电子部件安装装置及电子部件安装方法与流程

本发明涉及一种电子部件安装装置及电子部件安装方法。

背景技术：

在电子设备的制造工序中，使用将电子部件向基板安装的电子部件安装装置。在专利文献1中公开了一种通过多个吸嘴将多个电子部件同时吸附而向基板安装的电子部件安装装置。

专利文献1：日本特开2014－154791号公报

吸嘴与轴部件连接。例如由于轴部件的翘曲等，有可能使多个吸嘴无法等间隔地配置。在多个吸嘴没有等间隔地配置的情况下，有可能难以通过多个吸嘴将多个电子部件稳定地同时吸附。例如，多个吸嘴中的一部分的吸嘴有可能对与目标部位不同的电子部件的部位进行保持，或者无法对电子部件进行保持。

技术实现要素：

本发明的方式的目的在于，提供一种能够通过多个吸嘴稳定地同时保持多个电子部件的电子部件安装装置及电子部件安装方法。

按照本发明的第1方式，提供一种电子部件安装装置，其具有：多个轴部件，它们设置在与规定面的第1轴平行的第1轴方向；多个吸嘴，它们与多个所述轴部件分别连接，具有对电子部件进行保持的前端部；电子部件供给装置，其使在所述第1轴方向配置的多个所述电子部件，在平行于所述规定面的与所述第1轴正交的第2轴的第2轴方向移动，向多个所述吸嘴分别供给所述电子部件；以及安装头主体，其将多个所述轴部件分别能够以与所述规定面正交的旋转轴为中心旋转地进行支撑，多个所述吸嘴的前端部定位于，在所述轴部件的旋转中检测出的多个所述吸嘴的前端部的移动轨迹和第2基准线的交点，该第2基准线分别经过在与所述第1轴平行的第1基准线以相等间隔规定出的多个基准点并与所述第2轴平行，所述电子部件供给装置基于多个所述基准点和多个所述交点的各自在所述第2轴方向的位置误差，使所述电子部件在所述第2轴方向移动。

按照本发明的第2方式，提供一种电子部件安装方法，其包含下述步骤：使多个轴部件旋转，该轴设置在与规定面的第1轴平行的第1轴方向，能够以与所述规定面正交的旋转轴为中心旋转地支撑于安装头主体；在所述轴部件的旋转中，对与多个所述轴部件分别连接、保持电子部件的多个吸嘴的前端部的移动轨迹进行检测；将多个所述吸嘴的前端部定位于，所述吸嘴的前端部的所述移动轨迹和第2基准线的交点，该第2基准线分别经过在与所述第1轴平行的第1基准线以相等间隔规定出的多个基准点并与所述第2轴平行；以及基于多个所述基准点和多个所述交点的各自在所述第2轴方向的位置误差，使在所述第1轴方向配置的多个所述电子部件在所述第2轴方向移动，向多个所述吸嘴分别供给所述电子部件。

发明的效果

根据本发明的方式，提供一种能够通过多个吸嘴稳定地同时保持多个电子部件的电子部件安装装置及电子部件安装方法。

附图说明

图1是示意地表示第1实施方式所涉及的电子部件安装装置的一个例子的图。

图2是示意地表示第1实施方式所涉及的电子部件供给装置的带式供给器的一个例子的侧视图。

图3是将第1实施方式所涉及的带式供给器的一部分放大的侧剖视图。

图4是示意地表示第1实施方式所涉及的链轮及位置检测装置的一个例子的侧视图。

图5是示意地表示第1实施方式所涉及的载料带的一个例子的俯视图。

图6是示意地表示通过第1实施方式所涉及的链轮进行移动的载料带的一个例子的侧视图。

图7是示意地表示第1实施方式所涉及的安装头的一个例子的侧视图。

图8是示意地表示第1实施方式所涉及的安装头的一个例子的正视图。

图9是示意地表示第1实施方式所涉及的部件检测装置的一个例子的侧视图。

图10是示意地表示第1实施方式所涉及的部件检测装置的一个例子的俯视图。

图11是表示第1实施方式所涉及的电子部件安装装置的控制系统的一个例子的功能框图。

图12是表示第1实施方式所涉及的基准点的一个例子的示意图。

图13是表示第1实施方式所涉及的电子部件安装方法的一个例子的流程图。

图14是示意地表示伴随轴部件的旋转而进行旋转的吸嘴的状态的图。

图15是表示第1实施方式所涉及的状态检测装置的检测数据的一个例子的示意图。

图16是用于对第1实施方式所涉及的电子部件安装方法进行说明的示意图。

图17是用于对第1实施方式所涉及的电子部件安装方法进行说明的示意图。

图18是示意地表示第2实施方式所涉及的安装头的一个例子的斜视图。

图19是表示第2实施方式所涉及的电子部件安装方法的一个例子的流程图。

标号的说明

1…电子部件安装装置，2…基座部件，3…基板输送装置，3b…输送带，3g…引导部件，3h…保持部件，4…电子部件供给装置，5…安装头，5b…安装头，6…移动系统，7…更换吸嘴收容装置，8…拍摄装置，9…状态检测装置，10…控制装置，11…输入输出部，12…存储部，13…基准点设定部，14…位置误差数据计算部，15…校正数据计算部，16…控制部，40…带式供给器，41…供给器收容器，42…主框架，43…输送机构，44…剥离机构，45…位置检测装置，46…狭缝板，47…回收箱，50…保持单元，51…吸嘴，52…轴部件，53…安装头主体，54…前端部，55…保持架，61…x轴驱动装置，62…y轴驱动装置，63…z轴驱动装置，64…θz驱动装置，65…引导部，66…滑动部，67…轴承，91…照射装置，91s…射出部，92…受光装置，421…输送部，422…入口，423…出口，424…剥离部，425…盖板，426…开口部，431…驱动电动机，432…链轮，432b…圆板部，432p…链轮销，433…动力传递机构，441…驱动电动机，442…输送辊，443…动力传递机构，444…张紧辊，461…狭缝，531…铅垂部，532…上水平部，533…下水平部，611…引导部件，612…致动器，621…引导部件，622…致动器，631…旋转电动机，632…动力传递机构，632a…驱动带轮，632b…滚珠丝杠机构，632c…从动带轮，632d…传动带，641…旋转电动机，642…动力传递机构，642a…驱动带轮，642c…从动带轮，642d…传动带，681…轴承，682…轴承，683…轴承，ax…旋转轴，c…电子部件，g…位置误差，gx…位置误差，gy…位置误差，dm…安装位置，gx…位置误差，gy…位置误差，ma…检测区域，p…基板，rp…基准点，rx…第1基准线，ry…第2基准线，sm…供给位置，sx…旋转轴，tr…移动轨迹，w…距离。

具体实施方式

下面，参照附图，对本发明所涉及的实施方式进行说明，但本发明并不限定于此。下面进行说明的实施方式的结构要素能够适当组合。另外，有时不使用一部分的结构要素。

在下面的说明中，设定xyz正交坐标系，一边参照xyz正交坐标系一边对各部的位置关系进行说明。将与规定面的第1轴(x轴)平行的方向设为x轴方向，将平行于规定面的与第1轴正交的第2轴(y轴)的方向设为y轴方向，将平行于与规定面正交的第3轴(z轴)的方向设为z轴方向。另外，将以第1轴为中心的旋转或倾斜方向设为θx方向，将以第2轴为中心的旋转或倾斜方向设为θy方向，将以第3轴为中心的旋转或倾斜方向设为θz方向。xy平面为规定面。

第1实施方式.

