技术总结
本实用新型公开了一种具有放电预警反馈功能的真空等离子腔体，包括真空箱体，在真空箱体内部的水平或垂直方向上平行的设置多层电极板，相邻的两层电极板极性相反；在相邻的两层电极板之间的真空箱体的侧壁上开有通孔，在真空箱体的外侧壁上安装有与通孔相连通的密封连装置，导光棒穿过密封连接装置；导光棒一端位于真空箱体内，一端位于真空箱体外并与光控开关上的光敏电阻相连，本实用新型能随时监控两层电极之间等离子放电状态是否正常，当两层电极之间出现不放电或放电弱的情况时，光控开关可输出开关信号到PLC，实现设备自动报警，防止无效处理产品的产生，保证产品处理效果，操作简单，降低不良率。
技术研发人员：郭峰;国际瑞;刘善石;牛峰
受保护的技术使用者：昆山普乐斯电子科技有限公司
文档号码：201720341543
技术研发日：2017.04.01
技术公布日：2018.02.09