一种高精度管道防电磁波干扰装置的制作方法

本实用新型涉及半导体制造工艺中高精度管道防电磁波干扰技术领域，具体地说是一种高精度管道防电磁波干扰装置。

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背景技术：
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半导体制造工艺中，经常要使用到同一种药品的不同浓度的药品，例如HF49％、HF5％、HF1％、HF0.5％等，很多厂商因此设计制造专门的稀释设备，将高浓度药品直接添加到纯水中，调配出目标浓度的药品。这些稀释设备的核心就是测量稀释结果的浓度计。浓度计通过测量药液的电导率,按照某种算法,转换成药液的浓度,能够及时在线检测到药液的浓度,便于及时调节,达到规定的浓度,在工业上的应用十分广泛。随着半导体工业的飞速发展,对浓度的要求越来越严格,精度需求越来越高，需求量越来越大，由原先气动泵传输改由现在的磁力泵传输，磁力泵在启动运行的时候会产生电磁波。由于电磁波干扰，影响浓度计测量精度，往往所测量的结果有偏差，不能满足高精度的要求。

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技术实现要素：
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本实用新型的目的就是要解决上述的不足而提供一种高精度管道防电磁波干扰装置。在测量管道表层贴敷电磁屏蔽套后，能够精确测量出目标浓度附近的浓度值，结果的传送不受外部电磁波干扰，实现了稳定的高精度测量。

为实现上述目的设计一种高精度管道防电磁波干扰装置，包括多个电磁屏蔽套件构成，所述每个电磁屏蔽套件包括电磁屏蔽套1、锁紧卡箍2、快接套口4及铜网扁平线6，所述电磁屏蔽套1采用不锈钢与铜编织网袋结构，所述电磁屏蔽套1的两端分别设有快接套口4，所述快接套口4的外围设有锁紧卡箍2，所述快接套口4的端面通过固定螺丝7固定连接铜网扁平线6。

所述锁紧卡箍包括紧固螺栓3、下半卡箍8、上半卡箍9及销轴10，所述下半卡箍8、上半卡箍9的左端部通过紧固螺栓3配合连接，所述所述下半卡箍8、上半卡箍9的右端部通过销轴10活动连接。

本实用新型同现有技术相比，结构简单、新颖，可以非常简单、快速安装到测量管道上，测量管道表层贴敷电磁屏蔽套后，能够精确测量出目标浓度附近的浓度值，结果的传送不受外部电磁波干扰，实现了稳定的高精度测量。

[附图说明]

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的锁紧卡箍的结构示意；

图3是本实用新型的快接套口的结构示意；

图4是本实用新型的安装结构示意图一；

图5是本实用新型的安装结构示意图二。

图中：1.电磁屏蔽套，2.锁紧卡箍，3.紧固螺栓，4.快接套口，5.螺纹孔，6.铜网扁平线，7.固定螺丝，8.下半卡箍，9.上半卡箍，10.销轴。

[具体实施方式]

下面结合附图对本实用新型作以下进一步说明：

如附图1至3所示，本实用新型包括多个电磁屏蔽套件构成，所述每个电磁屏蔽套件包括电磁屏蔽套1、锁紧卡箍2、快接套口4及铜网扁平线6，所述电磁屏蔽套1采用不锈钢与铜编织网袋结构，采用不锈钢与铜编织网袋具有：1.不锈钢增强网袋的强度；2.铜起到屏蔽电场作用；3.适合不超过网袋最大直径的所有管道尺寸，实用性强；4.方便观察管道内情况等优点。所述电磁屏蔽套1的两端分别设有快接套口4，所述快接套口4的外围设有锁紧卡箍2，所述快接套口4的端面上开有螺纹孔5，所述螺纹孔5上装有固定螺丝7、铜网扁平线6。所述锁紧卡箍包括紧固螺栓3、下半卡箍8、上半卡箍9及销轴10，所述下半卡箍8、上半卡箍9的左端部通过紧固螺栓3配合连接，所述所述下半卡箍8、上半卡箍9的右端部通过销轴10活动连接。

如附图4所示，在测量管道过长时，两个电磁屏蔽套件之间通过锁紧卡箍实现快速连接。

如附图5所示，当在同一根测量管道上中间有阀件时，位于阀件两侧的电磁屏蔽套件通过固定螺丝7及铜网扁平线6实现快速连接。

本实用新型并不受上述实施方式的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。