静电电荷减少系统的制作方法

本发明涉及静电电荷减少技术，更具体地说，涉及一种用于局部位置的静电电荷减少的静电电荷减少系统。

背景技术：

在设备小型化市场趋势中，电路密度的不断增大迫使微芯片制造商不断提高产品性能，降低成本，以及将数十亿个晶体管挤入单个芯片。而这种设备小型化趋势带来了新的挑战，其导致需要更多的静态中和空气离子发生器来解决由于静电放电(electrostaticdischarge,esd)损坏而导致的关键器件故障问题。

通常可见的做法是在典型的微芯片测试处理机中同时安装大量的空气离子发生器，以减轻静电电荷生成，从而最大限度地减少或消除由于静电放电(esd)引起的微芯片损坏。

为了克服日益增加的成本和器件灵敏度问题，正在生产出更专业的空气离子发生器以跟上工业小型化趋势，从而满足更严格和苛刻的要求。

但是，这依然受到限制。用于制造微芯片高度esd敏感的部件或组件变得非常敏感，从而使得即使从空气离子发生器排出的正，负空气离子的轻微不平衡将导致在多种新一代esd敏感设备的生产中造成质量问题和低产问题。

pct/cn/2011/076825描述了一种使用密闭壳体内的湿气流减轻静电荷生成的方法。pct/cn/2013/087133描述了将湿空气用于在周围环境中的空间开放性局部区域中减轻静电荷生成的方法。当需要同时在数个位置减轻静电荷生成时，本领域普通技术人员可以根据需要减轻的位置的确切数量重复地实施pct/cn/2013/087133中的空间开放系统，从而相应地解决问题。

然而，通过常规手段的这些解决方案是不便的，并且成本较高。其不仅占用较大空间，还受到系统场地维护和综合维护工作的影响。

因此，与微芯片不太容易受到esd损害的旧时代相比，保护微芯片免受esd损伤的成本非常高。

因此，需要进一步的研究以寻找一种解决前述段落中强调的缺陷的更佳且更可行的技术方案从而解决微芯片保护的高成本挑战问题。

技术实现要素：

根据本发明的一个方面，提供了一种静电电荷减少系统，其包括加湿器，连接到所述加湿器的出口的主流出空气输送管，其中从所述主流出空气输送管分支延伸出(branch)至少一个次流出空气输送管，其中将所述次流出空气输送管导向(direct)目标位置以将湿空气从所述加湿器输送到所述目标位置。

可选地，所述静电电荷减少系统进一步包括连接到所述加湿器的入口的主回流空气输送管，从所述主回流空气输送管分支延伸出至少一个次回流空气输送管，其中所述次回流空气输送管从所述目标位置将所述湿空气吸收回到所述加湿器。

可选地，至少一个微毛细管附连到所述主流出空气输送管，并将其导向特定的目标位置。

可选地，所述主流出空气输送管与所述主回流空气输送管连接以形成闭合回路或分别在其一端或两端密封从而形成开放性回路(openloop)。

可选地，在所述主流出空气输送管的末梢(tipend)和/或所述主回流空气输送管的末梢设置阀塞。可选地，所述阀塞包括中空圆柱形插入部和外部平头塞，其中在所述中空圆柱形插入部上设置开口。通过所述阀塞沿着所述中空圆柱形插入部的长度方向上的滑动，可以阻碍或者输送所述主流出空气输送管和/或所述主回流空气输送管中的湿空气。

可选地，所述主流出空气输送管和所述主回流空气输送管可以是具有切割壁(cut-offwall)以形成末梢开口的同一个管(thesamepieceofonesingletubing)。可选地，所述次流出空气输送管和所述次回流空气输送管可以是具有切割壁(cut-offwall)以形成末梢开口的同一个管(thesamepieceofonesingletubing)。

可选地，多个次流出空气输送管道从所述主流出空气输送管道上分支延伸出，并且多个次回流空气输送管从所述主回流空气输送管上分支延伸出。

可选地，将每个所述次流出空气输送管道和所述次流出空气输送管导向相同的目标位置以形成次空气输送回路。

可选地，所述主流出空气输送管和所述主回流空气输送管沿其长度方向在不同位置分别设置多个开口，至少一个次级管插入所述主流出空气输送管的一个开口以形成所述次流出空气输送管且至少一个次级管插入所述主回流空气输送管的一个开口以形成所述次回流空气输送管。

