成为被分隔壁15包围且排列成矩阵状的透明电极13的露出部。即，开口15a作为子像素形成区域SP而形成。另外，通过同时形成在行方向d1上排列的3个子像素形成区域SP而形成像素形成区域P。

(5)涂布墨(S5)

接着，对形成有分隔壁15的基板11涂布墨16a。具体地，使用喷墨法分别对开口15a(子像素形成区域SP)涂布含有发光层16的材料的墨16a(图6(a))。需要注意的是，后述墨16a的涂布方法的详细内容。

(6)干燥(S6)

接着，使涂布的墨16a干燥。具体地，通过将涂布墨16a后的基板11放置在真空室等真空环境中，从而使墨16a的溶剂蒸发而干燥。由此，在各个子像素形成区域SP中形成发光层16(图6(b))。

(7)形成电子传输层(S7)

接着，在覆盖形成有发光层16的子像素形成区域SP的位置形成电子传输层17。具体地，例如通过真空蒸镀以覆盖基板11上的层叠物的上表面的方式形成由用于电子传输层的材料构成的薄膜，从而形成电子传输层17(图6(c))。

(8)形成阴极(S8)

接着，在形成有电子传输层17的基板11上形成由第二电极18构成的阴极。具体地，例如通过溅射以覆盖基板11上的层叠物的上表面的方式形成ITO薄膜而形成第二电极18(图7(a))。需要注意的是，第二电极18至少形成于将形成有发光层16的子像素形成区域SP覆盖的位置即可。

(9)密封(S9)

最后，将形成了第二电极18的基板11密封。具体地，例如通过溅射法以覆盖基板11上的层叠物的方式形成氮化硅薄膜而形成密封层19(图7(b))。需要注意的是，也可以在形成密封层19后经由有机树脂等使平板状的密封材料与密封层19的上表面侧贴合。另外，也可以对该密封材料配置校正发光色的彩色滤光片等。

如上所述，完成在各子像素形成区域SP中形成有有机EL元件的面板10。需要注意的是，上述记载的各部的形成方法(成膜方法、图案化方法等)终究只是例示，也可以使用其它方法。

4.墨16a的涂布方法

以下说明面板10的制造方法中的、采用喷墨法的墨16a的涂布方法。

(1)喷墨装置100的说明

图8是示出在墨16a的涂布中使用的喷墨装置100的立体图。喷墨装置100包括工作台110、头部120作为主要的构成部分。

a.工作台110

工作台110是所谓的台架式工作台，包括供载置涂布对象物(本实施方式中为基板11)的基台111和配置于基台111上方的长条状的移动架台112。

基台111是长方体状，供载置涂布对象物的上表面是长方形。以下，基台111的长边方向是指上述上表面中的长边方向，基台111的短边方向是指上述上表面中的短边方向。

移动架台112架设于沿着基台111的长边方向平行配置的一对引导轴113a、113b之间。一对引导轴113a、113b由配设于基台111的四角的柱状的台架114a～114d支撑。

在各引导轴113a、113b上安装有直线电机部115a、115b，使移动架台112能够在基台111的长边方向移动。

在移动架台112上安装有L字形的台座116，伺服电机部117安装于该台座116。通过该伺服电机部117，能使台座116沿着引导槽118在基台111的短边方向上移动。

直线电机部115a、115b和伺服电机部117与控制装置(未图示)连接，通过来自控制装置的信号控制移动架台112向长边方向的移动和台座116向短边方向的移动。

另外，在喷墨装置100中，能使基台111上的涂布对象物在与基台111的上表面平行的面内进行旋转和固定，能自由地设定基台111的上表面上的涂布对象物的相对的朝向。这例如在基台111的供载置涂布对象物的部位配置能在基台111的上表面进行自由旋转/固定的切换的旋转台等即可。

b.头部120

头部120包括主体部121、喷墨头122和摄像装置123。主体部121固定于工作台110的台座116，喷墨头122和摄像装置123安装于主体部121。

喷墨头122是长条状的部件，虽未图示，但在其下表面侧，多个(例如1万个左右)喷嘴124N在喷墨头122的长边方向的一直线上隔开一定的喷嘴间隔Dn而排列。因而，喷嘴124N形成以喷墨头122的长边方向为延伸方向dh的喷嘴列124。喷嘴124N在内部具有压电元件(未图示)和与压电元件连接的液室(未图示)，通过压电元件压迫液室，由此，从喷嘴124N的喷射口喷射液室内的墨16a。