[电子部件安装装置]

对第1实施方式进行说明。图1是示意地表示本实施方式所涉及的电子部件安装装置1的一个例子的图。电子部件安装装置1将电子部件c向基板p安装。在电子部件安装装置1中对基准位置fm进行规定。在本实施方式中，xyz正交坐标系是以在电子部件安装装置1中规定出的基准位置fm为基准的本地坐标系。

电子部件安装装置1具有：基座部件2；基板输送装置3，其对基板p进行输送；电子部件供给装置4，其包含对电子部件c进行供给的带式供给器40；安装头5，其具有将吸嘴51及轴部件52包含在内的保持单元50；移动系统6，其将保持单元50移动；更换吸嘴收容装置7，其收容进行更换的吸嘴51；拍摄装置8，其取得电子部件c的图像数据；以及状态检测装置9，其对保持单元50的吸嘴51的状态及保持于保持单元50的电子部件c的状态的至少一者进行检测。

基板输送装置3对安装电子部件c的基板p进行输送。基板输送装置3包含：对基板p进行输送的输送带3b、对基板p进行引导的引导部件3g、对基板p进行保持的保持部件3h。输送带3b通过致动器的工作而移动，将基板p在x轴方向输送。基板p由引导部件3g引导而在x轴方向移动。保持部件3h在基板输送装置3的输送路径中所规定的安装位置dm处对基板p进行保持。保持部件3h将基板p保持为，基板p的表面和xy平面平行。

电子部件供给装置4将电子部件c供给至安装头5的保持单元50。电子部件供给装置4包含：带式供给器40、将带式供给器40能够装卸地支撑的供给器收容器41。在本实施方式中，电子部件供给装置4分别配置于基板输送装置3的+y侧及－y侧。

带式供给器40是电驱动方式的电动带式供给器。带式供给器40在x轴方向配置多个。带式供给器40对多个电子部件c进行保持。带式供给器40将电子部件c在y轴方向移动，向保持单元50的吸嘴51供给电子部件c。在x轴方向配置有多个的带式供给器40同时地工作，由此在x轴方向配置的多个电子部件c在y轴方向同时地移动。

安装头5将从电子部件供给装置4供给的电子部件c向配置于安装位置dm的基板p安装。安装头5具有：多个保持单元50，它们在x轴方向配置；以及安装头主体53，其对多个保持单元50进行支撑。安装头主体53是对保持单元50进行支撑的支撑部件。保持单元50具有：吸嘴51，其将电子部件c能够装卸地保持；以及轴部件52，其对吸嘴51进行支撑。

保持单元50能够在从电子部件供给装置4供给电子部件c的供给位置sm和基板p所配置的安装位置dm之间移动。供给位置sm及安装位置dm在xy平面内规定于不同的位置。保持单元50在供给位置sm由吸嘴51对从电子部件供给装置4供给至供给位置sm的电子部件c进行保持，在移动至安装位置dm后，向基板p安装。

移动系统6使保持单元50在x轴方向、y轴方向、z轴方向及θz方向的4个方向移动。移动系统6以基准位置fm为基准，对保持单元50的吸嘴51的位置进行控制。

移动系统6具有：x轴驱动装置61，其将安装头主体53在x轴方向移动；y轴驱动装置62，其将安装头主体53在y轴方向移动；z轴驱动装置63，其将在安装头主体53设置的保持单元50在z轴方向移动；以及θz驱动装置64，其将在安装头主体53设置的保持单元50在θz方向移动。

x轴驱动装置61具有：引导部件611，其在x轴方向对安装头5进行引导；以及致动器612，其产生用于使安装头5在x轴方向移动的动力。安装头5与x轴驱动装置61连接。通过x轴驱动装置61使安装头5在x轴方向移动，由此保持单元50在x轴方向移动。

y轴驱动装置62具有：引导部件621，其在y轴方向对x轴驱动装置61进行引导；以及致动器622，其产生用于使引导部件621在y轴方向移动的动力。x轴驱动装置61的引导部件611能够在y轴方向移动地支撑于y轴驱动装置62的引导部件621。通过y轴驱动装置62使x轴驱动装置61的引导部件611在y轴方向移动，由此支撑于引导部件611的安装头5与引导部件611一起在y轴方向移动。安装头5在y轴方向移动，由此保持单元50在y轴方向移动。

z轴驱动装置63支撑于安装头主体53。z轴驱动装置63具有：致动器，其产生用于使保持单元50在z轴方向移动的动力；以及动力传递机构，其将由致动器产生的动力传递至保持单元50。通过z轴驱动装置63，保持单元50在z轴方向移动。

θz驱动装置64支撑于安装头主体53。θz驱动装置64具有：致动器，其产生用于使保持单元50在θz方向旋转的动力；以及动力传递机构，其将由致动器产生的动力传递至保持单元50。通过θz驱动装置64，保持单元50在θz方向旋转。

更换吸嘴收容装置7对多个种类的吸嘴51进行收容。在更换吸嘴收容装置7中，对装载于轴部件52的吸嘴51进行更换。

拍摄装置8取得吸嘴51的图像数据及保持于吸嘴51的电子部件c的图像数据的至少一者。拍摄装置8从－z侧(下侧)对吸嘴51或保持于吸嘴51的电子部件c进行拍摄。通过取得电子部件c的图像数据，从而对保持于吸嘴51的电子部件c的形状及通过吸嘴51实现的电子部件c的保持状态进行检测。

状态检测装置9将检测光向吸嘴51进行照射，对吸嘴51的状态进行检测。另外，状态检测装置9将检测光向保持于吸嘴51的电子部件c进行照射，对电子部件c的状态进行检测。状态检测装置9设置于安装头5。

[电子部件供给装置]

接下来，对电子部件供给装置4进行说明。图2是示意地表示本实施方式所涉及的电子部件供给装置4的带式供给器40的一个例子的侧视图。图3是将本实施方式所涉及的带式供给器40的一部分放大的侧剖视图。

如图2所示，带式供给器40具有：主框架42；输送机构43，其支撑于主框架42，对载料带t进行输送；以及剥离机构44，其支撑于主框架42，将外封带e从载料带t剥离。

多个电子部件c保持于载料带t。电子部件c在载料带t的长度方向以相等间隔设置多个。电子部件c在设置于载料带t的口袋r中配置。口袋r在载料带t的长度方向以相等间隔设置多个。在多个口袋r各自中配置电子部件c。在载料带t贴合外封带e。

主框架42具有：输送部421，载料带t在输送部421中移动；从带盘供给的载料带t的入口422；以及在输送部421中移动的载料带t的出口423。载料带t在输送部421中沿y轴方向移动。

主框架42具有将外封带e从载料带t剥离的剥离部424。剥离部424设置于与主框架42连接的盖板425。盖板425配置为从上方将输送部421的载料带t覆盖。在盖板425的剥离部424中，载料带t和外封带e被剥离。

