有机薄膜的制造方法、有机薄膜及其利用与流程

本公开涉及有机薄膜及其制造方法。另外，本公开涉及具有上述有机薄膜的有机电致发光元件及使用了上述有机电致发光元件的显示元件、照明装置及显示装置。
背景技术：
：有机电子元件是使用有机物进行电动作的元件，期待能够发挥节能、低价、柔软性这些特长，作为代替现有的以硅为主体的无机半导体的技术而受到关注。作为有机电子元件的一例，可举出有机电致发光元件(以下也称作“有机el元件”)、有机光电转换元件及有机晶体管等。有机el元件例如作为成为白炽灯或充气灯等的代替品的大面积固态光源用途而受到关注。另外，作为平板显示器(fpd)领域中取代液晶显示器(lcd)的最有力的自发光显示器也受到关注，产品化有所发展。有机el元件从所使用的有机电子材料出发，大致分为低分子型有机el元件及高分子型有机el元件这2种。高分子型有机el元件作为有机电子材料使用高分子化合物，低分子型有机el元件使用低分子化合物。另一方面，有机el元件的制造方法主要分为在真空体系中进行成膜的干式工艺和通过凸版印刷、凹版印刷等有版印刷、喷墨等无版印刷等进行成膜的湿式工艺这2种。由于能够简易成膜，因此湿式工艺作为对日后的大画面有机el显示来说不可缺少的方法而受到期待。因此，适于湿式工艺的材料的开发有所进展，例如探讨了利用具有聚合性官能团的电荷传输性化合物来形成多层结构(例如参照专利文献1及非专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2006-279007号公报非专利文献非专利文献1：广濑健吾、熊木大介、小池信明、栗山晃、池畑诚一郎、时任静士、第53次应用物理学关系联合演讲会、26p-zk-4(2006)技术实现要素：发明要解决的技术问题按照湿式工艺制造的有机el元件具有低成本化及大面积化容易的优点。但是，按照湿式工艺制造的现有的有机el元件的驱动电压、发光效率及发光寿命等元件特性未必充分，期待进一步的改善。通常，在湿式工艺中，涂布在溶剂中溶解有电荷传输性化合物的溶液来形成涂布膜，接着通过加热涂布膜来形成有机薄膜。因此，作为有机薄膜的材料使用的电荷传输性化合物的耐氧化性不足时，在加热时易于引起有机薄膜的表面氧化。有机薄膜的表面氧化成为降低有机薄膜的原本性能、驱动电压的上升等元件特性降低的原因，因此不优选。具有聚合性官能团的电荷传输性化合物是适于湿式工艺的材料，但从耐氧化性等观点出发，期待进一步的改善。另一方面，为了提高元件特性，不仅有机薄膜材料的开发很重要，抑制有机薄膜的性能降低的方法也变得很重要。因此，利用湿式工艺的有机薄膜的制造中，期待抑制成膜时的有机薄膜的性能降低、能够形成具有优异性能的有机薄膜的制造方法。本公开鉴于上述内容，目的在于提供抑制利用湿式工艺进行成膜时的有机薄膜的性能降低、能够形成具有优异性能的有机薄膜的制造方法。另外，目的在于提供具有通过上述制造方法获得的有机薄膜的有机el元件、以及使用了该有机el元件的显示元件、照明装置及显示装置。用于解决技术问题的手段本发明人们对利用湿式工艺进行的有机薄膜的制造进行了深入研究，结果发现，成膜时的加热工艺的环境气体会大大影响有机薄膜的性能，从而完成了本发明。即，本发明涉及以下记载的实施方式。但本发明并不限定于以下的实施方式。一个实施方式涉及一种有机薄膜的制造方法，上述制造方法包含以下工序：涂布含有电荷传输性化合物的有机电子材料、形成涂布膜的工序；和在不活泼性气体环境下加热上述涂布膜、形成有机薄膜的工序。上述实施方式的制造方法中，上述有机电子材料优选进一步含有溶剂。上述电荷传输性化合物优选具有空穴注入性或空穴传输性。上述电荷传输性化合物优选含有选自芳香族胺结构、吡咯结构、咔唑结构、噻吩结构、苯结构、苯胺结构、吩噁嗪结构及芴结构中的1个以上的结构。上述电荷传输性化合物优选具有在3个以上的方向上分支的结构。上述电荷传输性化合物优选具有至少1个聚合性官能团。上述聚合性官能团优选是选自氧杂环丁烷基、环氧基、乙烯基、丙烯酰基及甲基丙烯酰基中的至少1个。上述有机电子材料优选进一步含有聚合引发剂。上述聚合引发剂优选为离子化合物。上述离子化合物优选为鎓盐。另一实施方式涉及一种有机薄膜，其是通过上述实施方式的有机薄膜的制造方法制得的。另一实施方式涉及一种层叠体，其为具有由含有电荷传输性化合物的有机电子材料形成的有机薄膜和设置在上述有机薄膜上的上层的层叠体，其中，由从上述上层侧照射气体团簇离子束、并利用飞行时间二次离子质谱仪在深度方向上测得的氧离子强度求出的包含上述有机薄膜与上述上层的界面在内的深度方向上的氧原子分布的偏差为8.0％以下。另一实施方式涉及一种有机电致发光元件，其具有上述实施方式的有机薄膜或上述实施方式的层叠体。上述有机电致发光元件优选进一步具有柔性基板。另外，有机电致发光元件优选进一步具有树脂膜基板。另一实施方式涉及一种显示元件，其具备上述实施方式的有机电致发光元件。另一实施方式涉及一种照明装置，其具备上述实施方式的有机电致发光元件。另一实施方式涉及一种显示装置，其具备上述实施方式的照明装置和作为显示手段的液晶元件。另一实施方式涉及一种有机电致发光元件的制造方法，所述有机电致发光元件在阳极与阴极之间至少依次具有相邻于上述阳极的有机薄膜和发光层，上述制造方法具有以下工序：在上述阳极上通过上述实施方式的有机薄膜的制造方法形成上述有机薄膜的工序；形成上述发光层的工序；以及形成上述阴极的工序。发明效果根据本公开，可以提供抑制成膜时的性能降低、具有优异性能的有机薄膜的制造方法。另外，可以提供使用通过上述制造方法获得的有机薄膜、驱动电压等元件特性优异的有机el元件，以及使用了该有机el元件的显示元件、照明装置及显示装置。附图说明图1为表示本发明一个实施方式的有机el元件的一例的截面示意图。图2为通过使用气体团簇离子束的飞行时间二次离子质谱分析法(gcib-tof-sims)在深度方向上测得的氧原子分布的曲线图，(a)表示实施例9的测定结果、(b)表示比较例9的测定结果。具体实施方式以下对本发明的实施方式具体地进行说明，但本发明并不限定于以下的实施方式。＜有机薄膜的制造方法＞一个实施方式中，有机薄膜的制造方法包含以下工序：形成含有电荷传输性化合物的有机电子材料的涂布膜的工序；和在不活泼性气体环境下加热上述涂布膜、形成有机薄膜的工序。涂布膜的形成通过在大气环境下或不活泼性气体环境下涂布上述有机电子材料来实施。涂布膜的形成优选在室温下实施。这里，室温是指10℃～40℃范围内的任一个温度，优选为20℃～30℃的范围。上述有机电子材料优选以将该材料溶解于溶剂获得的涂布溶液(油墨组合物)的形态进行使用。作为涂布方法，例如可举出旋涂法；流延法；浸渍法；凸版印刷、凹版印刷、胶版印刷、平版印刷、凸版反转胶版印刷、丝网印刷、以及凹版印刷等有版印刷法；喷墨法等无版印刷法等公知的方法。