主体部121包括用于单独地驱动各喷嘴124N的压电元件的驱动电路(未图示)。另外，驱动电路与上述控制装置连接，通过来自控制装置的信号控制各喷嘴124N的喷射量和喷射定时等。另外，在主体部121中内置有与上述驱动电路同样地连接于控制装置的伺服电机(未图示)。该伺服电机能够使喷墨头122以主体部121为中心在与基台111的上表面平行的平面内旋转。由此，能调整喷嘴列124的延伸方向dh与基台111的长边方向(移动架台112的移动方向)所成的角度α，能调整喷嘴124N相对于涂布对象物的相对间隔、即涂布间隔。

摄像装置123例如是CCD照相机，与上述控制装置连接。摄像装置123拍摄涂布对象物的表面，将其图像数据向控制装置发送。由此，控制装置能够基于从摄像装置123发送的涂布对象物的图像数据来确定各喷嘴124N有无喷射。即，各喷嘴124N能够仅对涂布对象物的规定位置喷射墨16a。

在上述构成中，喷嘴列124经由头部120的主体部121而安装于台座116和移动架台112，由此能向基台111的长边方向移动和向基台111的短边方向移动。

(2)喷墨装置100的使用方法

在使用喷墨装置100的墨16a的涂布中，例如首先将喷嘴列124的延伸方向dh与基台111的长边方向所成的角度α设定为规定值，之后在基台111上载置涂布对象物。接着，设定基台111的上表面上的涂布对象物的相对的朝向。进而，根据上述角度α和涂布对象物的相对的朝向，使台座116在基台111的短边方向上移动，设定喷嘴列124扫描的涂布对象物的范围。

然后，通过使移动架台112移动，从而边使喷嘴列124在基台111的长边方向上移动(扫描)，边在喷嘴124N到达了涂布对象物上的规定位置时从该喷嘴124N向涂布对象物喷射墨16a。即，在喷墨装置100中，基台111的长边方向相当于喷嘴列124的扫描方向ds。并且，由此，在喷嘴列124经过的涂布对象物的规定部位涂布墨16a。

需要说明的是，在通过喷嘴列124的一次扫描无法对涂布对象物的全部规定位置涂布墨16a的情况下，在喷嘴列124的扫描后，通过台座116的移动使喷嘴列124在基台111的短边方向上移动并再次进行喷嘴列124的扫描即可。

(3)向基板11涂布墨16a的涂布方法

以下说明使用喷墨装置100向基板11涂布墨16a的涂布方法。

图9是示出喷嘴列124的扫描方向ds和涂布部位A的示意性平面图。在图9中，示出了向各像素形成区域P的子像素形成区域SP(B)涂布墨16a的情况。需要注意的是，为了进行说明，关于图中所示的4个像素形成区域P排列成的矩阵，将纸面上侧的行设为行Rm，将纸面下侧的行设为行Rm+1，将纸面右侧的列设为列Cn，将纸面左侧的列设为列Cn+1。

在本实施方式中的向基板11涂布墨16a的涂布中，利用了在上述喷墨装置100中能够设定基台111的上表面的涂布对象物的相对的朝向。具体地，将基板11的像素形成区域P所排列的行方向d1与喷嘴列124的扫描方向ds所成的角度θ设定为大于0°且小于90°。

此时，扫描方向ds相对于行方向d1具有角度θ的倾斜度，在图中，喷嘴列124从附图右上向左下移动。需要注意的是，各喷嘴124N正好对子像素形成区域SP的在行方向d1上的中央的位置涂布墨16a。由此，墨16a的涂布部位A在列方向d2上排列。