可选地，设置空气控制器以覆盖所述主流出空气输送管和所述主回流空气输送管的至少一个开口。可选地，所述空气控制器可以是包裹所述主流出空气输送管和所述主回流空气输送管上的圆柱形可旋转管。

可选地，提供主管支撑器用于支撑所述主流出空气输送管和所述主回流空气输送管，其中所述主管支撑器包括u形结构，所述u形结构具有用于支撑平行设置的所述主流出空气输送管和所述主回流空气输送管的至少两个凹槽。可选地，可以设置多个凹槽，并且所述主管支撑器可以是可滑动的。

可选地，提供次管支撑器用于支撑所述次流出空气输送管和所述次回流空气输送管，其中所述次管支撑器具有底板和两个侧壁，其中所述两个侧壁分别具有至少一个支撑开口以用于支撑所述次流出空气输送管和所述次回流空气输送管。可选地，所述两个侧壁在所述底板上可以朝着彼此滑动。可选地，所述两个侧壁固定在所述底板的两个端部，所述底板是可伸缩的，在每个侧壁上设置至少两个凹槽以用于支撑所述次流出空气输送管和所述次回流空气输送管。可选地，所述两个侧壁是设置有至少两个凹槽的线状结构(wire-likestructure)，所述至少两个凹槽用于支撑所述次流出空气输送管和所述次回流空气输送管。

可选地，所述主流出空气输送管和所述主回流空气输送管附连双壁管结构，或者所述次流出空气输送管和所述次回流空气输送管附连双壁管结构，其中所述双壁管结构包括大直径管和放置在所述大直径管内的小直径管以形成在相反的方向上行进(travel)的外部湿气流和内部湿气流。可选地，小直径管是可滑动的。可选地，环形板附连在双壁管结构的嘴部(mouth)。

可选地，所述加湿器包括中空圆柱腔室，设置在所述中空圆柱腔室的底部以用于生成连续湿气流的湿气生成器，以及位于所述湿气生成器和所述主流出空气输送管之间的吸风机，所述吸风机将所述连续湿气流和进气流形成螺旋气流，所述螺旋气流朝着所述主流出空气输送管螺旋上升，从而消除所述中空圆柱腔室的出口区域的水滴聚集或者凝结。可选地，所述加湿器可以进一步包括附连到所述中空圆柱腔室以馈入所述进气流的进口管。

可选地，所述中空圆柱腔室包括垂直圆柱型下部腔室和附连到所述垂直圆柱型下部腔室的顶部的斜锥型上部腔室，所述主流出空气输送管附连到所述斜锥型上部腔室，所述吸风机放置在所述垂直圆柱型下部腔室中。

可选地，所述中空圆柱腔室包括垂直圆柱型下部腔室和从所述垂直圆柱型下部腔室分支延伸的出口流道，所述主流出空气输送管附连到所述出口流道，且所述吸风机放置在所述出口流道中。

可选地，所述吸风机是离心风机，所述离心风机固定附连到圆盘上，所述圆盘上具有中央孔以允许所述连续湿气流和所述进气流进入所述离心风机，从而将所述连续湿气流和所述进气流混合以形成所述螺旋气流。

可选地，所述离心风机包括鼓状壳体，所述鼓状壳体中部设置翅片，所述鼓状壳体进一步包括出气口，所述出气口在平行于所述出气口处的切线或相对所述切线倾斜较小角度的方向上释放所述连续湿气流和所述进气流的混合气体从而沿着所述中空圆柱腔室的内壁的周长方向形成所述螺旋气流。

可选地，所述圆盘固定附连到所述中空圆柱腔室的内壁，其中所述鼓状壳体的翅片位于所述圆盘的所述中央孔的正上方。

可选地，所述吸风机相对于水平轴从所述水平轴向上或向下倾0度-80度，优选5度-75度，更优选25度-60度，最优选从35度-50度。

可选地，所述螺旋气流的流动角度随着其螺旋上升而增加，随着所述螺旋气流螺旋上升直至到达所述中空圆柱腔室的最顶部，所述流动角度从最小至5度上升到最大至80度。

通过使用单个主流出空气输送管和至少一个次流出空气输送管，令人惊讶的获得了目标区域的有效的静电电荷减少。此外，通过使用成对的主空气输送管回路和次空气输送管回路，令人惊讶的获得了多个目标区域的有效的静电电荷减少。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本发明的典型实施例作进一步说明，附图中：