有机薄膜的形成通过在不活泼性气体环境下加热涂布膜来实施。通过加热涂布膜，获得涂布膜经固化而成的有机薄膜。一个实施方式中，有机薄膜是涂布膜中的溶剂蒸发而形成的干燥膜。其它的实施方式中，当电荷传输性化合物具有聚合性官能团时，有机薄膜是通过加热及根据需要实施的光照射、电荷传输性化合物的聚合反应进行而形成的固化膜。从利用湿式工艺进行的多层化的观点出发，有机薄膜优选是固化膜。根据本公开的制造方法，通过在不活泼性气体环境下实施涂布膜形成后的加热，可以获得具有优异性能的有机薄膜。涂布膜及有机薄膜的厚度并无特别限定，可以考虑有机薄膜的用途进行调整。一个实施方式中，厚度可以是0.1nm～300nm的范围。为0.1nm以上的膜厚时，易于提高电荷传输的效率。另一方面，当使膜厚为300nm时，易于减小电阻。厚度更优选为1nm～200nm的范围、进一步优选为3～100nm的范围。这里，“不活泼性气体”例如可举出氦气及氩气等稀薄气体、氮气以及它们的混合气体。“不活泼性气体环境下”是指工艺环境气体中的不活泼性气体的浓度以体积比计为99.5％以上、优选为99.9％以上。上述制造方法中，涂布膜的加热从成本及简便性出发，优选在氮气环境下实施。“涂布膜的加热”是指对涂布膜施加热、提高涂布膜的温度。加热并无特别限定，从效率良好地除去溶剂的观点出发，优选在油墨组合物中使用的溶剂的沸点以上的温度下实施。另外，当电荷传输性化合物具有聚合性官能团时，优选是聚合反应效率良好地进行的温度。一个实施方式中，涂布膜的加热温度优选为140℃以上、更优选为170℃以上、进一步优选为180℃以上。另一方面，从抑制因热劣化等导致的有机薄膜的性能降低的观点出发，上述加热温度优选为300℃以下、更优选为280℃以下、进一步优选为250℃以下。这里，有机薄膜的性能降低是指因热劣化或表面氧化等导致的载流密度及电荷迁移率等的降低。根据上述实施方式的制造方法，易于获得抑制有机薄膜的性能降低、具有优异性能的有机薄膜。通过使用这种有机薄膜，元件的驱动电压、发光效率及发光寿命的提高变得容易。加热时间并无特别限定，从生产率提高的观点出发，优选为2小时以下、更优选为1小时以下、进一步优选为30分钟以下。另外，从可靠地进行溶剂的除去及聚合反应进行的观点出发，加热时间优选为1分钟以上、更优选为3分钟以上、进一步优选为5分钟以上。涂布膜的加热例如可以使用加热板或烘箱实施。不活泼性气体环境下的加热例如可通过在不活泼性气体环境下使用加热板或使烘箱内形成为不活泼性气体环境来实施。一个实施方式中，涂布膜的加热优选在氮气环境下、在180～250℃、更优选190～240℃的温度、进一步优选200～230℃的温度下、加热时间为5～60分钟的条件下进行实施。即便是相同的加热温度，当加热时间延长时，有机薄膜的性能易于降低。因此更优选加热时间为30分钟以下。涂布膜的加热例如优选如下实施：使形成有涂布膜的基板接触设置于不活泼性气体环境下且设定为180～250℃范围的温度的加热板的表面5～60分钟，从而实施。加热(与加热板表面的接触)时间更优选为30分钟以下。上述有机薄膜的制造方法中使用的有机电子材料并无特别限定。从进一步提高有机薄膜的性能降低的抑制效果的观点出发，优选使用含有耐热性及耐氧化性等优异的电荷传输性化合物的有机电子材料。以下更为具体地说明在上述有机薄膜的制造方法中能够使用的有机电子材料。(有机电子材料)一个实施方式中，从利用湿式工艺的有机薄膜的多层化变得容易的观点出发，优选形成有机薄膜的有机电子材料含有分子内具有聚合性官能团的电荷传输性化合物。一个实施方式中，有机电子材料可以含有2种以上的具有聚合性官能团的电荷传输性化合物，还可以进一步含有其它的电荷传输性化合物。[电荷传输性化合物]一个实施方式中，电荷传输性化合物含有1个以上的具有电荷传输性的结构单元，上述结构单元中的至少1个具有下式所示的结构部位。-ar-(l)a-z式中，ar为亚芳基或亚杂芳基、l为连接基团、a为0或1、z表示取代或未取代的聚合性官能团。上式中，连接基团l为2价有机基团，并无特别限定。一个实施方式中，电荷传输性化合物含有1个以上的具有电荷传输性的结构单元，上述结构单元中的至少1个优选具有下式(i)所示的结构部位。-ar-x-y-z(i)式中，ar表示亚芳基或亚杂芳基、x表示后述的连接基团、y表示碳数为1～10的脂肪族烃基、z表示取代或未取代的聚合性官能团。各式中，ar表示亚芳基或亚杂芳基。亚芳基是从芳香族烃中除去了2个氢原子之后的原子团。作为芳香族烃的具体例，可举出苯、萘、蒽、丁省、芴及菲等。亚芳基优选碳数为6～30。亚杂芳基是从芳香族杂环中除去2个氢原子后的原子团。作为芳香族杂环的具体例子，可举出吡啶、吡嗪、喹啉、异喹啉、吖啶、菲咯啉、呋喃、吡咯、噻吩、咔唑、噁唑、噁二唑、噻二唑、三唑、苯并噁唑、苯并噁二唑、苯并噻二唑、苯并三唑及苯并噻吩等。亚杂芳基优选碳数为2～30。ar例如可以是如苯那样的单环结构，还可以是如萘那样的环相互间稠合而成的稠合环结构。另外，ar还可以是选自独立的单环及稠合环中的2个以上键合而成的结构。作为这种结构之一例，可举出联苯、三联苯及三苯基苯。ar可以是未取代的，或者可以具有1个以上的取代基。ar具有取代基时，取代基例如可以是碳数为1～22的直链、环状或支链的烷基。一个实施方式中，ar优选为亚苯基或亚萘基，更优选为亚苯基。上述式(i)中，x为选自下式(x1)～(x10)中的任一个连接基团。[化学式编号1]式中，r各自独立地表示氢原子、碳数为1～22的直链、环状或支链的烷基、或者碳数为6～30的芳基或碳数为2～30的杂芳基。一个实施方式中，r优选碳数为1～22的直链、环状或支链的烷基。碳数更优选为2～16、进一步优选为3～12、特别优选为4～8。另一实施方式中，r优选是碳数为6～30芳基、更优选是苯基或萘基、进一步优选是苯基。一个实施方式中，上述连接基团x优选为x1。即，电荷传输性化合物优选具有下式(i-1)所示的结构部位。-ar-o-y-z(i-1)式(i)中，y是碳数为1～10的2价脂肪族烃基。脂肪族烃基可以具有直链、支链、环状、或组合有它们的结构。脂肪族烃基可以是饱和的、也可以是不饱和的。一个实施方式中，从成为原料的单体易于获得的观点出发，y优选是直链的脂肪族烃基、更优选是饱和的。从这些观点出发，式(i)中，y优选为-(ch2)n-。即，一个实施方式中，电荷传输性化合物优选具有下式(i-2)所示的结构部位。-ar-x-(ch2)n-z(i-2)式中，n为1～10、优选为1～8、更优选为1～6。从耐热性的观点出发，n更优选为1～4、n最优选为1或2。如上所述，电荷传输性化合物优选具有上式(i-1)或(i-2)所示的结构部位，更优选具有下式(i-3)所示的结构部位。