这种情况下，例如即使存在喷射量比其它喷嘴124N少或多的喷嘴124NX，由喷嘴124NX涂布墨16a的子像素形成区域SP也会跨多个行，且不会在行方向d1上排列。具体地，图中，在列Cn中，喷嘴124NX(斜线部)在行Rm的子像素形成区域SP(B)(斜线部)上通过，并对该子像素形成区域SP(B)涂布墨16a。另一方面，在列Cn+1中，喷嘴124NX的到达位置由于角度θ而向列方向d2下侧偏离，变为行Rm与行Rm+1的中间上部。即，喷嘴124NX不对列Cn+1中的行Rm的子像素形成区域SP(B)涂布墨16a，因而，由喷嘴124NX涂布的子像素形成区域SP(B)不在行Rm中排列。

需要说明的是，在列Cn中，当喷嘴124NX经过行Rm的子像素形成区域SP(B)的附图上端侧的情况、角度θ小的情况等下，在列Cn+1中也存在喷嘴124NX经过相同的行Rm的子像素形成区域SP(B)上的可能性。但是，这种情况下，通过喷嘴列124维持角度θ地进行移动，由此，在其更先(或位于列Cn前面)的列中也会存在喷嘴124NX没有经过行Rm的子像素形成区域SP(B)上的列。特别是，在显示面板中，一般与像素形成区域P的大小相比，在行方向d1上排列的像素形成区域P的行的全长非常大，即使是以微小的角度θ相对于行方向d1倾斜，喷嘴124N也会跨多个不同的行来涂布墨16a。

这样，在根据上述方法制造的面板10中，由于喷嘴124N的喷射量的个体差异导致亮度比其它像素高或低的像素或不发光的像素、发色偏离的像素在行方向d1上排列的情况得到抑制。因而，根据本实施方式中的制造方法，能够降低喷嘴的喷射量的个体差异所致的沿着行方向d1、即像素的排列方向的线状的亮度不匀、发色不匀的发生。

5.备注

(1)角度θ的优选值

在面板10的制造方法中，若角度θ大于0°且小于90°，则并不限于特定的值均具有上述的效果。另一方面，通过将角度θ设定为一定的值，从而能够进一步增强效果。

例如，针对像素形成区域P所排列的行方向d1的像素间隔Dp、列方向d2的像素间隔Dp2，优选将角度θ设定为使Dp×tanθ不等于Dp2。在Dp×tanθ等于Dp2的情况下，由于在喷嘴列124的扫描中，每隔1列各喷嘴124N在列方向d2上的涂布位置正好错开Dp2，因此，保持以像素形成区域P为单位进行涂布的喷嘴124N的组合。因而，墨16a的涂布量为同一倾向的像素形成区域P在扫描方向ds上排列，发生沿着扫描方向ds的线状的亮度不匀、发色不匀。

另一方面，若将角度θ设定为使Dp×tanθ不等于Dp2，则按每个像素形成区域P进行涂布的喷嘴的组合发生变化，因此能降低沿着扫描方向ds的线状的亮度不匀、发色不匀的发生。

另外，在面板10的制造方法中，优选将N设为正整数，将角度θ设定为满足下述数学式1。

[数学式1]

$\mathrm{\θ}={\sin }^{-1}\left(\frac{N\·Dn\·\sin \mathrm{\α}}{Dp}\right)$

图10(a)是示出相邻的喷嘴124Na、124Nb在子像素形成区域SP内的涂布间隔Dd1的图，(b)是示出相邻的像素形成区域P中的喷嘴的涂布部位A3、A4在列方向d2上的偏差Dd2的图。

根据图10(a)，在喷嘴列124的延伸方向dh与扫描方向ds所成的角度是α的情况下，相邻的喷嘴124Na、124Nb之间的间隔Dn和喷嘴124Na、124Nb在子像素形成区域SP内的墨16a的涂布部位A1、A2的涂布间隔Dd1处于Dd1·cosθ＝Dn·sinα的关系。

