1.一种等离子体发生装置用电晕电极,其特征在于,该电极包括:
一块厚度为1~2mm的钛板,加工成一定尺寸的片状钛板(1);
对钛板(1)表面的通过蚀刻加工出的圆柱形电极形状冲压,压出尖端形状(2);
在钛板表面上沉淀相对稳定的TiH2膜;
在钛板表面的TiH2膜上镀一层铂,即所述电晕电极。
2.根据权利要求1所述电晕电极,其特征在于,所述的钛板的厚度为1.5mm。
3.根据权利要求1所述电晕电极,其特征在于,所述的尖端形状(2)的高为150μm-300μm。