-ar-o-(ch2)n-z(i-3)式中，n为1～10、优选为1～8、更优选为1～6。从耐热性的观点出发，n更优选为1～4、n最优选为1或2。上述各式中，z表示聚合性官能团。“聚合性官能团”是指通过施加热及/或光而可形成键的官能团。聚合性官能团z可以是未取代的、也可以具有取代基。作为聚合性官能团z的具体例子，可举出具有碳-碳多键的基团(例如乙烯基、烯丙基、丁烯基、乙炔基、丙烯酰基、甲基丙烯酰基)、具有小元环的基团(例如环丙基、环丁基等环状烷基；环氧基(环氧乙烷基)、氧杂环丁烷基(氧杂环丁基)等环状醚基；乙酰基乙烯酮基；环硫化物基；内酯基；内酰胺基等)、杂环基(例如呋喃基、吡咯基、噻吩基、噻咯基)等。作为聚合性官能团z，特别优选乙烯基、丙烯酰基、甲基丙烯酰基、环氧基及氧杂环丁烷基。从反应性及有机电子元件的特性的观点出发，更优选乙烯基、氧杂环丁烷基、或环氧基。这些聚合性官能团也可具有取代基。取代基优选碳数为1～22的直链、环状、或支链的烷基。碳数更优选为1～8、进一步优选为1～4。取代基最优选为1～4的直链烷基。一个实施方式中，从保存稳定性的观点出发，聚合性官能团z优选为下式(z1)所示的氧杂环丁烷基。式中，r可以是氢原子或碳数为1～4的烷基。r特别优选为甲基或乙基。[化学式编号2]具有至少1个式(i)所示结构部位的电荷传输性化合物成为在其结构内含有至少1个聚合性官能团z。含有聚合性官能团的化合物可通过聚合反应固化，能够通过固化而改变在溶剂中的溶解度。因此，具有至少1个式(i)所示结构部位的电荷传输性化合物具有优异的固化性，成为适于湿式工艺的材料。一个实施方式中，电荷传输性化合物只要是具有上述式(i)所示的结构部位且具有传输电荷的能力即可。一个实施方式中，所传输的电荷优选为空穴。若为空穴传输性的化合物，则可作为例如有机el元件的空穴注入层或空穴传输层的材料进行使用。另外，若为电子传输性的化合物，则可作为电子传输层或电子注入层的材料进行使用。另外，若为传输空穴和电子这两者的化合物，则可用于发光层的材料等中。一个实施方式中，上述电荷传输性化合物优选作为空穴注入层及/或空穴传输层的材料进行使用，更优选作为空穴注入层材料进行使用。因此，上述电荷传输性化合物优选具有空穴注入性或空穴传输性，更优选具有空穴注入性。电荷传输性化合物含有1个或2个以上的具有电荷传输性的结构单元，上述结构单元中的至少1个具有上述式(i)所示的结构部位。电荷传输性材料大致分为由1个结构单元构成的低分子化合物和由多个结构单元构成的高分子化合物，可以是它们中的任一种。电荷传输性化合物为低分子化合物时，从易于获得高纯度材料的方面来说是优选的。当电荷传输性化合物为高分子化合物时，从组合物的制备容易、并且成膜性优异的方面来说是优选的。进而，从获得这两方面优点的观点出发，作为电荷传输性化合物，还可以混合使用低分子化合物和高分子化合物。以下，作为电荷传输性化合物的一例，对于由具有电荷传输性的多个结构单元构成的高分子化合物更为具体地进行说明。[电荷传输性聚合物]电荷传输性化合物为高分子化合物时，电荷传输性化合物可以是聚合物或低聚物。以下，将它们一并称作“电荷传输性聚合物”。电荷传输性聚合物优选在其结构内具有之前说明的下式(i)所示的至少1个结构部位。-ar-x-y-z(i)当在电荷传输性聚合物的末端部介由含有-ar-ch2-o-所示结构的连接基团而存在聚合性官能团时，电荷传输性聚合物在与聚合引发剂并用时有因加热而分子内的键断裂、易于产生分解物的倾向。与此相对，具有式(i)所示结构部位的电荷传输性聚合物即便是与聚合引发剂并用时，也难以产生因加热导致的分解物。由此，上述实施方式的有机薄膜的制造方法中，当使用含有具有上式(i)所示的至少1个结构部位的电荷传输性聚合物的有机电子材料时，更容易获得具有优异性能的有机薄膜。电荷传输性聚合物可以是直链状的或者可以具有支链结构。电荷传输性聚合物优选至少含有具有电荷传输性的2价结构单元l和构成末端部的1价结构单元t，还可以进一步含有构成支链部的3价以上的结构单元b。电荷传输性聚合物可以含有各自仅为1种的各结构单元，或者可含有各自为多种的各结构单元。电荷传输性聚合物中，各结构单元在“1价”～“3价以上”的键合部位处相互键合。(电荷传输性聚合物的结构)作为电荷传输性聚合物所含的部分结构的例子，可举出以下例子。电荷传输性聚合物并不限定于具有以下部分结构的聚合物。部分结构中，“l”表示结构单元l、“t”表示结构单元t、“b”表示结构单元b。以下“*”表示与其它结构单元的键合部位。以下的部分结构中，多个l可以是相互间相同的结构单元，还可以是相互间不同的结构单元。对于t及b，也是同样的。直链状的电荷传输性聚合物[化学式编号3]具有支链结构的电荷传输性聚合物[化学式编号4][化学式编号5]一个实施方式中，电荷传输性聚合物优选具有电荷传输性的2价结构单元l。另外，一个实施方式中，电荷传输性聚合物优选具有在3个以上方向上分支的结构、即上述结构单元b。电荷传输性聚合物优选含有选自芳香族胺结构、咔唑结构、噻吩结构、联噻吩结构、苯结构、吩噁嗪结构及芴结构中的至少1种结构。该结构优选含有在后述的结构单元l中，但也可含有在结构单元b中，还可以含有在结构单元l及结构单元b这两者中。电荷传输性聚合物通过含有上述结构中的任一种，可以提高电荷传输性、特别是空穴传输性。一个实施方式中，电荷传输性聚合物只要在构成聚合物的结构单元l、b及t中的至少1个中含有式(i)所示的结构部位即可，其导入位置并无特别限定。优选的实施方式中，从提高固化性的观点出发，式(i)所示的结构部位优选存在于构成电荷传输性聚合物的至少1个末端部的构成单元t中。式(i)所示的结构部位从构成电荷传输性聚合物的单体化合物的合成容易的观点出发，优选存在于构成末端部的结构单元t中。以下，对电荷传输性聚合物的结构单元更为具体地进行说明。(结构单元l)结构单元l是具有电荷传输性的2价结构单元。结构单元l只要是具有传输电荷的能力的原子团即可，并无特别限定。例如，结构单元l可选自取代或未取代的、芳香族胺结构、咔唑结构、噻吩结构、芴结构、苯结构、联苯结构、三苯结构、萘结构、蒽结构、丁省结构、菲结构、二氢菲结构、吡啶结构、吡嗪结构、喹啉结构、异喹啉结构、喹喔啉结构、吖啶结构、二氮杂菲结构、呋喃结构、吡咯结构、噁唑结构、噁二唑结构、噻唑结构、噻二唑结构、三唑结构、苯并噻吩结构、苯并噁唑结构、苯并噁二唑结构、苯并噻唑结构、苯并噻二唑结构、苯并三唑结构、及含有它们中的1种或2种以上的结构。芳香族胺结构优选为三芳基胺结构、更优选为三苯基胺结构。