另外，如图10(b)所示，当在某列中对涂布部位A3涂布了墨16a的喷嘴124N(未图示)在与该列相邻的列中对涂布部位A4涂布了墨16a的情况下，涂布部位A3、A4在列方向d2上的偏离Dd2由Dd2＝Dp·tanθ表示。

在此，在角度θ满足上述数学式1时，变为Dd2＝Dp·(sinθ/cosθ)＝(N·Dn·sinα)/cosθ＝N·Dd1。即，在行方向d1上相邻的像素形成区域P的列中，各喷嘴124N所经过的列方向d2的位置(涂布部位A)偏离墨16a的涂布间隔Dd1的正好N(正整数)倍。因而，不论在行方向d1上排列的哪个像素形成区域P的列中，喷嘴124N所经过的列方向d2的位置均相同，即保持墨16a的涂布部位A。由此，在排列于行方向d1上的像素形成区域P的列之间，可抑制涂布部位A在列方向d2上的位置、涂布数量的偏差，可抑制行方向d1上的涂布不匀的发生。因而，若将角度θ设定为满足上述数学式1，则能够降低行方向d1的亮度不匀、发色不匀的发生。

(2)对应每一子像素形成区域SP的N的设定

如上所述，当角度θ满足数学式1时，在行方向d1上相邻的像素形成区域P中，喷嘴124N的涂布部位A在列方向d2上偏离N·Dd1。即，N表示在行方向d1上相邻的像素形成区域P中，进行涂布的喷嘴124N的替换数量。因而，N越大，喷嘴124N的个体差异越不易在行方向d1上反映，能进一步降低线状的亮度不匀、发色不匀的发生。

在此，在面板10中，像素形成区域P中形成有分别与R、G、B对应的子像素形成区域SP(R)、SP(G)、SP(B)，为了形成发光色不同的发光层，对它们各自涂布不同的墨16a。在此，将涂布于子像素形成区域SP(R)、SP(G)、SP(B)的墨分别设为第一墨16a(R)、第二墨16a(G)、第三墨16a(B)。需要注意的是，在对它们进行总的说明时，记载为墨16a(R)、(G)、(B)。

在面板10的制造方法中，优选地，对每个子像素形成区域SP(R)、SP(G)、SP(B)进行喷嘴列124的扫描，由此分别涂布不同的墨16a(R)、(G)、(B)。由此，能在每次涂布墨16a(R)、(G)、(B)时设定不同的N。以下，将涂布第一墨16a(R)时的扫描方向ds设为第一扫描方向ds1，将涂布第二墨16a(G)时的扫描方向ds设为第二扫描方向ds2，将涂布第三墨16a(B)时的扫描方向ds设为第三扫描方向ds3。

图11是示出墨16a的一例中的涂布量与相对亮度的关系的曲线图。在图11中，横轴和纵轴为相对值，横轴表示将某涂布量设为1时的相对的墨16a的涂布量，纵轴表示以某亮度为基准的从该亮度的变化率。需要注意的是，本曲线图示出的是墨16a(R)、(G)、(B)的一例中的关系，若使用的是不同的墨16a(R)、(G)、(B)，则它们的关系、具体地说曲线图的斜率会不同。

如图所示，在墨16a(R)、(G)、(B)的一例中，由涂布量的变化导致的亮度的变化比例是不同的。特别是在第二墨16a(G)的一例中，亮度由于涂布量而发生大的变化，但在第三墨16a(B)的一例中，即使涂布量发生变化，亮度也不怎么变化。一般地，人类的视觉灵敏度对绿色的变化敏感，而对蓝色的变化迟钝，认为上述现象反映了该点。

由此可知，在涂布第二墨16a(G)的一例时，喷嘴124N的喷射量的个体差异会更强地反映为亮度的不匀。因而，优选将角度θ设定为使得涂布第二墨16a(G)的一例时的第二扫描方向ds2所对应的N的值为第一扫描方向ds1所对应的N的值和第三扫描方向ds3所对应的N的值以上。更一般性而言，优选将角度θ设定为使涂布墨16a(R)、(G)、(B)中亮度相对于涂布量的变化最大的墨16a时的扫描方向所对应的N的值为涂布其它墨16a时的扫描方向所对应的N的值以上。