如图3所示，外封带e在剥离部424中向上方折回，通过剥离机构44而向－y方向移动。载料带t通过输送机构43而向+y方向移动。外封带e通过剥离机构44进行移动，载料带t通过输送机构43进行移动，由此在剥离部424中将外封带e从载料带t剥离。

剥离了外封带e的载料带t向+y方向移动。盖板425具有与剥离部424相比在+y侧形成的开口部426。电子部件c在配置于载料带t的口袋r的状态下进行输送。开口部426比电子部件c的尺寸及口袋r的尺寸大。开口部426包含供给位置sm。在口袋r中配置的电子部件c配置于开口部426，由此吸嘴51能够经由开口部426对电子部件c进行保持。

带式供给器40将从带盘供给的载料带t以口袋r的间隔断续地步进移动，在剥离部424中将外封带e从载料带t剥离，将在剥离了外封带e的载料带t中保持的电子部件c移动至供给位置sm。

输送机构43具有：驱动电动机431，其支撑于主框架42；链轮432，其能够旋转地支撑于主框架42；以及动力传递机构433，其将由驱动电动机431产生的动力传递至链轮432。在本实施方式中，驱动电动机431是步进电动机。动力传递机构433包含多个齿轮。链轮432通过由驱动电动机431产生的动力进行旋转，将对电子部件c进行保持的载料带t向+y方向移动。

链轮432以与x轴平行的旋转轴sx为中心进行旋转。链轮432通过驱动电动机431的步进动作而断续地步进旋转。驱动电动机431以将在口袋r中配置的电子部件c依次配置于开口部426的方式进行步进动作。

带式供给器40具有对链轮432的旋转方向上的链轮432的位置进行检测的位置检测装置45。在本实施方式中，具有多个狭缝461的狭缝板46固定于链轮432。狭缝板46与链轮432一起旋转。位置检测装置45对固定于链轮432的狭缝板46的狭缝461进行检测，对旋转方向上的链轮432的绝对位置进行检测。

剥离机构44具有：驱动电动机441，其支撑于主框架42；一对输送辊442，它们能够旋转地支撑于主框架42；动力传递机构443，其将由驱动电动机441产生的动力传递至输送辊442；以及张紧辊444，其对外封带e赋予张力。

动力传递机构443包含多个齿轮。一对输送辊442配置为将外封带e夹着。输送辊442通过由驱动电动机441产生的动力而进行旋转，将外封带e向－y方向移动。

驱动电动机441是步进电动机。输送辊442通过驱动电动机441的步进动作而断续地步进旋转。驱动电动机441与驱动电动机431同步地进行步进动作。驱动电动机441进行步进动作，以使得通过驱动电动机431产生的载料带t的移动量和外封带e的移动量相同。由输送辊442输送的外封带e回收至在主框架42设置的回收箱47。

图4是示意地表示本实施方式所涉及的链轮432及位置检测装置45的一个例子的侧视图。如图4所示，链轮432具有：圆板部432b；以及链轮销432p，其设置于圆板部432b的外缘部。

链轮销432p在链轮432的旋转方向上隔开间隔而设置多个。链轮销432p分别配置于载料带t的链轮孔h。

狭缝板46固定于链轮432。狭缝板46是圆板状的部件。狭缝板46与链轮432一起旋转。链轮432的旋转轴sx和狭缝板46的中心一致。狭缝板46能够以旋转轴sx为中心进行旋转。

狭缝板46具有在旋转方向设置的多个狭缝461。具有不同的狭缝宽度的多个狭缝461设置于狭缝板46。狭缝宽度是指旋转方向上的狭缝461的尺寸。不同的狭缝宽度的狭缝461在旋转方向随机地设置。

位置检测装置45对链轮432的旋转方向上的链轮432的绝对位置进行检测。位置检测装置45包含光传感器，对固定于链轮432的狭缝板46的狭缝461光学地进行检测，对旋转方向上的链轮432的绝对位置进行检测。位置检测装置45具有：射出部，其将检测光射出而将检测光向狭缝板46进行照射；以及受光部，其隔着狭缝板46对从射出部射出的检测光的至少一部分进行受光。

链轮432及狭缝板46进行旋转，由此位置检测装置45对多个狭缝461依次进行检测。位置检测装置45一个一个地对狭缝461进行检测。位置检测装置45通过多个狭缝461的狭缝宽度的组合，对狭缝板46的旋转方向上的狭缝板46的绝对位置进行检测。通过对狭缝板46的旋转方向上的狭缝板46的绝对位置进行检测，从而对链轮432的旋转方向上的链轮432的绝对位置进行检测。

图5是示意地表示本实施方式所涉及的载料带t的一个例子的俯视图。图6是示意地表示本实施方式所涉及的链轮432进行移动的载料带t的一个例子的侧视图。

如图5所示，载料带t在y轴方向移动。多个链轮孔h形成于载料带t。多个链轮孔h在载料带t中沿y轴方向隔开间隔而设置。另外，多个电子部件c在载料带t中沿y轴方向隔开间隔而设置。

如图6所示，设置于链轮432的多个链轮销432p中的至少一部分链轮销432p配置于载料带t的链轮孔h。在链轮销432p配置于链轮孔h的状态下，链轮432以旋转轴ax为中心进行旋转，由此载料带t在y轴方向移动。

位置检测装置45对旋转方向上的链轮432的位置进行检测。旋转方向上的链轮432的位置和保持于载料带t的y轴方向上的电子部件c的位置是1对1地对应的。基于位置检测装置45的检测数据，对y轴方向上的电子部件c的位置进行计算。另外，位置检测装置45能够对链轮432的旋转量进行检测。链轮432的旋转量和保持于载料带t的y轴方向上的电子部件c的移动量是1对1地对应的。基于位置检测装置45的检测数据，对y轴方向上的电子部件c的移动量进行计算。

在供给器收容器41中，带式供给器40在x轴方向配置多个。在供给器收容器41中，电子部件c在x轴方向配置多个。带式供给器40将电子部件c在y轴方向移动，向保持单元50的吸嘴51供给电子部件c。电子部件供给装置4将在x轴方向配置的多个电子部件c在y轴方向移动，向在x轴方向配置有多个的保持单元50的吸嘴51分别供给电子部件c。

[安装头]

接下来，对安装头5进行说明。图7是示意地表示本实施方式所涉及的安装头5的一个例子的侧视图。图8是示意地表示本实施方式所涉及的安装头5的一个例子的正视图。

如图7及图8所示，安装头5具有：多个保持单元50，它们在x轴方向设置；以及安装头主体53，其对多个保持单元50进行支撑。多个保持单元50在x轴方向配置为一列。

保持单元50具有：轴部件52；以及吸嘴51，其与轴部件52连接，具有对电子部件c进行保持的前端部54。

轴部件52在x轴方向设置多个。轴部件52沿z轴方向延长。轴部件52能够以与z轴平行的轴部件52的旋转轴ax为中心进行旋转。多个轴部件52的构造及尺寸分别相等。多个轴部件52的重量也分别相等。