一个实施方式中，结构单元l从获得优异的空穴传输性的观点出发，优选选自取代或未取代的、芳香族胺结构、咔唑结构、噻吩结构、芴结构、苯结构、吡咯结构及含有它们中的1种或2种以上的结构，更优选选自取代或未取代的、芳香族胺结构、咔唑结构及含有它们中的1种或2种以上的结构。另一实施方式中，结构单元l从获得优异的电子传输性的观点出发，优选选自取代或未取代的、芴结构、苯结构、菲结构、吡啶结构、喹啉结构及含有它们中的1种或2种以上的结构。作为结构单元l的具体例，可举出以下例子。结构单元l并非限定于以下例子。[化学式编号6][化学式编号7]r各自独立地表示氢原子或取代基。优选r各自独立地选自-r1、-or2、-sr3、-ocor4、-coor5、-sir6r7r8、卤素原子、及含有后述聚合性官能团的基团。r1～r8各自独立地表示氢原子；碳数为1～22个的直链、环状或支链烷基；或者碳数为6～30的芳基或碳数为2～30的杂芳基。芳基为从芳香族烃中除去了1个氢原子后的原子团。杂芳基为从芳香族杂环中除去了1个氢原子后的原子团。烷基还可以进一步被碳数为2～20个的芳基或杂芳基取代，芳基或杂芳基还可以进一步被碳数为1～22个的直链、环状或支链烷基取代。一个实施方式中，r优选各自独立地为氢原子或者选自烷基、芳基、或烷基取代芳基及卤素原子中的取代基。卤素原子可以是氯原子、氟原子、溴原子等，优选氟原子。ar表示碳数为6～30的亚芳基或碳数为2～30的亚杂芳基。亚芳基为从芳香族烃中除去了2个氢原子后的原子团。亚杂芳基为从芳香族杂环中除去了2个氢原子后的原子团。ar优选为亚芳基、更优选为亚苯基。作为芳香族烃，可举出单环、稠合环、或选自单环及稠合环中的2个以上通过单键键合的而成多环。作为芳香族杂环，可举出单环、稠合环、或选自单环及稠合环中的2个以上通过单键键合而成的多环。一个实施方式中，结构单元l优选含有下式所示的结构单元l1。[化学式编号7a]式中，r与之前说明过的r相同。该实施方式中，r优选是碳数为1～22的直链的烷基、或卤素原子。上述直链的烷基更优选碳数为2～16、进一步优选碳数为3～12、特别优选碳数为4～8。上述卤素原子可以是氯原子、氟原子、或溴原子，优选氟原子。结构单元l1中，由于具有易于抑制成膜时的有机薄膜的性能降低的倾向，因此更优选r为氟原子的结构。(结构单元b)结构单元b在电荷传输性聚合物具有分支结构时是构成分支部的3价以上的结构单元。结构单元b从提高有机电子元件的耐久性的观点出发，优选为6价以下、更优选为3价或4价。结构单元b优选为具有电荷传输性的单元。例如，结构单元b从提高有机电子元件的耐久性的观点出发，可选自取代或未取代的、芳香族胺结构、咔唑结构、稠合多环式芳香族烃结构及含有这些中的1种或2种以上的结构。作为结构单元b的具体例，可举出以下例子。结构单元b并非限定于以下例子。[化学式编号8]w表示3价的连接基团，例如表示碳数为6～30的芳三基或碳数为2～30的杂芳三基。芳三基是从芳香族烃中除去3个氢原子之后的原子团。杂芳三基是从芳香族杂环中除去3个氢原子之后的原子团。ar各自独立地表示2价连接基团，例如各自独立地表示碳数为6～30的亚芳基或碳数为2～30的亚杂芳基。ar优选为亚芳基、更优选为亚苯基。y表示2价连接基团，例如可举出从结构单元l的r(但含有聚合性官能团的基团除外)中具有1个以上氢原子的基团中进一步除去1个氢原子之后的2价基团。z表示碳原子、硅原子或磷原子中的任一种。结构单元中，苯环及ar还可以具有取代基，作为取代基的例子，可举出之前说明过的结构单元l中的r。一个实施方式中，结构单元b优选含有下式所示的结构单元b1。[化学式编号8a](结构单元t)结构单元t是构成电荷传输性聚合物的末端部的1价结构单元。从提高固化性的观点出发，电荷传输性聚合物优选在末端部具有聚合性官能团。因此，结构单元t优选具有含有聚合物性官能团的结构。以下将含有聚合性官能团的结构单元t称作结构单元t1。一个实施方式中，结构单元t1具有下式所示的结构。-ar-(l)a-z式中，ar为亚芳基或亚杂芳基、l为连接基团、a为0或1、z表示取代或未取代的聚合性官能团。上式中，连接基团l为2价有机基团，并无特别限定。另一实施方式中，结构单元t1例如可以是吡咯基等其自身成为聚合性官能团的结构。一个实施方式中，结构单元t1优选具有下式(i)所示的结构。-ar-x-y-z(i)式中，ar为亚芳基或亚杂芳基、x为连接基团、y表示碳数为1～10的脂肪族烃基、z表示取代或未取代的聚合性官能团。各式中，ar、x、y、z如之前对式(i)所示结构部位的说明所述。通过使用含有上述结构单元t1的电荷传输性聚合物，在利用湿式工艺进行成膜时易于获得优异的固化性。另外，通过上述实施方式的制造方法，更加易于获得具有优异性能的有机薄膜。结构单元t1优选是之前示出的式(i-1)或(i-2)表示的有机基团。结构单元t1更优选是之前示出的式(i-3)表示的有机基团。一个实施方式中，上述结构单元t1还可以含有式(i)所示的具有聚合性官能团z的结构单元和除其以外的具有聚合性官能团的结构单元。但是，从易于有效地抑制成膜时的有机薄膜的性能降低的观点出发，以上述结构单元t1的总量为基准计，式(i)所示的结构单元的比例优选为50摩尔％以上、更优选为75摩尔％以上、进一步优选为85摩尔％以上。上述结构单元的比例最优选为100摩尔％。一个实施方式中，电荷传输性聚合物除了上述结构单元t1之外，还可含有没有聚合性官能团的1价结构单元(以下称作结构单元t2)。电荷传输性聚合物具有结构单元t1和结构单元t2时，通过上述实施方式的制造方法获得具有优异性能的有机薄膜变得更为容易。结构单元t2可以是结构内没有聚合性官能团的任意的1价有机基团，还可以是与之前说明过的结构单元l及结构单元b除了价数之外具有相同结构的1价有机基团。一个实施方式中，结构单元t2从在不降低电荷传输性的情况下赋予耐久性的观点出发，优选为取代或未取代的芳香族烃结构、更优选为取代或未取代的苯结构。作为结构单元t2的具体例子，可举出以下例子。[化学式编号9]式中，r表示氢原子或取代基。对于取代基，可以与在结构单元l中说明过的r相同(但聚合性官能团除外)。*表示与其它结构单元的键合部位。一个实施方式中，r优选是碳数为1～22的直链、环状或支链的烷基。烷基的碳数更优选为2～16、进一步优选为3～12、特别优选为4～8。另一实施方式中，上述烷基的氢原子的一部分还可以被氯原子、氟原子、溴原子等卤素原子取代。虽无特别限定，但作为优选的结构单元t2的一个实施方式，可举出式(ii)中r的1个为烷基、其它r为氢原子的结构。其中，优选是从与其它结构单元的键合部位观察、在对位具有烷基的结构，更优选烷基具有直链结构。上述烷基的碳数优选碳数为2～16、更优选碳数为3～12、进一步优选碳数为4～8。作为结构单元t2的另一实施方式，可举出式(ii)中r的2个为烷基、其它r为氢原子的结构。