技术总结
本发明的一实施方式的微波输出装置中，从方向性耦合器输出自微波产生部传播至输出部的行进波的一部分。在第1测定部中，利用二极管检波产生与行进波的一部分的功率对应的模拟信号，将该模拟信号转换为数字值。并且，选择与对微波输出装置中被指定的微波的设定频率、设定功率及设定带宽建立对应的一个以上的校正系数。通过将所选择的一个以上的校正系数与数字值相乘来确定测定值。
技术研发人员：金子和史;河田祐纪
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：2017.10.04
技术公布日：2019.06.04