双热窗型的功率输入耦合器的制作方法

文档序号:14685327发布日期:2018-06-12 23:25阅读:来源:国知局
双热窗型的功率输入耦合器的制作方法

技术特征:

1.一种双热窗型的功率输入耦合器,包括:

传输匹配结构,具有三个端口,分别为功率输入端、冷却端、以及第一功率输出端,其中,功率输入端与冷却端处于第一轴线上,第一功率输出端处于第二轴线上,该第二轴线与第一轴线垂直;

双窗体结构,与所述第一功率输出端相连接,包括:第一窗体、第二窗体、第一导体以及第二导体,其中,第一导体,构成双窗体结构的外围;第二导体,与第一导体平行设置,与第一导体形成至少两个容置空间;第一窗体与第二窗体相对设置于该容置空间内;以及

同轴输出结构,与双窗体结构相连接,包括:第二功率输出端,用于功率输出。

2.根据权利要求1所述的功率输入耦合器,其中,所述传输匹配结构包括:彼此绝缘的第一盒体和第二盒体,所述第一盒体与第二盒体构成同轴线结构,第一盒体位于外侧,第二盒体位于内侧,在所述第一盒体和第二盒体上均对应设置有所述端口,所述端口分别为:功率输入端、冷却端、以及第一功率输出端。

3.根据权利要求2所述的功率输入耦合器,其中,所述第一盒体与第二盒体之间为空气。

4.根据权利要求2所述的功率输入耦合器,其中,所述第一盒体的端口上均设置有外导体,该外导体与双窗体结构的第一导体相连接;所述第二盒体的端口上均设置有内导体,该内导体与双窗体结构的第二导体相连接。

5.根据权利要求4所述的功率输入耦合器,其中,所述冷却端的内、外导体之间设有导电金属环,该导电金属环能够沿着第二轴线的方向进行移动,通过所述导电金属环的轴向移动改变所述功率输入耦合器的驻波比,进而调节传输功率。

6.根据权利要求4所述的功率输入耦合器,其中,所述冷却端的内导体的内部设有一气冷管道,该气冷管道实现对第二盒体的冷却,同时也为双窗体结构的第二导体提供压缩空气回路。

7.根据权利要求1所述的功率输入耦合器,其中:

所述第二窗体与第一窗体之间呈高真空状态;

所述第一窗体与第二窗体的真空侧均镀上氮化钛膜,所述氮化钛膜的厚度介于5nm~10nm之间。

8.根据权利要求1所述的功率输入耦合器,其中:

所述第一窗体与第二窗体的材料为氧化铝陶瓷片;和/或

所述第一导体、第二导体采用高电导率无氧铜材料,通过焊接工艺制作成型;和/或

所述第一窗体、第二窗体与第一导体和第二导体之间均形成一体化结构。

9.根据权利要求1所述的功率输入耦合器,其中:

所述双窗体结构中处于高真空状态段的第一导体上设有真空抽气窗口,处于超高真空状态段的第一导体上设有两个真空监测窗口;

或者在所述双窗体结构中处于高真空状态段的第一导体上设有真空抽气窗口、第一打火监控端口、以及第一电子流监控端口,处于超高真空状态段的第一导体上设有两个真空监测窗口、第二打火监控窗口、以及第二电子流监控窗口。

10.根据权利要求1至9任一项所述的功率输入耦合器,其中:

在所述第二功率输出端的上游连接有直径逐渐缩小的锥形过渡结构;和/或

所述同轴输出结构上设置有外导体,该外导体与所述双窗体结构的第一导体相连接,在该外导体上还设有热锚,该热锚与液氮冷屏相连。

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