图1是根据本申请的实施例的静电荷减少系统的开放性回路的示意图；

图2是根据本申请的另一实施例的静电荷减少系统的示意图；

图3是图2所示的静电荷减少系统的一个次空气传输回路的示意图；

图4是根据本申请的实施例的静电荷减少系统的阀塞的示意图；

图5是根据本申请的实施例的静电荷减少系统的主管支撑器的示意图；

图6a是根据本申请的实施例的静电荷减少系统的次管支撑器的第一实施例的示意图；

图6b是根据本申请的实施例的静电荷减少系统的次管支撑器的第二实施例的示意图；

图6c是根据本申请的实施例的静电荷减少系统的次管支撑器的第三实施例的示意图；

图7是根据本申请的再一实施例的静电荷减少系统的示意图；

图8是根据本申请的实施例的静电荷减少系统的空气控制器的示意图；

图9是根据本申请的实施例的静电荷减少系统的加湿器的示意图；

图10是图9所示的加湿器的离心风扇和圆板的示意图；

图11是所述离心风机生成沿着所述中空圆柱腔室的内壁的周长的螺旋气流的示意图；

图12是图9所示的加湿器的截面示意图；

图13是生成所述螺旋气流的旋转效应的气流条件的示意图；

图14是根据本申请的另一实施例的静电荷减少系统的加湿器的示意图；

图15是根据本申请的实施例的静电荷减少系统的双壁管结构的示意图；

图16是图15所示的双壁管结构的环状板的示意图；

图17是所述主/次流出空气输送管和所述主/次回流空气输送管的优选实施例的示意图。

具体实施方式

下面参照以下描述和附图可以更好地理解本发明的各个优点、方面和新颖特征以及示出的实施例。然而在此列出的本发明的各个实施例仅仅是用于示例而非限制目地的。在下图中，箭头代表气流方向。

图1-3示出了根据本发明实施例的静电荷减少系统。如图1-3所示，所述静电荷减少系统包括：加湿器100，连接到所述加湿器100的出口110的主流出空气输送管200，连接到所述加湿器100的入口120的主回流空气输送管300。

所述主流出空气输送管200的末梢可以贴附(affixed)阀塞210，且所述主回流空气输送管300的末梢也可以贴附(affixed)阀塞310，因此可以形成开放式或者闭合式回路湿空气流输送系统。然而，在本发明的另一实施例中，所述主流出空气输送管200和所述主回流空气输送管300可以由一个闭合回路管形成。在本发明的另一实施例中，所述主流出空气输送管200与所述主回流空气输送管300的末梢分别密封从而形成开放性回路(openloop)。

根据本发明的如图17所示的优选实施例，所述主流出空气输送管200和所述主回流空气输送管300可以是具有切割壁(cut-offwall)以形成末梢开口的同一个管(thesamepieceofonesingletubing)。通过所述末梢开口的湿空气流用作削弱或降低静电电荷的静电电荷减轻湿气流量。

如图2所示，所述主流出空气输送管200和所述主回流空气输送管300可以平行设置在所述加湿器100的相同侧。此外，所述主流出空气输送管200沿其长度方向在不同位置分别设置多个流出开口220。同时所述主回流空气输送管300沿其长度方向在不同位置分别设置多个回流开口320。一个次级管插入到一个流出开口220中以形成次流出空气输送管230。将所述次流出空气输送管230导向目标区域，从而将湿空气从所述加湿器100输送到所述目标区域，从而削弱或降低在所述目标区域生成的静电电荷。将一个次级管插入到一个回流开口320中以形成次回流空气输送管330。将所述次回流空气输送管330导向相同的目标区域，从而将湿空气从所述目标区域吸入从而回到所述加湿器100。如图3所示，将所述次流出空气输送管230和所述次回流空气输送管330的末梢导向相同的目标区域从而形成开放式次空气输送回路。

在本发明的一个实施例中，所述流出开口220和所述回流开口320的数量可以相同或不同。因此，所述次流出空气输送管230和所述次回流空气输送管330的对数可以根据实际需要来确定。