吸嘴51与轴部件52的下端部连接。吸嘴51分别与多个轴部件52连接。吸嘴51在x轴方向设置多个。

在本实施方式中，保持单元50在x轴方向设置8个。即，在本实施方式中，轴部件52在x轴方向设置8根，吸嘴51在x轴方向设置8个。

吸嘴51将电子部件c能够装卸地保持。吸嘴51是对电子部件c进行吸附保持的吸引吸嘴。在吸嘴51的前端部54设置开口。吸嘴51的开口与真空系统连接。在吸嘴51的前端部54和电子部件c接触的状态下，实施来自在吸嘴51的前端部54设置的开口的吸引动作，由此在吸嘴51的前端部54对电子部件c进行吸附保持。通过将来自前端部54的开口的吸引动作解除，从而从吸嘴51将电子部件c放开。

安装头5具有对保持单元50进行支撑的安装头主体53。安装头主体53以多个保持单元50的吸嘴51的前端部54在x轴方向以相等间隔配置的方式对这些多个保持单元50进行支撑。

多个轴部件52分别能够以与xy平面正交的轴部件52的旋转轴ax为中心进行旋转地支撑于安装头主体53。

安装头主体53具有：铅垂部531，其在z轴方向延伸；上水平部532，其从铅垂部531的上端部向+y方向延伸；以及下水平部533，其从铅垂部531的下端部向－y方向伸出。

安装头主体53经由保持架55，对保持单元50进行保持。保持架55对轴部件52进行保持。

铅垂部531具有在z轴方向延伸的引导部65。保持架55具有能够在引导部65中移动的滑动部66。保持架55能够通过引导部65一边在z轴方向被引导一边进行移动。

安装头5具有：z轴驱动装置63，其将保持单元50在z轴方向移动；以及θz驱动装置64，其将保持单元50在θz方向移动。

z轴驱动装置63支撑于安装头主体53，将保持架55在z轴方向移动。z轴驱动装置63具有：旋转电动机631，其是用于产生使轴部件52在z轴方向移动的动力的致动器；以及动力传递机构632，其将由旋转电动机631产生的动力传递至轴部件52。如果旋转电动机631工作，则由旋转电动机631产生的动力经由动力传递机构632而传递至保持架55。保持架55通过由旋转电动机631产生的动力，在z轴方向移动。如果保持架55在z轴方向移动，则保持于该保持架55的轴部件52及支撑于该轴部件52的吸嘴51与保持架55一起在z轴方向移动。

θz驱动装置64支撑于安装头主体53，将轴部件52在θz方向旋转。θz驱动装置64具有：旋转电动机641，其是产生用于使轴部件52在θz方向旋转的动力的致动器；以及动力传递机构642，其将由旋转电动机641产生的动力传递至轴部件52。如果旋转电动机641工作，则由旋转电动机641产生的动力经由动力传递机构642而传递至轴部件52。轴部件52通过由旋转电动机641产生的动力，在θz方向移动。如果轴部件52在θz方向移动，则支撑于该轴部件52的吸嘴51与轴部件52一起在θz方向移动。

关于多个保持单元50，分别设置z轴驱动装置63及θz驱动装置64。即，安装头主体53具有：多个旋转电动机631，它们是产生使多个轴部件52分别在z轴方向移动的动力的致动器；以及多个旋转电动机641，它们是产生使多个轴部件52分别在θz方向旋转的动力的致动器。在本实施方式中，安装头5具有：8个旋转电动机631，它们产生使8根轴部件52分别在z轴方向移动的动力；以及8个旋转电动机641，它们产生使8根轴部件52分别在θz方向旋转的动力。多个保持单元50通过z轴驱动装置63及θz驱动装置64的工作，相对于安装头主体53，能够在z轴方向及θz方向的2个方向分别进行移动。

如图7所示，z轴驱动装置63的旋转电动机631支撑于上水平部532。θz驱动装置64的旋转电动机641支撑于下水平部533。

动力传递机构632具有：驱动带轮632a，其与旋转电动机631的输出轴连接；滚珠丝杠机构632b，其将保持架55和上水平部532连结；从动带轮632c，其与滚珠丝杠机构632b的丝杆轴连接；以及传动带632d，其将驱动带轮632a和从动带轮632c连结。滚珠丝杠机构632b的丝杆轴能够旋转地支撑于在上水平部532设置的轴承67。滚珠丝杠机构632b的螺母固定于保持架55。传动带632d是无端传动带。

在xy平面内，旋转电动机631的输出轴的中心轴的位置和驱动带轮632a的中心轴的位置一致。在xy平面内，滚珠丝杠机构632b的丝杆轴的中心轴的位置和从动带轮632c的中心轴的位置一致。

如果旋转电动机631工作，则与旋转电动机631的输出轴连接的驱动带轮632a旋转。如果驱动带轮632a旋转，则支撑于驱动带轮632a的传动带632d移动，从动带轮632c旋转。如果从动带轮632c旋转，则滚珠丝杠机构632b的丝杆轴旋转。滚珠丝杠机构632b的丝杆轴旋转，由此固定于滚珠丝杠机构632b的螺母的保持架55一边被引导部65引导一边在z轴方向移动。如果保持架55在z轴方向移动，则保持于该保持架55的轴部件52及支撑于该轴部件52的吸嘴51与保持架55一起在z轴方向移动。

动力传递机构642具有：驱动带轮642a，其与旋转电动机641的输出轴连接；从动带轮642c，其与轴部件52连接；以及传动带642d，其将驱动带轮642a和从动带轮642c连结。轴部件52能够旋转地支撑于在保持架55设置的轴承681、在安装头主体53设置的轴承682、及在安装头主体53设置的轴承683。传动带642d是无端传动带。

在xy平面内，旋转电动机641的输出轴的中心轴的位置和驱动带轮642a的中心轴的位置一致。在xy平面内，轴部件52的中心轴的位置和从动带轮642c的中心轴的位置一致。

如果旋转电动机641工作，则与旋转电动机641的输出轴连接的驱动带轮642a旋转。如果驱动带轮642a旋转，则支撑于驱动带轮642a的传动带642d移动，从动带轮642c旋转。如果从动带轮642c旋转，则固定于从动带轮642c的轴部件52与从动带轮642c一起在θz方向旋转。

[状态检测装置]

接下来，对状态检测装置9进行说明。如图7所示，安装头5具有对吸嘴51的状态及保持于吸嘴51的电子部件c的状态的至少一者进行检测的状态检测装置9。状态检测装置9将检测光向吸嘴51进行照射，对吸嘴51的状态进行检测。状态检测装置9将检测光向保持于吸嘴51的电子部件c进行照射，对保持于吸嘴51的电子部件c的状态进行检测。

吸嘴51的状态包含吸嘴51的形状及吸嘴51的位置的至少一个。吸嘴51的位置包含x轴方向、y轴方向及θz方向上的吸嘴51的位置。

电子部件c的状态包含电子部件c的形状及保持于吸嘴51的电子部件c的位置的至少一者。电子部件c的位置包含x轴方向、y轴方向及θz方向上的电子部件c的位置。

状态检测装置9具有：照射装置91，其能够将作为检测光的激光向吸嘴51及电子部件c的至少一者进行照射；以及受光装置92，其能够对从照射装置91射出的激光的至少一部分进行受光。照射装置91包含能够将激光射出的发光元件。受光装置92包含能够对激光进行受光的受光元件。受光装置92配置于与照射装置91相对的位置。z轴方向上的照射装置91的位置和受光装置92的位置相等。状态检测装置9将激光向吸嘴51进行照射，对吸嘴51的状态进行检测。另外，状态检测装置9将激光向保持于吸嘴51的电子部件c进行照射，对电子部件c的状态进行检测。