图12是示出墨16a的一例中的涂布量偏差与N/TN的关系的曲线图。横轴的涂布量偏差是根据墨16a确定的值，具体地是指，从喷嘴124N多次喷射同一墨16a时的平均涂布量与最大涂布量之差或平均涂布量与最小涂布量之差中的任意更大一方除以平均涂布量所得的值的百分率。另外，TN是指，平均对一个子像素形成区域SP进行涂布的喷嘴124N的数量(以下称为“涂布喷嘴数量TN”)。因而，纵轴的N/TN表示在行方向d1上相邻的像素形成区域P中进行涂布的喷嘴124N的替换比例。

图12的曲线图是演绎性地示出本发明的发明人针对某墨16a的一例使用各种各样的角度θ确认同色的子像素形成区域SP中的线状的亮度不匀的发生而得到的结果的内容，针对墨16a的一例中的涂布量偏差，示出了可充分抑制线状的亮度不匀的发生的N/TN的值。例如，在测定了对子像素形成区域SP(R)进行涂布的第一墨16a(R)的一例中的涂布量偏差的结果是9％的情况下，若将角度θ设定为使N/TN为0.22以上，则可充分地抑制线状的亮度不匀的发生。

在图12中，用虚线示出了对该确认结果进行近似后的直线，在墨16a的一例中，优选将角度θ的值设定为使N/TN在该近似直线的上方。即，在将涂布量偏差设为X％时，优选将角度θ设定为使得对应第一扫描方向ds1(涂布第一墨16a(R)的一例时)满足下述数学式5、对应第二扫描方向ds2(涂布第二墨16a(G)的一例时)满足下述数学式6。

[数学式5]

$\frac{N}{TN}\≥0.05X-0.23$

[数学式6]

$\frac{N}{TN}\≥0.08X-0.30$

需要说明的是，对于第三扫描方向ds3(涂布第三墨16a(B)的一例时)，由涂布量偏差导致的亮度的变化小，因此，即使将N/TN(角度θ)设定为任意的值也没有关系。

(3)子像素形成区域SP的形状与角度θ的优选关系

在面板10中，开口15a、即子像素形成区域SP形成为其长边方向与行方向d1正交的长条状。具体地，如图2所示，子像素形成区域SP形成为以长轴方向为列方向d2、以短轴方向为行方向d1的大致椭圆状。

在此，在向子像素形成区域SP涂布墨16a时，若增大涂布喷嘴数量TN，则能相对地减小由喷嘴124N的喷射量的个体差异带来的影响。为了增大涂布喷嘴数量TN，优选在子像素形成区域SP的长轴方向d2与短轴方向d1之间，喷嘴列124的扫描方向ds(第一扫描方向ds1、第二扫描方向ds2、第三扫描方向ds3)离短轴方向d1更近。即，优选将喷嘴列124的扫描方向ds与子像素形成区域SP的短轴方向d1所成的角度、即角度θ设定为大于0°且在45°以下。

(4)N的优选范围

在向子像素形成区域SP涂布墨16a时，当将子像素形成区域SP的长边方向的长度设为Lsp时，优选将角度θ设定为满足下述数学式2。

[数学式2]

$\mathrm{\θ}\≤{\tan }^{-1}\left(\frac{Lsp}{Dp}\right)$

图13是示出角度θ、α时的喷嘴列124对子像素形成区域SP的扫描的示意性平面图。根据该图，涂布喷嘴数量TN是[(Lsp·cosθ)/(Dn·sinα)]或[(Lsp·cosθ)/(Dn·sinα)]+1。需要说明的是，用[]表示的符号是所谓的高斯符号，[A]是不大于A的最大的整数。因而，A为[A]以上且小于[A]+1。

另一方面，如上所述，N是在行方向d1上相邻的像素形成区域P中，进行涂布的喷嘴124N的替换数量。在此，在角度θ满足数学式2的等号时，变为N＝Dd2/Dd1＝(Dp·tanθ)/((Dn·sinα)/cosθ)＝(Lsp·cosθ)/(Dn·sinα)，与涂布喷嘴数量TN大致相等。