然而，在本发明的一个简化实施例中，仅设置一个所述主流出空气输送管200和一个次流出空气输送管230，而不提供任何的所述主回流空气输送管300和所述次回流空气输送管330以供特殊使用。

在某些实施例中，所述回流开口320和所述流出开口220可以分别是在所述主流出空气输送管200和所述主回流空气输送管300上制作的切口(incision)。在某些实施例中，可以设置胶水，粘合剂，凝集剂，密封件或其它密封元件，用于密封所述次流出空气输送管230插入所述流出开口220，或所述次回流空气输送管330插入所述回流开口320。

在另一实施例中，所述主流出空气输送管200可以是具有数个分支延伸管(branchedtubings)的主管，这意味着所述主流出空气输送管200和所述次流出空气输送管230可以一体成型。类似的，所述主回流空气输送管300可以相同的方式制造。

根据本发明的优选实施例，所述次流出空气输送管230和所述次回流空气输送管330可以是具有切割壁(cut-offwall)以形成末梢开口的同一个管。根据更优选的实施例，所述主流出空气输送管200和所述主回流空气输送管300可以是具有切割壁(cut-offwall)以形成末梢开口的同一个管，且所述次流出空气输送管230和所述次回流空气输送管330可以是具有切割壁(cut-offwall)以形成末梢开口的同一个管。这样，通过所述末梢开口的湿空气流用作削弱或降低静电电荷的静电电荷减轻湿气流量。

图4示出了阀塞210、310的优选实施例。如图4所示，开/关(open/close)连接阀塞500具有中空圆柱形插入部520和外部平头塞510。所述外部平头塞510可以是圆柱底板，该圆柱底板的直径大于所述主流出空气输送管200和所述主回流空气输送管300的直径。当然，所述外部平头塞510还可以是其他形状，例如正方形，矩形，圆形，椭圆形或任何其他形状。所述中空圆柱形插入部520的直径略小于所述主流出空气输送管200和所述主回流空气输送管300的直径，这样其可以插入到所述主流出空气输送管200和所述主回流空气输送管300的直径中且不会造成湿空气泄漏。在所述中空圆柱形插入部520上设置开口530。通过所述开/关连接阀塞500沿着所述中空圆柱形插入部520的长度方向上的滑动，可以阻碍或者输送所述主流出空气输送管200和/或所述主回流空气输送管300中的湿空气。在一个实施例中，所述开口530可以具有方形，矩形，圆形，椭圆形或允许湿空气流动的任何其他形状。

在本发明的另一实施例中，所述阀塞210、310可以通过已知的不具备任何开口的气塞(gasplug)构成，这意味所述主流出空气输送管200和所述主回流空气输送管300可以是完全密封的。

如图2所示，可设置数个次管支撑器400用于支撑所述次流出空气输送管230和所述次回流空气输送管330。

图6a-6c示出了所述次管支撑器400的优选实施例。如图6a所示，所述次管支撑器400具有底板410和两个侧壁420，所述两个侧壁420在所述底板410上可以朝着彼此滑动。如图6a所示，所述两个侧壁420分别具有至少一个支撑开口440以用于支撑所述次流出空气输送管230和所述次回流空气输送管330。可选地，所述支撑开口440可以是圆孔，椭圆形凹槽或可以接收和容纳所述次流出空气输送管230和所述次回流空气输送管330的任何形状的开口。如图6b所示，所述次管支撑器400’具有底板410’和两个侧壁420’，所述两个侧壁420’固定在所述底板410’，而所述底板410’是可伸缩的。在每个侧壁420’上设置至少两个凹槽440’以用于支撑所述次流出空气输送管230和所述次回流空气输送管330。所述次流出空气输送管230和所述次回流空气输送管330是柔性的，因此可以从一个凹槽移动到另一个凹槽，从而调节所述次流出空气输送管230和所述次回流空气输送管330的高度。

如图6c所示，所述次管支撑器400”具有底板410”和两个侧壁420”。所述底板410”是可伸缩的，且所述底板410”和所述两个侧壁420”具有线状结构，所述侧壁420”可以是线形成的至少两个凹槽440”。所述次流出空气输送管230和所述次回流空气输送管330可以插入到这些凹槽中，且从一个凹槽移动到另一个凹槽，从而支撑和调节其高度。