状态检测装置9的照射装置91配置于保持单元50的－y方向。状态检测装置9的受光装置92配置于保持单元50的+y方向。状态检测装置9支撑于安装头主体53。通过x轴驱动装置61及y轴驱动装置62使安装头主体53在x轴方向及y轴方向移动，由此支撑于该安装头主体53的状态检测装置9与安装头主体53一起移动。

图9是示意地表示本实施方式所涉及的状态检测装置9的一个例子的侧视图。图10是示意地表示本实施方式所涉及的状态检测装置9的一个例子的俯视图。在使用图9及图10的说明中，关于状态检测装置9对保持于吸嘴51的电子部件c的状态进行检测的例子进行说明。

如图9及图10所示，状态检测装置9具有：照射装置91，其能够将激光向保持于吸嘴51的电子部件c进行照射；以及受光装置92，其能够对激光进行受光。状态检测装置9对xy平面内的电子部件c的形状及xy平面内的电子部件c的位置进行检测。

状态检测装置9在照射装置91和受光装置92之间配置有电子部件c的至少一部分的状态下，从照射装置91将激光射出，由受光装置92对到达至受光装置92的激光进行检测。照射装置91具有在x轴方向配置的多个射出部91s。从照射装置91将沿x轴方向配置的多个激光射出。照射装置91的射出部91s在y轴方向将激光射出。从照射装置91射出的激光在y轴方向行进。

状态检测装置9对在检测区域ma配置的电子部件c的至少一部分的形状及位置进行检测。检测区域ma包含从照射装置91射出的激光的照射区域。在本实施方式中，检测区域ma沿x轴方向延长，与x轴大致平行。

保持单元50的吸嘴51对朝向+z方向的电子部件c的上表面进行保持。通过移动系统6对保持电子部件c的保持单元50的位置进行调整，以使得电子部件c配置于状态检测装置9的检测区域ma。

如图10所示，在照射装置91和受光装置92之间配置电子部件c，从照射装置91射出的激光的至少一部分被电子部件c遮挡。由于激光的至少一部分被电子部件c遮挡，因此射入至受光装置92的激光的强度分布变化。状态检测装置9基于由受光装置92受光到的激光的强度分布，能够对在检测区域ma配置的电子部件c的外形进行检测。

如图10所示，通过θz驱动装置64的工作，对电子部件c进行保持的吸嘴51一边在θz方向旋转，从状态检测装置9的照射装置91射出的激光一边对电子部件c进行照射。由于电子部件c旋转，因此电子部件c中的激光的照射部位及电子部件c相对于受光装置92的相对角度变化。

在θz方向旋转的电子部件c被激光照射，由此对相对于受光装置92的多个相对角度的各个角度下的电子部件c的外形进行检测。状态检测装置9将激光向旋转的电子部件c进行照射，对在检测区域ma配置的电子部件c的外形进行检测。电子部件c在θz方向至少旋转360[°]。状态检测装置9针对θz方向的多个位置，分别对在检测区域ma配置的电子部件c的外形进行检测。通过对在θz方向的多个位置的各个位置检测出的电子部件c的外形数据进行合成，从而对在检测区域ma配置的电子部件c的形状及位置进行计算。

例如，在电子部件c配置于检测区域ma的状态下，电子部件c旋转，对相对于受光装置92的多个相对角度的各个角度下的电子部件c的外形数据进行合成，由此对xy平面内的电子部件c的形状及xy平面内的电子部件c的位置进行计算。

另外，在吸嘴51配置于检测区域ma的状态下，吸嘴51旋转，对相对于受光装置92的多个相对角度的各个角度下的吸嘴51的外形数据进行合成，由此对xy平面内的吸嘴51的形状及xy平面内的吸嘴51的位置进行计算。

在本实施方式中，对表示xy平面内的吸嘴51的前端部54的理想位置的基准点rp进行规定。状态检测装置9能够对xy平面内的吸嘴51的前端部54的位置进行检测。基于基准点rp和由状态检测装置9检测出的吸嘴51的前端部54的位置，对xy平面内的基准点rp和吸嘴51的前端部54的位置误差进行计算。

[控制系统]

接下来，对本实施方式所涉及的电子部件安装装置1的控制系统进行说明。图11是表示本实施方式所涉及的电子部件安装装置1的控制系统的一个例子的功能框图。如图11所示，电子部件安装装置1具有控制装置10。控制装置10对电子部件安装装置1的结构要素进行控制。

控制装置10包含计算机系统。控制装置10具有：运算处理装置，其包含诸如cpu(centralprocessingunit)这样的处理器；以及存储装置，其包含诸如rom(readonlymemory)或ram(randomaccessmemory)这样的存储器及储存器。运算处理装置按照在存储装置中存储的计算机程序而实施运算处理。

如图11所示，控制装置10具有：输入输出部11；存储部12；基准点设定部13，其对表示xy平面内的吸嘴51的前端部54的理想位置的基准点rp进行设定；位置误差数据计算部14，其对xy平面内的基准点rp和吸嘴51的前端部54的位置误差进行计算；校正数据计算部15，其基于由位置误差数据计算部14计算出的位置误差，计算针对通过电子部件供给装置4产生的电子部件c的y轴方向的移动量的校正数据；以及控制部16，其基于由位置误差数据计算部14计算出的基准点rp和吸嘴51的前端部54的y轴方向的位置误差，将使电子部件c在y轴方向移动的控制信号输出至电子部件供给装置4。

输入输出部11从拍摄装置8取得图像数据。输入输出部11从状态检测装置9取得xy平面内的吸嘴51的前端部54的位置数据。输入输出部11从电子部件供给装置4的位置检测装置45取得旋转方向上的链轮432的位置数据及旋转量数据。输入输出部11向移动系统6输出控制信号。输入输出部11向电子部件供给装置4的驱动电动机431输出控制信号。

基准点设定部13对表示xy平面内的吸嘴51的前端部54的理想位置的基准点rp进行设定。在本实施方式中，基准点设定部13针对移动至供给位置sm的安装头5而对基准点rp进行设定。xy平面内的安装头主体53的位置数据由诸如编码器这样的安装头位置检测装置进行检测。移动至供给位置sm的安装头主体53的xy平面内的位置由安装头位置检测装置进行检测。基准点设定部13将移动至供给位置sm的安装头主体53的位置作为基准，对基准点rp进行设定。

图12是表示本实施方式所涉及的基准点rp的一个例子的示意图。如图12所示，基准点rp在与x轴平行的第1基准线rx以相等间隔规定多个。在x轴方向上相邻的基准点rp的距离w是恒定的。

基准点设定部13针对多个吸嘴51的前端部54分别对基准点rp进行设定。即，在本实施方式中，基准点rp沿第1基准线rx以相等间隔设定8个。此外，在图12中，为了提高识别性，对关于8个吸嘴51的前端部54的基准点rp中的、与4个吸嘴51的前端部54有关的基准点rp进行了图示。