其中，优选是从与其它结构单元的键合部位观察、在间位分别具有烷基的结构。这种结构中，烷基的氢原子的一部分或全部可以被氯原子、氟原子、溴原子等卤素原子取代。作为被卤素原子取代了的烷基的一例，可举出-cf3、-ch(cf3)2及-cf(cf3)2等，其中优选-cf3。一个实施方式中，从提高电荷传输性聚合物的固化性的观点出发，以全部结构单元t为基准计，结构单元t1的比例优选为50摩尔％以上、更优选为75摩尔％以上、进一步优选为85摩尔％以上。上述结构单元t1的比例还可以是100摩尔％。上述结构单元t1的比例在电荷传输性聚合物含有式(i)所示的结构单元和除其以外的具有聚合性官能团的结构单元时，是指这些结构单元的合计量。一个实施方式中，在结构单元t1的基础上还使用结构单元t2时，结构单元t2的比例以全部结构单元t(t1+t2)为基准计，优选为75摩尔％以下、更优选为50摩尔％以下、进一步优选为25％以下。另一方面，结构单元t1的比例优选为25摩尔％以上、更优选为50摩尔％、进一步优选为75摩尔％以上。通过将结构单元t1及t2的比例调整至上述范围内，更易于在不降低固化性的情况下获得具有优异性能的有机薄膜。一个实施方式中，电荷传输性聚合物在分子内具有至少1个聚合性官能团，上述聚合性官能团中的至少1个为式(i)所示结构部位中所含的聚合性官能团z。聚合性官能团可以被导入至电荷传输性聚合物的末端部(即结构单元t)，还可以被导入至除末端部以外的部分(即结构单元l或b)，还可以被导入至末端部和除末端以外的部分这两者中。从固化性的观点出发，优选至少导入至末端部，从谋求兼顾固化性及电荷传输性的观点出发，优选仅被导入至末端部。另外，当电荷传输性聚合物具有分支结构时，聚合性官能团可以被导入至电荷传输性聚合物的主链、还可以被导入至侧链、还可以被导入至主链和侧链这两者中。聚合性官能团从有助于固化性的观点出发，优选较多地含有在电荷传输性聚合物中。另一方面，从不妨碍电荷传输性的观点出发，优选电荷传输性聚合物中所含的量较少。聚合性官能团的含量可以考虑这些情况适当设定。例如，电荷传输性聚合物每1分子的聚合性官能团的数量从获得优异固化性的观点出发，优选为2个以上、更优选为3个以上。另外，聚合性官能团数从确保电荷传输性的观点出发，优选为1,000个以下、更优选为500个以下。这里，聚合性官能团的数量是指式(i)所示的结构部位中所含的聚合性官能团z与其它结构部位中所含的聚合性官能团的合计量。电荷传输性聚合物每1分子的聚合性官能团的数量可以使用为了合成电荷传输性聚合物所使用的、具有聚合性官能团的单体投入量与对应于各结构单元的单体的投入量的合计量的比例、电荷传输性聚合物的重均分子量等，作为平均值求得。另外，聚合性官能团的数量可以利用电荷传输性聚合物的1hnmr(核磁共振)光谱中的聚合性官能团来源的信号的积分值与全部光谱的积分值之比、电荷传输性聚合物的重均分子量等，作为平均值求出。由于很简便，因此当投入量明确时，优选采用使用投入量求得的值。(数均分子量)电荷传输性聚合物的数均分子量可以考虑到在溶剂中的溶解性、成膜性等适当地调整。数均分子量从电荷传输性优异的观点出发，优选为500以上、更优选为1,000以上、进一步优选为2,000以上。另外，数均分子量从保持在溶剂中的良好溶解性、使油墨组合物的制备变得容易的观点出发，优选为1,000,000以下、更优选为100,000以下、进一步优选为50,000以下。一个实施方式中，电荷传输性聚合物的数均分子量优选为5,000～40,000、更优选为8,000～30,000、进一步优选为10,000～20,000。(重均分子量)电荷传输性聚合物的重均分子量可以考虑到在溶剂中的溶解性、成膜性等适当地调整。重均分子量从电荷传输性优异的观点出发，优选为1,000以上、更优选为5,000以上、进一步优选为10,000以上。另外，重均分子量从保持在溶剂中的良好溶解性、使油墨组合物的制备变得容易的观点出发，优选为1,000,000以下、更优选为700,000以下、进一步优选为400,000以下。一个实施方式中，电荷传输性聚合物的重均分子量优选为20,000～200,000、更优选为30,000～150,000、进一步优选为40,000～100,000。数均分子量及重均分子量可以通过凝胶渗透色谱法(gpc)、使用标准聚苯乙烯的标准曲线，在下述条件下进行测定。送液泵：l-6050株式会社hitachihigh-technologiesuv-vis检测器：l-3000株式会社hitachihigh-technologies色谱柱：gelpack(注册商标)gl-a160s/gl-a150s日立化成株式会社洗脱液：thf(hplc用、不含稳定剂)和光纯药工业株式会社流速：1ml/min色谱柱温度：室温分子量标准物质：标准聚苯乙烯(结构单元的比例)电荷传输性聚合物中所含的结构单元l的比例从获得充分的电荷传输性的观点出发，以全部结构单元为基准计，优选为10摩尔％以上、更优选为20摩尔％以上、进一步优选为30摩尔％以上。另外，结构单元l的比例考虑到结构单元t及根据需要导入的结构单元b时，优选为95摩尔％以下、更优选为90摩尔％以下、进一步优选为85摩尔％以下。电荷传输性聚合物中所含的结构单元t的比例从提高有机电子元件的特性的观点或者抑制粘度上升、良好地进行电荷传输性聚合物的合成的观点出发，以全部结构单元为基准计，优选为5摩尔％以上、更优选为10摩尔％以上、进一步优选为15摩尔％以上。另外，结构单元t的比例从获得充分的电荷传输性的观点出发，优选为60摩尔％以下、更优选为55摩尔％以下、进一步优选为50摩尔％以下。一个实施方式中，结构单元t的比例是指具有式(i)所示结构部位的结构单元t1的比例。另一实施方式中，结构单元t的比例是指上述结构单元t1与除其之外的结构单元t2的合计量。电荷传输性聚合物含有结构单元b时，结构单元b的比例从提高有机电子元件的耐久性的观点出发，以全部结构单元为基准计，优选为1摩尔％以上、更优选为5摩尔％以上、进一步优选为10摩尔％以上。另外，结构单元b的比例从抑制粘度提高、良好地进行电荷传输性聚合物的合成的观点或者获得充分的电荷传输性的观点出发，优选为50摩尔％以下、更优选为40摩尔％以下、进一步优选为30摩尔％以下。电荷传输性聚合物中聚合性官能团的比例从效率良好地使电荷传输性聚合物固化的观点出发，以全部结构单元为基准计，优选为0.1摩尔％以上、更优选为1摩尔％以上、进一步优选为3摩尔％以上。另外，聚合性官能团的比例从获得良好的电荷传输性的观点出发，优选为70摩尔％以下、更优选为60摩尔％以下、进一步优选为50摩尔％以下。此外，这里的“聚合性官能团的比例”是指具有聚合性官能团的结构单元的比例。