因而，在角度θ满足数学式2的等号时，在行方向d1上相邻的像素形成区域P中，进行涂布的喷嘴124N的大部分被替换掉，喷嘴124N的喷射量的个体差异几乎不会反映在行方向d1上。另一方面，即使在此之上地增大角度θ，降低线状的亮度不匀、发色不匀的效果也几乎没有什么变化。相反地，当在此之上地增大角度θ时，有可能增加为对全部子像素形成区域SP进行涂布所需的喷嘴124N的数量、或者喷嘴124N的喷射量的个体差异反映在列方向d2上。因而，优选N是TN以下，即、优选角度θ满足数学式2。

(5)角度α的优选范围

角度α是扫描方向ds与喷嘴列124的延伸方向dh所成的角，是调整涂布间隔Dd1的参数。优选将该角度α设定为相对于角度θ满足下述数学式3。

[数学式3]

α≤90°-θ

此时，涂布喷嘴数量TN满足下述数学式7的不等式。

[数学式7]

在此，数学式7的右边与θ＝0°、α＝90°、即一般的喷墨法中的涂布喷嘴数量大致相等。即，在角度α满足数学式3时，能将涂布喷嘴数量TN确保为与一般的喷墨法相同的程度以上，能在不增加像素间的亮度、发色的不匀的情况下降低线状的亮度不匀、发色不匀。

(6)相对于角度θ的扫描次数

在向子像素形成区域SP涂布墨16a时，优选在将基板11的长边方向的长度设为W、将短边方向的长度设为H、将喷嘴列124的延伸方向dh的全长设为L时，将角度θ设定为满足下述数学式4。

[数学式4]

$\[\frac{Hcos\mathrm{\θ}+W\sin \mathrm{\θ}}{L\sin \mathrm{\α}}\]=\[\frac{H}{Lsin\mathrm{\α}}\]$

图14是用于说明喷墨装置100的扫描次数的示意性平面图。在图14中，位于纸面右侧的喷墨头122向扫描方向ds移动，对基板11上涂布墨16a。

如图所示，在角度θ和角度α时的喷嘴列124的扫描中，对基板11的整面涂布墨16a所需的最低扫描次数为数学式4的左边的值+1。另一方面，角度θ为0°时的该最低扫描次数是数学式6的右边的值+1。因而，在满足数学式4时，能够在不比一般的喷墨法增加扫描次数的情况下对基板11的整面涂布墨16a，能够抑制制造工序的增加。

需要说明的是，在上述内容中，视基板11的图像显示面的大小与像素的排列区域的大小的差异为微小的差异(不考虑所谓的边框部分)，另外，喷墨头122的长边方向的长度与喷嘴列124的全长L的差异也视为微小的差异而将其忽视。

(7)其它

在本申请中，示出了从数学式1到数学式7的数学式，但它们当中的等号并不要求严格的相等，如果在现实的范围内一致，就可以看作等号成立。例如，在左边与右边的比较中，若有效数字的高位2位一致，就可以看作左边与右边的等号成立。

本实施方式中，在喷墨装置100中，喷嘴124N全部排列在一直线上，但不限于此。图15是示出变形例所涉及的喷墨装置200的立体图。例如，如喷墨装置200这样，也可以是在头部220上安装多个喷墨头222、且在各喷墨头222中喷嘴124N排列在直线上的构成。即，若喷嘴124N所排列成的直线的方向是平行的，则也可以是多条直线。

另外，本实施方式中，在喷墨装置100中，通过基台111上的基板11的旋转来设定子像素形成区域SP排列的行方向d1与扫描方向ds所成的角度θ，但不限于此。例如也可以是，将基板11固定于基台111，另一方面，通过使引导轴113a、113b在与基台111的上表面平行的面内自由旋转来设定扫描方向ds。

另外，本实施方式中，在喷墨装置100中，使喷嘴124N向扫描方向ds移动，但不限于此，也可以通过使基板11向扫描方向ds的反方向移动来使喷嘴124N相对地向扫描方向ds移动。