位置误差数据计算部14基于由基准点设定部13设定出的xy平面内的基准点rp的位置数据、和由状态检测装置9检测出的xy平面内的吸嘴51的前端部54的位置数据，对xy平面内的基准点rp和吸嘴51的前端部54的位置误差g进行计算。基准点rp和吸嘴51的前端部54的位置误差g是xy平面内的基准点rp和由状态检测装置9检测出的吸嘴51的前端部54的距离。状态检测装置9固定于安装头主体53。状态检测装置9将安装头主体53的位置作为基准，对xy平面内的吸嘴51的前端部54的位置进行检测。位置误差数据计算部14将移动至供给位置sm的安装头主体53的位置作为基准，对基准点rp和吸嘴51的前端部54的位置误差g进行计算。

基准点rp和吸嘴51的前端部54的位置误差g包含x轴方向上的位置误差gx及y轴方向上的位置误差gy。位置误差数据计算部14分别计算针对多个基准点rp及多个吸嘴51的前端部54的位置误差g。

校正数据计算部15基于由位置误差数据计算部14计算出的位置误差g，计算针对通过电子部件供给装置4产生的电子部件c的y轴方向的移动量的校正数据。校正数据计算部15对与由带式供给器40将电子部件c在y轴方向移动而向配置于供给位置sm的吸嘴51供给时的y轴方向的移动量有关的校正数据进行计算。校正数据计算部15对与通过向配置于供给位置sm的多个吸嘴51分别进行供给的多个带式供给器40分别产生的电子部件c的y轴方向的移动量有关的校正数据进行计算。

控制部16基于多个基准点rp和多个吸嘴51的前端部54的各自在y轴方向的位置误差gy，将使电子部件c在y轴方向移动的控制信号输出至电子部件供给装置4。在本实施方式中，控制部16基于由校正数据计算部15计算出的校正数据，分别向电子部件供给装置4的多个带式供给器40的驱动电动机431输出控制信号。

[电子部件安装方法]

接下来，对本实施方式所涉及的电子部件安装方法的一个例子进行说明。图13是表示本实施方式所涉及的电子部件安装方法的一个例子的流程图。

控制装置10对z轴驱动装置63及θz驱动装置64进行控制，将多个吸嘴51的前端部54配置于状态检测装置9的检测区域ma。控制装置10在多个吸嘴51的前端部54配置于状态检测装置9的检测区域ma的状态下，使包含旋转电动机641的θz驱动装置64工作，使以旋转轴ax为中心能够旋转地支撑于安装头主体53的多个轴部件52旋转(步骤sa10)。

在吸嘴51的前端部54配置于状态检测装置9的检测区域ma，轴部件52在θz方向旋转的状态下，状态检测装置9对xy平面内的吸嘴51的前端部54的移动轨迹进行检测。状态检测装置9对多个吸嘴51的前端部54各自的移动轨迹进行检测(步骤sa20)。

图14是示意地表示伴随轴部件52的旋转而进行旋转的吸嘴51的状态的图。在轴部件52具有理想的直线性、以旋转轴ax为中心准确地旋转、吸嘴51的前端部54存在于旋转轴ax上的情况下，在轴部件52的旋转中，xy平面内的吸嘴51的前端部54的位置不变动，与基准点rp持续吻合。换言之，在轴部件52的旋转中，吸嘴51的前端部54不从中心轴ax偏心而进行旋转。

例如，由于轴部件52的翘曲、吸嘴51相对于轴部件52的连接误差、轴部件52相对于安装头主体53的支撑误差、轴部件52的制造误差及吸嘴51的制造误差的至少一个，如图14所示，在轴部件52的旋转中，xy平面内的吸嘴51的前端部54的位置有可能变动，或者有可能从基准点rp分离。换言之，在轴部件52的旋转中，吸嘴51的前端部54有可能从中心轴ax偏心而进行旋转。

图15是表示本实施方式所涉及的状态检测装置9的检测数据的一个例子的示意图。状态检测装置9在轴部件52的旋转中，对xy平面内的多个吸嘴51的前端部54各自的移动轨迹tr进行检测。如图15所示，吸嘴51的前端部54描绘出圆形的移动轨迹tr。此外，在图12中，为了提高识别性，对8个吸嘴51的前端部54的移动轨迹tr中的、4个吸嘴51的前端部54的移动轨迹tr进行了图示。

在本实施方式中，保持单元50能够旋转地支撑于安装头主体53，以使得在轴部件52的旋转中，吸嘴51的前端部54的移动轨迹tr的至少一部分的x轴方向的位置与基准点rp的x轴方向的位置一致。即，在本实施方式中，在轴部件52的旋转中，虽然xy平面内的吸嘴51的前端部54的位置变动，但以吸嘴51的前端部54在穿过基准点rp并与y轴平行的第2基准线ry中经过的方式，进行了轴部件52相对于安装头主体53的安装调整、及吸嘴51相对于轴部件52的安装调整。换言之，在轴部件52的旋转中，进行了安装头5的调整，以使得移动轨迹tr的至少一部分的x坐标和基准点rp的x坐标一致。

位置误差数据计算部14对安装头主体53配置于供给位置sm时的、xy平面中的基准点rp和吸嘴51的前端部54的位置误差g进行计算。

在本实施方式中，位置误差数据计算部14基于状态检测装置9的检测数据，对xy平面内的吸嘴51的前端部54的移动轨迹tr的位置数据进行计算。

位置误差数据计算部14决定以旋转轴ax为中心的旋转方向的多个轴部件52的位置，以使得在吸嘴51的前端部54的移动轨迹tr中，与x轴平行并以相等间隔规定出的多个基准点rp和多个吸嘴51的前端部54各自的x轴方向的位置误差gx小于或等于预先规定出的阈值。

在本实施方式中，阈值充分小。在本实施方式中，位置误差数据计算部14决定基准点rp和吸嘴51的前端部54的x轴方向的位置误差gx成为零的θz方向的轴部件52的位置(步骤sa30)。

即，位置误差数据计算部14根据吸嘴51的前端部54的移动轨迹tr的位置数据，决定前端部54的x坐标与基准点rp的x坐标一致时的θz方向的轴部件52的位置。

位置误差数据计算部14针对多个保持单元50的各个保持单元，决定θz方向的轴部件52的位置，以使得基准点rp和吸嘴51的前端部54的x轴方向的位置误差gx成为零。

在本实施方式中，位置误差数据计算部14对在轴部件52的旋转中由状态检测装置9检测出的多个吸嘴51的前端部54的移动轨迹tr和第2基准线ry的交点进行计算，以多个吸嘴51的前端部54定位于该交点的方式决定θz方向的轴部件52的位置。位置误差gx成为零的θz方向的轴部件52的位置，是吸嘴51的前端部54定位于移动轨迹tr和第2基准线ry的交点的θz方向的轴部件52的位置。

位置误差gx成为零的θz方向的轴部件52的位置和位置误差gx成为零的θz驱动装置64的旋转电动机641的驱动量是1对1地对应的。位置误差数据计算部14决定基准点rp和吸嘴51的前端部54的x轴方向的位置误差gx成为零的θz驱动装置64的旋转电动机641的驱动量。位置误差gx成为零的θz驱动装置64的旋转电动机641的驱动量数据存储于存储部12。在存储部12中，关于在多个保持单元50中分别设置的多个θz驱动装置64，分别对位置误差gx成为零的旋转电动机641的驱动量数据进行存储。