电荷传输性聚合物在具有式(i)的结构部位所含的聚合性官能团z和在除其以外的结构部位上的聚合性官能团时，是指它们的合计量。考虑到电荷传输性、耐久性、生产率等的平衡时，结构单元l及结构单元t的比例(摩尔比)优选为l：t＝100：1～70、更优选为100：3～50、进一步优选为100：5～30。另外，电荷传输性聚合物含有结构单元b时，结构单元l、结构单元t及结构单元b的比例(摩尔比)优选为l：t：b＝100：10～200：10～100、更优选为100：20～180：20～90、进一步优选为100：40～160：30～80。结构单元的比例可以使用为了合成电荷传输性聚合物所使用的、对应于各结构单元的单体的投入量来求得。另外，结构单元的比例可以利用电荷传输性聚合物的1hnmr光谱中的各结构单元来源的光谱积分值、作为平均值求出。由于很简便，当投入量清楚时，优选采用使用投入量求得的值。电荷传输性聚合物为空穴传输性材料时，从获得高的空穴注入性及空穴传输性的观点出发，优选含有具有芳香族胺结构的单元及/或具有咔唑结构的单元作为主要结构单元的化合物。由此观点出发，具有芳香族胺结构的单元及/或具有咔唑结构的单元的总数与高分子化合物中的全部结构单元数(但末端的结构单元除外)的比例优选为40％以上、更优选为45％以上、进一步优选为50％以上。也可以使具有芳香族胺结构的单元及/或具有咔唑结构的单元的总数的比例为100％。一个实施方式中，电荷传输性聚合物优选含有由三苯基胺衍生的2价及/或3价的结构单元作为芳香族胺结构。上述三苯基胺结构中，苯环也可具有取代基。一个实施方式中，电荷传输性聚合物优选含有由具有烷基或卤素原子的三苯基胺结构衍生的结构单元。一个实施方式中，电荷传输性聚合物优选含有以下所示的结构。式中，r为烷基或卤素原子，详细情况如之前的说明所述。另外，-ar-x-y-z如作为式(i)所示结构部位之前说明的所述。[化学式编号9a]一个实施方式中，电荷传输性聚合物优选含有之前记载的结构单元l1和结构单元b1。式中，r如之前结构单元l1中说明的所述。该实施方式的电荷传输性聚合物具有在成膜时难以引起因加热工艺导致的有机薄膜的性能降低的倾向。因此，上述实施方式的制造方法中，可以优选地使用上述实施方式的电荷传输性聚合物，通过它们的组合，能够容易地提供具有更优异性能的有机薄膜。该实施方式的电荷传输性聚合物例如优选含有以下所示的结构。式中，r如之前结构单元l1中说明过的所述。[化学式编号9b]一个实施方式中，电荷传输性聚合物更优选含有下式所示的结构单元l1-1和b1。[化学式编号9c]另外，上述电荷传输性聚合物优选含有上述结构单元l1-1及结构单元b1、以及下式所示的结构单元t1-1。[化学式编号9d]上述实施方式的电荷传输性聚合物更优选进一步含有下式所示的结构单元t2-1或t2-2中的任一者。式中，r如之前说明的所述。[化学式编号9e](电荷传输性聚合物的制造方法)电荷传输性聚合物可以利用各种合成方法进行制造，并无特别限定。例如可以使用铃木偶联反应、根岸偶联反应、sonogashira偶联反应、stille偶联反应、buchwald-hartwig偶联反应等公知的偶联反应。铃木偶联反应是在芳香族硼酸衍生物和芳香族卤化物之间引起使用了pd催化剂的交叉偶联反应的反应。利用铃木偶联反应，通过使所期望的芳香环之间键合，可以简便地制造电荷传输性聚合物。偶联反应中，作为催化剂使用例如pd(0)化合物、pd(ii)化合物、ni化合物等。另外，还可以使用以三(二芐叉丙酮)二钯(0)、乙酸钯(ii)等为前体、通过与膦配位基混合而产生的催化剂种。电荷传输性聚合物的合成方法例如可以参照国际公开第wo2010/140553号的记载。[掺杂剂]有机电子材料可以进一步含有掺杂剂。掺杂剂只要是通过添加在有机电子材料中表现出掺杂效果、可提高电荷传输性的化合物即可，并无特别限定。掺杂有p型掺杂和n型掺杂，p型掺杂中作为掺杂剂使用作为电子受体发挥作用的物质，n型掺杂中作为掺杂剂使用作为电子供体发挥作用的物质。为了提高空穴传输性，优选进行p型掺杂，为了提高电子传输性，优选进行n型掺杂。有机电子材料中使用的掺杂剂可以是表现p型掺杂或n型掺杂中的任一种效果的掺杂剂。另外，可以单独添加1种掺杂剂，还可以混合添加多种掺杂剂。p型掺杂中使用的掺杂剂是受电子性的化合物，例如可举出路易斯酸、质子酸、过渡金属化合物、离子化合物、卤素化合物、π共轭系化合物等。具体地说，作为路易斯酸可举出fecl3、pf5、asf5、sbf5、bf5、bcl3、bbr3等；作为质子酸，可举出hf、hcl、hbr、hno3、h2so4、hclo4等无机酸、苯磺酸、对甲苯磺酸、十二烷基苯磺酸、聚乙烯基磺酸、甲磺酸、三氟甲磺酸、三氟乙酸、1-丁磺酸、乙烯基苯基磺酸、樟脑磺酸等有机酸；作为过渡金属化合物可举出feocl、ticl4、zrcl4、hfcl4、nbf5、alcl3、nbcl5、tacl5、mof5；作为离子化合物可举出四(五氟苯基)硼酸离子、三(三氟甲烷磺酰基)甲基化物离子、双(三氟甲烷磺酰基)酰亚胺离子、六氟锑酸离子、asf6-(六氟砷酸离子)、bf4-(四氟硼酸离子)、pf6-(六氟磷酸离子)等具有全氟阴离子的盐，作为阴离子具有上述质子酸的共轭碱的盐等；作为卤素化合物可举出cl2、br2、i2、icl、icl3、ibr、if等；作为π共轭系化合物可举出tcne(四氰基乙烯)、tcnq(四氰基醌二甲烷)等。另外，还可以使用日本特开2000-36390号公报、日本特开2005-75948号公报、日本特开2003-213002号公报等记载的受电子性化合物。优选路易斯酸、离子化合物、π共轭系化合物等，更优选离子化合物。离子化合物中优选鎓盐。鎓盐是指具有包含碘鎓和铵等鎓离子的阳离子部和阴离子部的化合物。n型掺杂中使用的掺杂剂是供电子性的化合物，例如可举出li、cs等碱金属；mg、ca等碱土类金属；lif、cs2co3等碱金属及/或碱土类金属的盐；金属络合物；供电子性有机化合物等。为了提高有机薄膜的固化性，作为掺杂剂，优选使用可作为针对聚合性官能团的聚合引发剂发挥作用的化合物。作为兼具作为掺杂剂的功能和作为聚合引发剂的功能的物质，可举出上述离子化合物。[其它的任意成分]有机电子材料还可以进一步含有电荷传输性低分子化合物及其它电荷传输性聚合物等。[含量]电荷传输性聚合物的含量从获得良好的电荷传输性的观点出发，相对于有机电子材料的总质量，优选为50质量％以上、更优选为70质量％以上、进一步优选为80质量％以上。还可以为100质量％。含有掺杂剂时，其含量从提高有机电子材料的电荷传输性的观点出发，相对于有机电子材料的总质量，优选为0.01质量％以上、更优选为0.1质量％以上、进一步优选为0.5质量％以上。