散热装置及其制造方法与流程

文档序号:11181471
散热装置及其制造方法与流程
本发明涉及一种散热装置及其制造方法,尤指一种以纯钛金属所制成的散热装置及其制造方法。

背景技术:
现行电子设备随着计算速度越来越快,则令其内部电子元件容易产生高热,针对电子元件散热的问题该项业者通过至少一散热单元如热管、热板、均温板、散热器,并通过该些散热单元直接与该电子元件接触结合传导热量,更进一步可增加一风扇与该散热单元结合作为强制散热的效果。散热单元一般选用铝或铜或不锈钢等材质作为使用,其中铜与铝及不锈钢等材质虽具有散热及热传导快等特征,又尤其铜最常被使用作为热传装置的材料使用,铜虽具有热传导速度快的优点,但铜也有缺点,铜(Cu)经高温还原制程后,因晶粒成长而粗化造成降伏强度(YieldStrength)大幅下降,并且铜的质量重,其硬度也较软容易变形,变形后无法自行恢复原状。此外因现行智慧手持装置(诸如手机、平板、平板电脑或笔记型电脑)与穿戴型装置或需要薄型化的电子装置都需要更薄化的被动式散热装置来进行散热,致使业者必须要将铜质板体置换成铜箔以达薄化要求,然而铜箔虽符合薄化的要求,但其结构更软而缺乏足够结构支撑强度,故许多特殊的应用不太适用,且因铜箔过软不具有支撑力易受外力容易变形并破坏内部热传结构。另外,上述铝或铜或不锈钢等材质的散热单元在一些特殊环境或严苛气候(诸如腐蚀、高湿、高盐、极寒、高温、真空或太空中)中是无法使用。也此有该项业者通过以钛合金作为取代铜材料使用,钛合金具有高硬度、抗腐蚀、抗高温极寒及质量轻等特性,但钛合金的加工极不容易,除通过切削加工或部分非传统加工的方式外,非常难以对钛合金进行塑性变形,故钛合金仍然无法取代铜材料使用。

技术实现要素:
爰此,为解决上述现有技术的缺点,本发明的主要目的,是提供一种以商业纯钛取代铜作为散热装置材料并达到较佳散热效能的散热装置。本发明另一目的,是提供一种可实现对商业纯钛进行塑性加工且取代铜材质制成散热装置的制造方法。为达到上述目的,本发明提供一种散热装置,其特征在于,包含:一第一钛金属板体,具有一第一平面及一第二平面,所述第一平面具有复数凸部;一第二钛金属板体,具有一第三平面及一第四平面,所述第三平面设有一金属网目,所述第一、二钛金属板体对应盖合并共同界定一密闭腔室,该密闭腔室填充有一工作流体。所述的散热装置,其中,该复数凸部是通过冲压加工所形成。所述的散热装置,其中,该复数凸部表面具有一第一镀层,并该金属网目与该第三平面间具有一第二镀层,所述金属网目表面具有一第三镀层,所述第一、二、三镀层是亲水性镀层或疏水性镀层。所述的散热装置,其中,所述亲水性镀层是二氧化钛或二氧化硅。所述的散热装置,其中,该第二平面是冷凝侧,所述第四平面是吸热侧。本发明还提供一种散热装置的制造方法,其特征在于,包含下列步骤:S1:准备一第一钛金属板体及一第二钛金属板体,并进行前置清洗作业;S2:对前述第一、二钛金属板体进行热处理;S3:在前述第一钛金属板体进行冲压加工形成复数凸部;S4:在该第二钛金属板体一侧结合一金属网目;S5:将前述第一钛金属板体具有凸部的一侧与该第二钛金属板体具有金属网目的一侧对应盖合并进行封边、填水、抽气、封口作业。所述的散热装置的制造方法,其中,清洗作业是先以丙酮擦拭,然后再以超音波清洗机加入去离子水冲洗,最后用氮气干燥第一、二钛金属板体表面。所述的散热装置的制造方法,其中,所述第一、二钛金属板体进行热处理,是将该第一、二钛金属板体置入一气氛炉,并在该气氛炉中通入氩气并加热至400℃~700℃,时间为30~90分钟。所述的散热装置的制造方法,其中,在步骤S4与步骤S5之间还具有一步骤:对前述第一、二钛金属板体进行表面改质处理,在该第一、二钛金属板体及该金属网目表面形成至少一镀层。所述的散热装置的制造方法,其中,所述镀层为亲水性镀层或疏水性镀层。所述的散热装置的制造方法,其中,所述镀层是二氧化钛或二氧化硅。所述的散热装置的制造方法,其中,所述金属网目是通过扩散接合与前述第二钛金属板体结合。所述的散热装置的制造方法,其中,所述扩散接合的温度650℃~850℃,工作时间为30~90分钟。所述的散热装置的制造方法,其中,对前述第一、二钛金属板体进行表面改质处理,是将该第一、二钛金属板体置入一气氛炉,并在该气氛炉中抽真空并加热至400℃~700℃,时间为30~90分钟,令该第一、二钛金属板体表面产生过热还原。所述的散热装置的制造方法,其中,对前述第一、二钛金属板体进行表面改质处理,是通过溶胶凝胶镀膜(Sol-gelcoating)并将该第一、二钛金属板体置入一气氛炉,并在该气氛炉中抽真空并加热至400℃~700℃,时间为30~90分钟,令该第一、二钛金属板体表面产生一镀层。所述的散热装置的制造方法,其中,所述镀层是二氧化钛。所述的散热装置的制造方法,其中,对前述第一、二钛金属板体对应盖合并进行封边,封边是通过激光焊接进行,所述激光焊接的波长是1030nm,激光功率是100~500W,工作环境需通入保护气体,该保护气体为氦气或氩气,该氦气泄漏率应小于1.0x10-8mbar·L/sec,或选择在真空环境10-2torr中进行。通过本发明所揭示的散热装置及其制造方法可改善现有无法对纯钛进行塑性加工的缺失,以及提供一种极薄可挠曲并富有强度的散热装置结构。附图说明图1是本发明散热装置的第一实施例的立体分解图;图2是本发明散热装置的第一实施例的组合剖视图;图3是本发明散热装置的第二实施例的组合剖视图;图4是本发明散热装置的第三实施例的组合剖视图;图5是本发明散热装置的金属网目的电子显微镜图;图6是本发明散热装置的第一、二、三镀层的电子显微镜图;图7是本发明散热装置的第一、二、三镀层的电子显微镜图;图8是本发明散热装置的第一、二、三镀层的电子显微镜图;图9是本发明散热装置的制造方法第一实施例步骤...
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