控制部16向多个θz驱动装置64的旋转电动机641输出控制信号，以使得x轴方向的位置误差gx小于或等于所述阈值。在本实施方式中，控制部16基于在存储部12中存储的驱动量数据，向θz驱动装置64的旋转电动机641输出控制信号，以使得基准点rp和吸嘴51的前端部54的x轴方向的位置误差gx成为零，即，吸嘴51的前端部54定位于移动轨迹tr和第2基准线ry的交点。

图16是用于对本实施方式所涉及的电子部件安装方法进行说明的示意图。图16是示意地表示以x轴方向的位置误差gx成为零的方式对θz方向的轴部件52的位置进行调整后的基准点rp和吸嘴51的前端部54的相对位置的图。此外，在图16中，为了提高识别性，对8个吸嘴51的前端部54中的、4个吸嘴51的前端部54进行了图示。

如图16所示，控制部16能够基于从状态检测装置9的检测数据取得的吸嘴51的前端部54的移动轨迹tr而对旋转电动机641进行控制，将吸嘴51的前端部54和基准点rp的x轴方向的位置误差gx设为零，将吸嘴51的前端部54定位于移动轨迹tr和第2基准线ry的交点。

在本实施方式中，吸嘴51的前端部54和基准点rp的x轴方向的位置误差gx成为零的θz方向的轴部件52的位置规定为轴部件52的旋转方向上的轴部件52的基准位置。另外，由吸嘴51的前端部54和基准点rp的x轴方向的位置误差gx成为零的旋转电动机641的驱动量规定的旋转电动机641的转子的位置规定为旋转电动机641的转子的基准位置。

轴部件52的旋转方向上的轴部件52的基准位置是所谓零度位置。在本实施方式中，位置误差gx成为零的旋转电动机641的转子的位置规定为转子的原点。

如上所述，在本实施方式中，多个轴部件52以与x轴平行地以相等间隔规定出的多个基准点rp和多个吸嘴51的前端部54各自的x轴方向的位置误差gx成为零的方式支撑于安装头主体53。多个吸嘴51的前端部54定位于，在轴部件52的旋转中检测出的多个吸嘴51的前端部54的移动轨迹tr和分别经过多个基准点rp的第2基准线ry的交点。控制部16向旋转电动机641输出控制信号，以使得吸嘴51的前端部54定位于移动轨迹tr和第2基准线ry的交点。安装头主体53以在轴部件52的旋转时的吸嘴51的前端部54的移动轨迹tr中x轴方向的位置误差gx成为零的方式对多个轴部件52进行支撑。

位置误差数据计算部14对在供给位置sm配置的安装头5中位置误差gx为零时的、即吸嘴51的前端部54定位于移动轨迹tr和第2基准线ry的交点时的、基准点rp和吸嘴51的前端部54各自的y轴方向的位置误差gy进行计算。位置误差数据计算部14基于移动轨迹tr，对位置误差gx为零时的多个基准点rp和多个吸嘴51的前端部54各自的位置误差gy进行计算。

校正数据计算部15基于针对在供给位置sm配置的安装头5计算出的、基准点rp和吸嘴51的前端部54的x轴方向的位置误差gx为零时的、基准点rp和吸嘴51的前端部54的y轴方向的位置误差gy，计算针对通过电子部件供给装置4产生的电子部件c的y轴方向的移动量的校正数据。校正数据计算部15基于多个基准点rp和多个吸嘴51的前端部54各自的y轴方向的位置误差gy，计算针对y轴方向的电子部件c的移动量的校正数据(步骤sa40)。

如上所述，电子部件供给装置4的带式供给器40使驱动电动机431断续地步进旋转，使载料带t以口袋r的间隔在y轴方向断续地步进移动，由此使多个电子部件c依次移动至供给位置sm。电子部件供给装置4在初始模式中，带式供给器40以在供给位置sm配置的电子部件c的上表面的中心的位置和在供给位置sm配置的保持单元50的基准点rp的位置在xy平面内一致的方式将电子部件c移动。

校正数据计算部15基于位置误差gx为零时的位置误差gy对校正数据进行计算，以使得与调整至零度位置的轴部件52连接的吸嘴51的前端部54和电子部件c的上表面的中心的y轴方向的位置一致。

控制部16基于多个基准点rp和多个吸嘴51的前端部54各自的y轴方向的位置误差gy，将使电子部件c在y轴方向移动的控制信号输出至电子部件供给装置4。即，控制部16基于移动轨迹tr和第2基准线ry的多个交点与多个基准点rp的各自在y轴方向的位置误差gy，将使电子部件c在y轴方向移动的控制信号输出至电子部件供给装置4。控制部16基于在步骤sa40中计算出的校正数据，向多个带式供给器40的驱动电动机431分别输出控制信号。

图17是用于对本实施方式所涉及的电子部件安装方法进行说明的示意图。图17是示意地表示在电子部件供给装置4的初始模式中供给至供给位置sm的电子部件c及在电子部件供给装置4的校正模式中供给至供给位置sm的电子部件c的图。此外，在图17中，示出供给至8个吸嘴51中的4个吸嘴51的电子部件c。

电子部件供给装置4的校正模式是带式供给器40的驱动电动机431基于校正数据进行工作的模式。

在电子部件供给装置4的初始模式中，控制部16向驱动电动机431输出控制信号，以使得供给位置sm处的基准点rp和电子部件c的上表面的中心的y轴方向的位置一致。由此，如图17的虚线所示，在供给位置sm，电子部件c的上表面的中心配置于基准点rp。

校正数据计算部15对校正数据进行计算，以使得位置误差gx为零，存在位置误差gy的吸嘴51的前端部54、和电子部件c的上表面的中心的y轴方向的位置一致。

在电子部件供给装置4的校正模式中，控制部16基于校正数据而向驱动电动机431输出控制信号，以使得在存在位置误差gy的状态下在供给位置sm配置的吸嘴51的前端部54和向供给位置sm供给的电子部件c的上表面的中心的y轴方向的位置一致。由此，如图17的实线所示，在供给位置sm中，电子部件c的上表面的中心配置于吸嘴51的前端部54的正下方。

控制部16向在x轴方向配置多个的带式供给器40的驱动电动机431分别基于校正数据而输出控制信号。由此，在x轴方向配置的多个电子部件c基于校正数据而在y轴方向步进移动。

电子部件供给装置4基于从控制部16输出的控制信号，使在x轴方向配置的多个电子部件c在y轴方向移动，向多个吸嘴51分别供给电子部件c(步骤sa50)。即，电子部件供给装置4基于移动轨迹tr和第2基准线ry的多个交点与多个基准点rp的各自在y轴方向的位置误差gy，将在x轴方向配置的多个电子部件c在y轴方向移动，向多个吸嘴51分别供给电子部件c。在本实施方式中，基于校正数据，8个带式供给器40向在供给位置sm配置的8个吸嘴51供给电子部件c。

多个吸嘴51分别通过前端部54对电子部件c的上表面的中心进行吸附保持。多个吸嘴51同时吸附多个电子部件c。在供给位置sm，在多个电子部件c吸附保持于多个吸嘴51后，控制部16向移动系统6输出控制信号，将安装头5向安装位置dm移动。安装头5将保持于多个吸嘴51的多个电子部件c向基板p安装(步骤sa60)。