另外，从良好地保持成膜性的观点出发，相对于有机电子材料的总质量，优选为50质量％以下、更优选为30质量％以下、进一步优选为20质量％以下。[聚合引发剂]有机电子材料优选含有聚合引发剂。作为聚合引发剂，可以使用公知的自由基聚合引发剂、阳离子聚合引发剂、阴离子聚合引发剂等。从能够简便地制备油墨组合物的观点出发，优选使用兼具作为掺杂剂的功能和作为聚合引发剂的功能的物质。作为还具备作为掺杂剂的功能的聚合引发剂，例如可举出上述离子化合物。离子化合物中，优选鎓盐。鎓盐是指具有包含碘鎓及铵等鎓离子的阳离子部和阴离子部的化合物。例如可举出具有全氟阴离子部的化合物，作为具体例子，可举出以下的化合物。[化学式编号10]＜油墨组合物＞有机电子材料可以是在上述实施方式的有机电子材料中进一步含有能够将该材料溶解或分散的溶剂的油墨组合物。通过构成这样的油墨组合物进行使用，可以利用涂布法这一简便的方法容易地形成有机薄膜。[溶剂]作为溶剂，可以使用水、有机溶剂、或它们的混合溶剂。作为有机溶剂，可举出甲醇、乙醇、异丙醇等醇；戊烷、己烷、辛烷等链烷烃；环己烷等环状链烷烃；苯、甲苯、二甲苯、均三甲苯、四氢化萘、二苯基甲烷等芳香族烃；乙二醇二甲基醚、乙二醇二乙基醚、丙二醇-1-单甲基醚醋酸酯等脂肪族醚；1,2-二甲氧基苯、1,3-二甲氧基苯、苯甲醚、苯乙醚、2-甲氧基甲苯、3-甲氧基甲苯、4-甲氧基甲苯、2,3-二甲基苯甲醚、2,4-二甲基苯甲醚等芳香族醚；乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乳酸乙酯、乳酸正丁酯等脂肪族酯；乙酸苯基酯、丙酸苯基酯、苯甲酸甲酯、苯甲酸乙酯、苯甲酸丙酯、苯甲酸正丁酯等芳香族酯；n,n-二甲基甲酰胺、n,n-二甲基乙酰胺等酰胺系溶剂；二甲基亚砜、四氢呋喃、丙酮、氯仿、二氯甲烷等。优选芳香族烃、脂肪族酯、芳香族酯、脂肪族醚、芳香族醚等。[添加剂]油墨组合物还可以进一步含有添加剂作为任意成分。作为添加剂，例如可举出阻聚剂、稳定剂、增粘剂、凝胶化剂、阻燃剂、抗氧化剂、抗还原剂、氧化剂、还原剂、表面改性剂、乳化剂、消泡剂、分散剂、表面活性剂等。[含量]油墨组合物中溶剂的含量可以考虑在各种涂布方法中的应用来决定。例如，溶剂的含量优选是相对于溶剂、电荷传输性聚合物的比例达到0.1质量％以上的量，更优选是达到0.2质量％以上的量，进一步优选是达到0.5质量％以上的量。另外，溶剂的含量优选是相对于溶剂、电荷传输性聚合物的比例达到20质量％以下的量，更优选是达到15质量％以下的量，进一步优选是达到10质量％以下的量。＜有机薄膜＞本公开一个实施方式的有机薄膜涉及通过上述实施方式的制造方法制得的有机薄膜。即，有机薄膜通过在不活泼性气体环境下实施涂布膜形成后的加热来获得，成膜时的有机薄膜的特性劣化少、可以维持原本的特性。因此，通过使用这种有机薄膜来构成有机电子元件，可获得优异的元件特性。干燥后或固化后的有机薄膜的厚度从提高电荷传输的效率的观点出发，优选为0.1nm以上、更优选为1nm以上、进一步优选为3nm以上。另外，有机薄膜的厚度从减小电阻的观点出发，优选为300nm以下、更优选为200nm以下、进一步优选为100nm以下。利用湿式工艺进行的有机薄膜的形成通常从成本的观点出发，在大气下实施。特别是，在有机el元件的制造中形成有机薄膜作为空穴注入层或空穴传输层时，从氧掺杂的观点出发，认为优选在大气下形成有机薄膜。但是，本发明人们进行的研究中获知了，在形成有机薄膜作为空穴注入层或空穴传输层时，通过在不活泼性气体环境下实施涂布膜的加热，能够实现有机薄膜的性能提高。虽然并不是用理论进行限制，但认为其原因在于，通过在不活泼性气体环境下实施涂布膜的加热，可减少因加热工艺的环境气体导致的影响，从而抑制有机薄膜的热劣化或表面氧化，易于维持原本的性能。虽无特别限定，但上述实施方式的有机薄膜优选作为相邻于阳极的空穴注入层或空穴传输层来形成。＜层叠体＞本公开一个实施方式的层叠体具有由含有电荷传输性化合物的有机电子材料形成的有机薄膜和设置在上述有机薄膜上的上层。对于上述层叠体，由从上述上层侧照射气体团簇离子束、并利用飞行时间二次离子质谱仪测得的深度方向的氧离子强度求出的包含上述有机薄膜与上述上层的界面在内的深度方向上的氧原子分布的偏差优选为1.0％～8.0％。上述深度方向上的氧原子分布的偏差为8.0％以下时，认为抑制了有机薄膜的表面氧化，有机el元件中易于获得优异的元件特性。上述氧原子分布的偏差更具体地说可如下求出。(1)从上述层叠体的上层侧照射气体团簇离子束，利用飞行时间二次离子质谱仪测定深度方向的氧离子强度。(2)使用通过测定获得的曲线图，分别计算包含有机薄膜与上层的界面在内的例如深度方向(膜厚方向)10～40nm的一定范围内的深度方向上的氧离子强度的平均值a及标准偏差b。接着，由平均值a及标准偏差b获得氧原子分布的偏差(b/a)的比例(％)。如上求得的深度方向上的氧原子分布的偏差(％)越小，则有机薄膜的表面氧化越少，越抑制了有机薄膜的成膜时的性能降低。因此，一个实施方式中，上述深度方向上的氧原子分布的偏差更优选为7.0％以下、进一步优选为5.0％以下、更进一步优选为4.0％以下。最优选实质上没有氧原子分布的偏差。一个实施方式中，上述层叠体的有机薄膜可以是由之前说明的有机电子材料形成的有机薄膜。其中，优选是由含有具有结构单元t1的电荷传输性化合物的有机电子材料形成的有机薄膜。更优选是由含有具有结构单元t1和结构单元t2的电荷传输性化合物的有机电子材料形成的有机薄膜。上述有机薄膜可以是利用任意的成膜方法制造而成，但按照上述实施方式的有机薄膜的制造方法形成时，易于获得上述深度方向上的氧原子分布的偏差为上述范围内的层叠体。上述层叠体中，上层可以是由任意材料形成的薄膜。优选是由有机电子材料形成的薄膜。一个实施方式中，上述层叠体的上层可以是由之前说明的有机电子材料形成的有机薄膜。其中，上层优选是由不同于构成下层的有机薄膜的材料的、含有具有结构单元t1的电荷传输性化合物的有机电子材料形成的有机薄膜。上层的有机薄膜更优选是由含有具有结构单元t1和结构单元t2的电荷传输性化合物的有机电子材料形成的有机薄膜。另一实施方式中，上层还可以是由含有没有结构单元t1(没有聚合性官能团)的电荷传输性化合物的有机电子材料形成的有机薄膜。上层可以是利用任意的成膜方法制造而成，但按照上述实施方式的有机薄膜的制造方法形成时，易于获得上述深度方向上的氧原子分布的偏差为上述范围内的层叠体。一个实施方式中，上述层叠体优选为具有第一有机薄膜和第二有机薄膜的层叠体，更优选是具有空穴注入层和空穴传输层的层叠体。使用这种层叠体构成有机电子元件时，易于获得所希望的优异的元件特性。＜有机电子元件＞本公开一个实施方式的有机电子元件至少具有上述实施方式的有机薄膜或层叠体。