等离子体喷枪的制作方法与工艺

文档序号:12925708
本实用新型涉及等离子体喷枪。

背景技术:
等离子工业清洗设备在液晶面板制造和柔性PCB板制造业中有广泛的应用。等离子工业清洗设备设有等离子体喷枪。目前,等离子体喷枪内的电极容易氧化,从而影响到电极寿命。另外,等离子的浓度及均匀度会直接影响到清洗效果。

技术实现要素:
本实用新型的目的在于提供一种等离子体喷枪,其可利用气流对电极进行冷却,防止电极温度过高,延长电极的寿命。为实现上述目的,本实用新型的技术方案是设计一种等离子体喷枪,包括:筒状壳体,置于壳体后端用于向壳体内输入气体的气体输入接头,置于壳体前端用于向壳体外部输出气体的喷嘴,置于壳体内的杆状电极,置于壳体内且套装于电极外周的石英管,将石英管固定在电极外周的石英管固定模块,将电极固定在壳体内的电极固定模块,置于壳体内的气流分配模块,以及向电极供电的供电模块;所述气流分配模块设有沿壳体周向均布的多个螺旋气孔。优选的,所述壳体沿其轴向由三段构成:后段护套、中段护套和前段护套。优选的,所述气体输入接头设于后段护套上。优选的,所述电极设于前段护套内。优选的,所述电极管固定模块包括:与电极固定杆后端螺纹连接的电极固定杆,以及设于电极固定杆后端的螺纹头。优选的,所述电极固定杆设于中段护套内。优选的,所述螺纹头设于后段护套和中段护套的结合部。优选的,所述电极固定杆外周还套装有密封套管。优选的,所述气体输入接头为快速接头。本实用新型的优点和有益效果在于:提供一种等离子体喷枪,其可利用气流对电极进行冷却,防止电极温度过高,延长电极的寿命,且可输出均匀而稳定的等离子流。使用时,外部气体由气体输入接头输入,由壳体后端流向壳体前端,并由喷嘴喷出,气体流经电极表面;电极上通有高压交流电,电极表面会产生等离子体,等离子体和气流混合后从喷嘴输出,可形成等离子流;气体还流经气流分配模块,气流分配模块设有沿壳体周向均布的多个螺旋气孔,利于形成均匀而稳定的等离子流。本实用新型可以通过控制气流,在喷嘴处形成均匀而稳定的等离子流。本实用新型的螺旋气孔有利于气体的均匀喷出,一方面冷却电极,另一方面也确保产生的等离子体浓度相对均匀。本实用新型优化电极的结构和安装位置,兼顾等离子体在电极表面产生的面积及流动性,正常工作时,在电极表面形成的等离子可以和气流形成清洗需要的比较高浓度且均匀稳定的等离子流。本实用新型采用螺纹固定的安装方式方便了更换电极、石英管等耗材,并且在电极周围形成了相对的密闭空间,有利于等离子体的产生。附图说明图1是本实用新型一种等离子体喷枪的结构示意图。具体实施方式下面结合实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案,而不能以此来限制本实用新型的保护范围。本实用新型具体实施的技术方案是:一种等离子体喷枪,包括:筒状壳体,置于壳体后端用于向壳体内输入气体的气体输入接头,置于壳体前端用于向壳体外部输出气体的喷嘴,置于壳体内的杆状电极,置于壳体内且套装于电极外周的石英管,将石英管固定在电极外周的石英管固定模块,将电极固定在壳体内的电极固定模块,置于壳体内的气流分配模块,以及向电极供电的供电模块;所述气流分配模块设有沿壳体周向均布的多个螺旋气孔。优选的,所述壳体沿其轴向由三段构成:后段护套、中段护套和前段护套。优选的,所述气体输入接头设于后段护套上。优选的,所述电极设于前段护套内。优选的,所述电极管固定模块包括:与电极固定杆后端螺纹连接的电极固定杆,以及设于电极固定杆后端的螺纹头。优选的,所述电极固定杆设于中段护套内。优选的,所述螺纹头设于后段护套和中段护套的结合部。优选的,所述电极固定杆外周还套装有密封套管。优选的,所述气体输入接头为快速接头。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型技术原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。...
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