一种等离子体发生装置用电晕电极的制作方法

文档序号:13671682阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种等离子体发生装置用电晕电极,其特征在于,该电极包括:

一块厚度为1~2mm的钛板,加工成一定尺寸的片状钛板(1);

对钛板(1)表面的通过蚀刻加工出的圆柱形电极形状冲压,压出尖端形状(2);

在钛板表面上沉淀相对稳定的TiH2膜;

在钛板表面的TiH2膜上镀一层铂,即所述电晕电极。

2.根据权利要求1所述电晕电极,其特征在于,所述的钛板的厚度为1.5mm。

3.根据权利要求1所述电晕电极,其特征在于,所述的尖端形状(2)的高为150μm-300μm。

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