当然，在本发明的另一实施例中，可以采用简单的夹子(clipper)作为夹紧所述次流出空气输送管230和所述次回流空气输送管330的次管支撑器400。

在优选实施例中，还可以提供主管支撑器600用于支撑所述主流出空气输送管200和所述主回流空气输送管300。图5示出了主管支撑器600的优选实施例。如图5所示，所述主管支撑器600具有u形结构，所述u形结构具有用于支撑平行设置的所述主流出空气输送管200和所述主回流空气输送管300的至少两个凹槽610。可选地，可以设置多个凹槽610，这样平行设置的所述主流出空气输送管200和所述主回流空气输送管300可以彼此平行且间隔一定距离支撑。在本实施例中，所述主管支撑器600可以沿着所述主流出空气输送管200和所述主回流空气输送管300的长度方向滑动。

在图8所示的优选实施例中，可以设置空气控制器800以覆盖所述主流出空气输送管200上的至少一个所述流出开口220。优选地，可以提供另一空气控制器800以覆盖所述主回流空气输送管300上的至少一个所述回流开口320。此外，所述空气控制器800可以是安装(如包裹，附着，粘附等)在所述主流出空气输送管200和所述主回流空气输送管300上的圆柱形可旋转管。这样，根据本发明的静电电荷减少系统可以更好地控制湿气流量，从而获得更精细的静电电荷减轻目标。

可选地，所述主流出空气输送管200和所述主回流空气输送管300可以是柔性的，并且具有“回摆(swing-back)”动作，从而允许这些管在移动之后，能够回摆到其原始位置(未示出)。类似地，所述次流出空气输送管230和所述次回流空气输送管330也可以是柔性的，并且具有“回摆(swing-back)”动作，从而允许这些管在移动之后，能够回摆到其原始位置(未示出)。这对于在空间可用性非常有限的涉及高强度过程移动或过程位移的应用中是有用的。

这样，对于相同静电电荷减轻目标，使用平行设置的具有至少一个流出开口的单个流出管和具有至少一个回流开口的单个回流管能够令人惊讶地实现与多个微型空气离子发生器单元相同的效果。

图7是根据本申请的再一实施例的静电荷减少系统的示意图。如图7所示，数个微毛细管700附连到所述主流出空气输送管200，并将其导向特定的目标位置，并且不使用返回回路从而适应提供额外静电电荷减轻的特别的应用。在本发明的另一实施例中，可以有数个微毛细管700附连到所述主回流空气输送管300以适合特定应用。

现在图15所示的优选实施例中，一个所述主流出空气输送管200和一个所述主回流空气输送管300可附连双壁管结构900。在图16所示的另一优选实施例中，两个所述主流出空气输送管200和一个所述主回流空气输送管300附连双壁管结构900。在再一优选实施例中，两个所述次流出空气输送管和一个所述次回流空气输送管附连双壁管结构900。

如图15所示，所述双壁管结构900包括大直径管920和放置在所述大直径管920内的小直径管930以形成外部湿气流和内部湿气流。外部气流路径中的所述外部湿气流和内部气流路径中的内部湿气流在相反的方向上行进。所述主流出空气输送管200附连所述外部气流路径中的开口嘴部(openingmouth)，所述主回流空气输送管300附连所内部气流路径中的开口嘴部。这一独特的湿气流设计非常适合局部位置的静电电荷移除应用。

优选地，小直径管930是可滑动的以允许更精细地控制湿气流的量和强度，从而实现更多的特定静电电荷减轻目标。

在图16所示的优选实施例中，所述双壁管结构900进一步包括环形板910。所述环形板910附连在双壁管结构900的外部气流路径的开口嘴部。两个所述主流出空气输送管200附连到所述环形板910。所述环形板910使得湿空气向内行进较宽距离，以在其被吸入到外部湿气流中之前覆盖更宽的区域。所述主回流空气输送管300附连到通过放置在所述大直径管920的中央的小直径管930形成内部气流路径。

在本发明中，所述加湿器100可以是市面上任何已知的加湿器。然而，在本发明的优选实施例中，参照图9-13，提供了一种特殊的加湿器。

如图9所示，所述加湿器100包括中空圆柱腔室2，设置在所述中空圆柱腔室2的底部以用于生成连续湿气流的湿气生成器21，以及位于所述湿气生成器21和所述主流出空气输送管200之间的吸风机4，所述吸风机4将所述连续湿气流和进气流形成螺旋气流，所述螺旋气流朝着所述主流出空气输送管200螺旋上升，从而消除所述中空圆柱腔室2的出口区域的水滴聚集或者凝结。