另外，本实施方式中，在墨16a的涂布中，将角度θ设为喷嘴列124的扫描方向ds与像素形成区域P所排列的行方向d1所成的角度，但不限于此，也可以将角度θ考虑为扫描方向ds与像素形成区域P所排列的列方向d2所成的角度。

另外，本实施方式中，在发光层16的形成中使用了喷墨法，但也可以在发光层16以外的功能层(例如电子传输层17等)的形成中使用喷墨法。需要说明的是，由于形成发光层16以外的功能层时的涂布量(层的厚度)也会对像素的亮度带来影响，所以此时通过也将行方向d1与扫描方向ds所成的角度设为大于0°且小于90°，从而能降低行方向d1上的线状的亮度不匀、发色不匀的发生。

另外，在本实施方式的面板10中，像素形成区域P排列的行列方向(行方向d1和列方向d2)与基板11主面的长边方向和短边方向平行，但不限于此。例如，行方向d1或列方向d2或者它们两者也可以是与基板11的长边方向和短边方向既不平行也不正交的方向。另外，行方向d1和列方向d2不限于正交关系。需要注意的是，通过使扫描方向ds相对于行方向d1和列方向d2中哪一方都倾斜(角度θ)，从而能降低行列两方向上的线状的亮度不匀、发色不匀的发生。即，本质上行方向d1和列方向d2并没有区别，将它们进行调换(将列方向d2作为“行方向”)也没有问题。

另外，在面板10中，在像素形成区域P中形成了红、绿和蓝三色的子像素形成区域SP，但不限于此，子像素形成区域SP既可以是例如红色一色，也可以是例如红、绿、蓝和黄四色。另外，子像素形成区域SP在像素形成区域P中不限于一色一个，也可以形成有多个。进而，子像素形成区域SP的排列不限于在行方向d1上排列的构成，例如也可以是在列方向d2上排列的构成、排列成三角形的顶点状的构成等。需要注意的是，当在每个像素形成区域P中子像素形成区域SP为1个的情况下，在本实施方式中，可将记载为子像素形成区域SP的部分全部更换解读为像素形成区域P。

另外，在面板10中，基板11的主体(除TFT层以外的部分)为长方形，但不限于此，也可以是正方形、四边形以外的多边形、圆形、椭圆形等。

另外，在面板10中，将第一电极12设为阳极，将第二电极18设为阴极，但不限于此，也可以是将第一电极12设为阴极、将第二电极设为阳极的反结构。

另外，面板10的分隔壁15既可以是按每个子像素形成区域SP包围其周围的构成(像素隔堤(ピクセルバンク)方式)，也可以是例如按在列方向d2上排列的子像素形成区域SP包围其周围的构成(线隔堤(ラインバンク)方式)。需要注意的是，在上述线隔堤方式中，通常会形成用于防止在列方向d2上相邻的子像素形成区域SP之间的串扰的障碍物(像素限制层)。因而，在上述线隔堤方式中，由于上述障碍物，墨向列方向d2的流动性也是受限的，能够抑制喷嘴124N的喷射量的个体差异反映于行方向d1的本实施方式的制造方法也是有用的。

另外，面板10设为顶部发光型且为有源矩阵方式的有机EL显示面板，但不限于此，例如也可以采用底部发光型或无源矩阵方式。随着这些变更，也适当变更面板10的构成、制造方法。

工业上的可利用性

本发明所涉及的有机EL显示面板的制造方法能广泛地用作在电视机、个人计算机、工作用显示器、便携终端等各种各样的电子设备中使用的显示面板的制造方法。

附图标记说明

10 有机EL显示面板

11 基板

12 第一电极

15 分隔壁

16 发光层(功能层)

16a 墨

18 第二电极

124N、824N、924N 喷嘴

Dp、Dp2 像素间隔

Dn 喷嘴间隔

Lsp 长度

N 正的整数

P 像素形成区域

SP 子像素形成区域

d1 行方向

d2 列方向

ds、dsx 扫描方向

α、θ 角度