[作用及效果]

如以上说明所述，根据本实施方式，保持单元50的轴部件52以基准点rp和吸嘴51的前端部54的x轴方向的位置误差gx小于或等于阈值的方式支撑于安装头主体53。在本实施方式中，保持单元50的轴部件52以吸嘴51的前端部54定位于移动轨迹tr和第2基准线ry的交点，位置误差gx成为零的方式支撑于安装头主体53。在以基准点rp和吸嘴51的前端部54的x轴方向的位置误差gx小于或等于阈值的方式将保持单元50的轴部件52支撑于安装头主体53的状态下，基于基准点rp和吸嘴51的前端部54的y轴方向的位置误差gy而对使电子部件c向供给装置sm移动时的移动量进行调整，从而能够使多个吸嘴51分别对作为目标部位的电子部件c的上表面的中心进行保持。因此，安装头5能够通过多个吸嘴51稳定地同时保持多个电子部件c。

另外，根据本实施方式，设置有：位置误差数据计算部14，其对xy平面中的基准点rp和吸嘴51的前端部54的位置误差g进行计算；以及校正数据计算部15，其基于由位置误差数据计算部14计算出的位置误差g，对与通过电子部件供给装置4产生的电子部件c的y轴方向的移动量有关的校正数据进行计算。由此，控制部16能够向多个带式供给器40的驱动电动机431分别输出控制信号，以使得在供给位置sm，吸嘴51的前端部54和电子部件c的上表面的中心的y轴方向的位置一致。

另外，在本实施方式中，多个轴部件52分别能够以旋转轴ax为中心旋转地支撑于安装头主体53，对轴部件52的旋转时的吸嘴51的前端部54的移动轨迹tr进行检测。通过对移动轨迹tr进行检测，从而基于检测出的移动轨迹tr，顺利地决定x轴方向的位置误差gx小于或等于阈值的θz方向上的轴部件52的零度位置。安装头主体53能够以多个轴部件52分别成为零度位置的方式，对这些多个轴部件52进行支撑。

另外，在本实施方式中，多个轴部件52分别被调整至零度位置。因此，在吸嘴更换收容装置7中相对于轴部件52对吸嘴51进行更换时，在调整至零度位置的轴部件52装载吸嘴51。通过在调整至零度位置的轴部件52装载吸嘴51，从而抑制在吸嘴51更换后吸嘴51的前端部54和基准点rp的位置误差g的扩大。

此外，在上述实施方式中，设为通过状态检测装置9对吸嘴51的前端部54的移动轨迹tr进行检测。也可以通过拍摄装置8对吸嘴51的前端部54的移动轨迹tr进行检测。在通过θz驱动装置64使轴部件52旋转的状态下，通过拍摄装置8对吸嘴51的前端部54进行拍摄，由拍摄装置8取得的图像数据在控制装置10中进行图像处理，由此对吸嘴51的前端部54的移动轨迹tr进行检测。

第2实施方式.

对第2实施方式进行说明。在下面的说明中，对与上述的实施方式相同或等同的结构要素标注相同的标号，简化或省略该说明。

图18是示意地表示本实施方式所涉及的安装头5b的一个例子的斜视图。如图18所示，在本实施方式中，与1个旋转电动机641的输出轴连接的驱动带轮642a和2个保持单元50的从动带轮642c经由1个传动带642d连结。即，在本实施方式中，通过由1个旋转电动机641产生的动力，多个保持单元50在θz方向旋转。由1个旋转电动机641产生的动力经由传动带642d而传递至2个保持单元50。

接下来，对本实施方式所涉及的电子部件安装方法进行说明。图19是表示本实施方式所涉及的电子部件安装方法的一个例子的流程图。

在安装头5的调整时，能够旋转地支撑于轴承681、682、683的轴部件52进行旋转(步骤sb10)。轴部件52的旋转可以通过θz驱动装置64实施，也可以通过除了θz驱动装置64以外的其他驱动装置实施。

在轴部件52的旋转中，对吸嘴51的前端部54的移动轨迹tr进行检测(步骤sb20)。在本实施方式中，吸嘴51的前端部54的移动轨迹tr由例如千分表这样的测定器进行检测。例如，在千分表的测定件与吸嘴51的前端部54抵接的状态下，轴部件52进行旋转。由此，对吸嘴51的前端部54的移动轨迹tr进行检测。

在吸嘴51的前端部54的移动轨迹tr中，决定x轴方向的位置误差gx小于或等于阈值的θz方向的轴部件52的位置(步骤sb30)。在本实施方式中，还决定x轴方向的位置误差gx成为零的θz方向的轴部件52的零度位置。即，在本实施方式中，还决定θz方向的轴部件52的零度位置，以使得吸嘴51的前端部54定位于移动轨迹tr和第2基准线ry的交点。

θz驱动装置64的旋转电动机641的转子配置于原点。在旋转电动机641设置有旋转编码器。基于旋转编码器的检测数据，旋转电动机641的转子配置于原点(步骤sb40)。

在1个旋转电动机641的转子配置于原点，2个保持单元50的轴部件52配置于零度位置的状态下，与1个旋转电动机641的输出轴连接的驱动带轮642a和2个保持单元50的从动带轮642c经由1个传动带642d连结(步骤sb50)。

通过实施步骤sb50的处理，从而在旋转电动机641的转子配置于原点时，吸嘴51的前端部54定位于移动轨迹tr和第2基准线ry的交点，对于2个保持单元50的吸嘴51的前端部54的位置误差gx始终成为零。

接下来，通过状态检测装置9对吸嘴51的前端部54的y轴方向的位置进行检测(步骤sb60)。此外，也可以通过拍摄装置8对吸嘴51的前端部54的y轴方向的位置进行检测。

基于在步骤sb60中检测出的检测数据，对基准点rp和吸嘴51的前端部54的y轴方向的位置误差gy进行计算。基于计算出的y轴方向的位置误差gy，计算针对通过电子部件供给装置4产生的电子部件c的y轴方向的移动量的校正数据(步骤sb70)。

计算出的校正数据存储于存储部12。控制部16基于校正数据，将使电子部件c在y轴方向移动的控制信号分别输出至电子部件供给装置4的多个驱动电动机431。由此，基于校正数据，8个带式供给器40向在供给位置sm配置的8个吸嘴51供给电子部件c(步骤sb80)。

多个吸嘴51分别通过前端部54对电子部件c的上表面的中心进行吸附保持。多个吸嘴51同时吸附多个电子部件c。在供给位置sm，在多个电子部件c吸附保持于多个吸嘴51后，控制部16向移动系统6输出控制信号，将安装头5向安装位置dm移动。安装头5将保持于多个吸嘴51的多个电子部件c向基板p安装(步骤sb90)。

如以上说明所述，根据本实施方式，通过1个驱动电动机641使2个保持单元50旋转。由此，减少驱动电动机641的数量。在通过1个驱动电动机641使多个保持单元50旋转的情况下，按照上述的步骤sb10至步骤sb90的处理，实施安装头5的调整及驱动，由此多个吸嘴51能够稳定地同时保持多个电子部件c。