所述加湿器100可以进一步包括馈入所述进气流的进口管22，所述进口管22可以是所述主回流空气输送管300也可以是其他进口管。这取决于实际需要。

我们发现，当如图9所示，所述连续湿气流和所述进气流的混合气流沿着所述中空圆柱腔室2的内壁以螺旋流动模式创建，然后从下部气流区域l向上部气流区域u螺旋向上流动，且接着朝着所述中空圆柱腔室2的上端的主流出空气输送管200流动时，在所述中空圆柱腔室2的出口气流区域以及所述中空圆柱腔室2的内壁上水滴的聚集或凝结将令人惊讶地消失。

如图9所示，所述吸风机4是离心风机，所述离心风机固定附连到圆盘3上，所述圆盘3上具有中央孔31，从而允许所述连续湿气流和所述进气流通过所述离心风机，从而将所述连续湿气流和所述进气流混合以形成所述螺旋气流。所述湿气生成器21生成的湿空气由围绕所述中空圆柱腔室2内部的中央区域位置的所述吸风机4吸取收并且通过所述吸风机4。

所述离心风机4可以是市面上任何类型的离心风机。优选地，所述离心风机可以自己单独设置在所述中空圆柱腔室2内部的中央区域位置，因此所述圆盘3是可以省略的。

在一实施例中，位于所述圆盘3上的离心风机4可以如图9所示平放放置。在另一实施例中，可以通过倾斜圆盘3将所述离心风机倾斜放置，所述圆盘3可以相对图13中以aa’标记示出的水平线成适合角度倾斜，从而在本发明的应用中提供更多的灵活设计。倾斜角度可以是从所述水平线向上倾斜0度-80度，或从所述水平线向下倾斜0度-80度。可选地，所述倾斜角度可以是从所述水平线向上倾斜5度-75度，或从所述水平线向下倾斜5度-75度。优选地，所述倾斜角度可以是从所述水平线向上倾斜25度-60度，或从所述水平线向下倾斜25度-60度。最优选地，所述倾斜角度可以是从所述水平线向上倾斜35度-50度，或从所述水平线向下倾斜35度-50度。

在本申请中，所述中空圆柱腔室2可以是任何圆柱形状。图9示出了所述中空圆柱腔室2的优选设置。如图9所示，所述中空圆柱腔室2包括垂直圆柱型下部腔室24和附连到所述垂直圆柱型下部腔室24的顶部的斜锥型上部腔室25。如图9所示，所述洗风扇4设置在所述垂直圆柱型下部腔室24的中央。如图9所示，在所述斜锥型上部腔室25以及所述主流出空气输送管200的弯管26上的内壁上的水滴的聚集或者凝结令人惊讶地消失。

将吸风机4放置在所述垂直圆柱型下部腔室24的位于底部的所述湿气生成器21和位于顶部的出口区域之间，将气体在缺口以意想不到的0度直接流出到内壁上，从而创建如图9所示的螺旋气流在技术上来讲是独特的且非显而易见的。

图10是根据本发明的又一实施例的加湿器的离心风机和圆盘的示意图。如图10所示，离心风机包括鼓状壳体。所述鼓状壳体在其中部位置43设置翅片41。所述鼓状壳体进一步包括出气口42。所述出气口42在平行于所述出气口42处的切线或相对所述切线倾斜较小角度的方向上释放所述连续湿气流和所述进气流的混合气体从而沿着所述中空圆柱腔室2的内壁的周长方向形成所述螺旋气流。如图10所示，所述圆盘3固定附连到所述中空圆柱腔室2的内壁，其中所述鼓状壳体的翅片41位于所述圆盘3的所述中央孔31的正上方。当然，本发明的离心风机和圆盘还可以以任何其他的方式设置，只要其能够产生螺旋气流即可。

如图11所示，图10中示出的离心风机4可以生成沿着所述中空圆柱腔室2的内壁的周长方向的螺旋气流。所述螺旋气流的流动角度随着其螺旋上升而增加，随着所述螺旋气流螺旋上升直至到达所述中空圆柱腔室2的最顶部，所述流动角度从最小至5度上升到最大至80度。

