等离子介质阻挡放电电路的制作方法与工艺

文档序号:12925706
等离子介质阻挡放电电路的制作方法与工艺
本实用新型涉及等离子介质阻挡放电电路。

背景技术:
在液晶面板制造和柔性PCB板制造业中需要用到离子工业清洗设备,离子工业清洗设备需要设计等离子介质阻挡放电电路,以产生等离子体。

技术实现要素:
本实用新型的目的在于提供一种等离子介质阻挡放电电路,其可以产生等离子体,可应用在离子工业清洗设备上。为实现上述目的,本实用新型的技术方案是设计一种等离子介质阻挡放电电路,包括介质板和高压交流电源驱动电路;所述介质板的一侧表面设有高电压电极,所述介质板的另一侧表面设有接地电极;所述高电压电极与高压交流电源驱动电路的高压输出端连接,所述接地电极与高压交流电源驱动电路的接地端连接;所述高压交流电源驱动电路设有控制高压输出的脉宽调制模块。优选的,所述介质板为云母片。优选的,所述高电压电极和接地电极为合金片。优选的,所述脉宽调制模块包括用于产生脉冲信号的555定时器。优选的,所述脉宽调制模块包括作为控制高压输出开关的BUZ11开关管。优选的,所述高电压电极、介质板和接地电极在高压交流电源驱动电路的驱动下产生等离子体,放电过程发生在封闭大气体里,放电间隙为4mm。本实用新型的优点和有益效果在于:提供一种等离子介质阻挡放电电路,其可以产生等离子体,可应用在离子工业清洗设备上。本实用新型采用云母片作为介质,放在两片合金片上,这个合金片就是电极,放电过程可发生在封闭大气体里,高压交流电频率为30kHz上下,放电间隙为4mm.等离子体就在介质表面产生了。本实用新型可用于等离子工业清洗设备,在液晶面板制造和柔性PCB板制造业中有广泛的应用。本实用新型克服了市场上很多产品高压不稳控制频率不稳的特点。本实用新型可以产生稳定的10kv高压,以及15kHz的频率调制。附图说明图1是高压交流电源驱动电路的示意图;图2是高电压电极、介质板和接地电极的示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案,而不能以此来限制本实用新型的保护范围。本实用新型具体实施的技术方案是:如图1和图2所示,一种等离子介质阻挡放电电路,包括介质板1和高压交流电源驱动电路;所述介质板1的一侧表面设有高电压电极2,所述介质板1的另一侧表面设有接地电极3;所述高电压电极2与高压交流电源驱动电路的高压输出端连接,所述接地电极3与高压交流电源驱动电路的接地端连接;所述高压交流电源驱动电路设有控制高压输出的脉宽调制模块。所述介质板1为云母片。所述高电压电极2和接地电极3为合金片。所述脉宽调制模块包括用于产生脉冲信号的555定时器。所述脉宽调制模块包括作为控制高压输出开关的BUZ11开关管。所述高电压电极2、介质板1和接地电极3在高压交流电源驱动电路的驱动下产生等离子体,放电过程发生在封闭大气体里,放电间隙为4mm。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型技术原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。...
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