图13是生成所述螺旋气流的旋转效应的气流条件的示意图。如图13所示，当气流方向是从中心点a向任何方向吹出时，不会产生螺旋气流。进一步参照图13，在气流方向是从点b到点0和从点b到点0’吹出时，也不会产生螺旋气流。

然而，例如，气流基于以下条件产生螺旋：1)气流方向从点b到点1；2)气流方向从点b到点2；3)气流方向从点b到点3。

因此，与离心风机的切线平行或与离心风机的切线成较小角度产生螺旋气流，进而形成沿着所述中空圆柱腔室2的内壁的周长方向的螺旋气流。沿着所述中空圆柱腔室2的内壁的周长方向螺旋的螺旋气流的流动角度与水平轴成5度-80度，优选25度-60度，最优选从35度-50度。

图14是根据本发明的又一实施例的静电电荷减少系统的加湿器的示意图。如图14所示，所述加湿器，其包括中空圆柱腔室5，设置在所述中空圆柱腔室5的内部以用于生成连续湿气流的湿气生成器21，附连到所述中空圆柱腔室5以输入进气流的进口管22，附连到所述中空圆柱腔室5的出口管(未示出)，以及位于所述湿气生成器21和所述出口管之间的吸风机4，所述吸风机4将所述连续湿气流和所述进气流形成螺旋气流，所述螺旋气流朝着所述出口管螺旋上升，令人惊讶的是，所述螺旋气流可以消除所述中空圆柱腔室5的出口区域的水滴聚集或者凝结。所述进气流可以是返回的空气，也可以是环境空气，这取决于实际的需要。

如图14所示，所述中空圆柱腔室5包括垂直圆柱型下部腔室51和从所述垂直圆柱型下部腔室51分支延伸的出口流道52。所述出口管附连到所述出口流道52。在本实施例中，所述吸风机4放置在所述出口流道52中。如图15所示，在所述吹风机4之上的出口流道52中的水滴聚集和凝结令人惊讶地消失了。同样地，在附连到所述出口流道52的所述出口管中的水滴聚集和凝结令人惊讶地消失了。其工作原理已经在以上实施例中进行了描述，因此在此就不再累述了。

在本实施例中，所述离心风机4固定附连到圆盘3上，且垂直于所述出口流道52的轴线。在另一实施例中，所述离心风机4可以以其他定向设置。本发明的吸风机4可以参照上述实施例进行构造，在此就不再累述了。

在本发明的一个实施例中，所述出口流道52是可移除且可取代的，从而使得本发明的应用更加灵活多变。

虽然图14仅示出一个出口流道52，但是本领域技术人员知悉，一个以上的出口流道52可以从所述垂直圆柱型下部腔室51分支延伸出去，进而获得更具有吸引力的商业优势的多气流出口。

发明人不知道为什么仅仅通过在中空圆柱腔室内部设置吸风机形成螺旋气流就可以使得所述中空圆柱腔室的内壁和出口管的内壁的水滴聚集或者凝结令人惊讶地消失。这可能是由于设置吸风机或者调节吸风机的角度将使得螺旋气流产生离心效应，而该效应将使得较大较重的水滴向外螺旋旋转，并且与墙壁撞击，进而留在墙壁表面。这一过程将持续直到在所述螺旋气流朝着所述中空圆柱腔室的顶端的出气口逐渐螺旋向上，使得较大和较重水滴逐渐减少和消失。

本发明的气流设计并不仅仅允许加湿器设备获得无凝结湿气流，其还通过简单的设计在无需在气流系统中引入附加设备(例如加热器)从而导致需要改装整个加湿器设备的情况下解决的凝结问题，因此更利于维护，性能更加优越。

本发明的设计不但简化且最小化形成螺旋气流所需的产品部件，还可以通过有效优化螺旋过程缩短中空圆柱腔室的高度，从而降低了材料损耗且节省了设备空间，这对通常空间有限的小型生产设备是非常有利的。

本发明通过在中空圆柱腔室内部设置吸风机，可以在不使用加热器的情况下，以简单和非常规的方法有效地消除所述中空圆柱腔室的内壁和出口管的内壁的水滴聚集或者凝结。