作为有机电子元件，例如可举出有机el元件、有机光电转换元件、有机晶体管等。有机电子元件优选具有在阳极及阴极构成的至少1对电极之间配置有有机薄膜的结构。[有机el元件]上述实施方式的有机el元件至少具有上述实施方式的有机薄膜。有机el元件通常具备发光层、阳极、阴极及基板，根据需要具备空穴注入层、电子注入层、空穴传输层、电子传输层等其它功能层。各层可以利用蒸镀法形成，也可以利用涂布法形成。有机el元件优选具有有机薄膜作为发光层或其它功能层、更优选具有有机薄膜作为功能层、进一步优选具有有机薄膜作为空穴注入层及空穴传输层中的至少一者。图1为表示有机el元件的一个实施方式的截面示意图。图1的有机el元件是多层结构的元件，依次具有基板8、阳极2、由上述实施方式的有机薄膜形成的空穴注入层3及空穴传输层6、发光层1、电子传输层7、电子注入层5以及阴极4。图1中，例如空穴注入层3及空穴传输层6是通过上述实施方式的制造方法形成的有机薄膜。但是，本公开的实施方式的有机el元件不限于这种结构，还可以是其它层通过上述实施方式的制造方法形成的有机薄膜。以下对各层进行说明。[发光层]作为发光层中使用的材料，可以使用低分子化合物、聚合物、树状大分子等发光材料。聚合物由于在溶剂中的溶解性高、适于涂布法，因此优选。作为发光材料，可举出荧光材料、磷光材料、热活化延迟荧光材料(tadf)等。作为荧光材料，可举出二萘嵌苯、香豆素、红荧烯、喹吖酮、茋、染料激光用色素、铝络合物、它们的衍生物等低分子化合物；聚芴、聚苯撑、聚苯撑乙烯撑、聚乙烯基咔唑、芴-苯并噻二唑共聚物、芴-三苯基胺共聚物、它们的衍生物等聚合物；它们的混合物等。作为磷光材料，可以使用含有ir、pt等金属的金属络合物等。作为ir络合物，例如可举出进行蓝色发光的fir(pic)(双[(4,6-二氟苯基)-吡啶-n,c2]吡啶甲酸)合铱(iii))、进行绿色发光的ir(ppy)3(三(2-苯基吡啶)合铱)、进行红色发光的(btp)2ir(acac)(双〔2-(2’-苯并[4,5-α]噻吩基)吡啶-n,c3〕(乙酰丙酮)铱)、ir(piq)3(三(1-苯基异喹啉)铱)等。作为pt络合物，例如可举出进行红色发光的ptoep(2,3,7,8,12,13,17,18-八乙基-21h,23h-卟啉铂)等。发光层含有磷光材料时，除了磷光材料之外，优选进一步含有主体材料。作为主体材料，可以使用低分子化合物、聚合物或树状大分子。作为低分子化合物，例如可举出cbp(4,4’-双(9h-咔唑-9-基)联苯)、mcp(1,3-双(9-咔唑基)苯)、cdbp(4,4’-双(咔唑-9-基)-2,2’-二甲基联苯)、它们的衍生物等，作为聚合物，可举出上述实施方式的有机电子材料、聚乙烯基咔唑、聚苯撑、聚芴、它们的衍生物等。作为热活化延迟荧光材料，例如可举出adv.mater.,21,4802-4906(2009)；appl.phys.lett.,98,083302(2011)；chem.comm.,48,9580(2012)；appl.phys.lett.,101,093306(2012)；j.am.chem.soc.,134,14706(2012)；chem.comm.,48,11392(2012)；nature,492,234(2012)；adv.mater.,25,3319(2013)；j.phys.chem.a,117,5607(2013)；phys.chem.chem.phys.,15,15850(2013)；chem.comm.,49,10385(2013)；chem.lett.,43,319(2014)等中所记载的化合物。[空穴注入层、空穴传输层]图1中，空穴注入层3及空穴传输层6中的至少一者可以是通过上述实施方式的制造方法形成的有机薄膜。有机el元件并不限定于这种结构，也可以其它功能层是通过上述实施方式的制造方法形成的有机薄膜。一个实施方式中，优选将上述有机薄膜作为空穴传输层及空穴注入层中的至少一者进行使用，更优选至少作为空穴注入层进行使用。将上述有机薄膜作为空穴注入层及空穴传输层进行使用时，作为成膜时使用的有机电子材料，例如可举出芳香族胺系化合物(例如n,n’-二(萘-1-基)-n,n’-二苯基-联苯胺(α-npd)等芳香族二胺)、酞菁系化合物、噻吩系化合物(例如噻吩系导电性聚合物(例如聚(3,4-乙撑二氧噻吩)：聚(4-苯乙烯磺酸盐)(pedot：pss)等)等。有机电子材料的优选实施方式如之前说明的所述。[电子传输层、电子注入层]作为电子传输层及电子注入层中使用的材料，例如可举出菲咯啉衍生物、联吡啶衍生物、硝基取代芴衍生物、二苯基醌衍生物、噻喃二氧化物衍生物、萘、二萘嵌苯等稠合环四羧酸酐、碳二酰亚胺、芴叉甲烷衍生物、蒽醌二甲烷及蒽酮衍生物、噁二唑衍生物、噻二唑衍生物、苯并咪唑衍生物(例如2,2’,2”-(1,3,5-苯三基)三(1-苯基-1h-苯并咪唑)(tpbi))、喹喔啉衍生物、铝络合物(例如双(2-甲基-8-羟基喹啉)-4-(苯基苯酚)铝(balq)、三(8-羟基喹啉)铝(alq3))等。另外，还可以使用之前说明的有机电子材料。[阴极]作为阴极材料，例如可使用li、ca、mg、al、in、cs、ba、mg/ag、lif、csf等金属或金属合金。[阳极]作为阳极材料，例如可使用金属(例如au)或具有导电性的其它材料。作为其它材料，例如可举出氧化物(例如ito：氧化铟/氧化锡)、导电性高分子(例如聚噻吩-聚苯乙烯磺酸混合物(pedot：pss))等。[基板]作为基板，可以使用玻璃、塑料等。基板优选是透明的，并且优选具有柔性。优选使用石英玻璃、透光性的树脂膜等。作为树脂膜，例如可举出由聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚醚砜、聚醚酰亚胺、聚醚醚酮、聚苯硫醚、聚芳酯、聚酰亚胺、聚碳酸酯、三醋酸纤维素、醋酸丙酸纤维素等形成的膜。使用树脂膜时，为了抑制水蒸汽、氧等的透过，还可以在树脂膜上涂覆氧化硅、氮化硅等无机物后进行使用。[发光色]有机el元件的发光色并无特别限定。白色的有机el元件由于能够用于家庭用照明、车内照明、手表或液晶背光灯等各种照明器具中，因此优选。作为形成白色有机el元件的方法，可以采用使用多个发光材料、使多个发光色同时发光而将其混色的方法。作为多个发光色的组合并无特别限定，可举出含有蓝色、绿色及红色的3个发光最大波长的组合，含有蓝色和黄色、黄绿色和橙色等2个发光最大波长的组合等。发光色的控制可以通过发光材料的种类和量的调整来进行。一个实施方式中，有机el元件的制造方法具有在阳极与阴极之间、按照上述实施方式的有机薄膜的制造方法形成有机薄膜的工序。虽无特别限定，但优选有机薄膜作为空穴注入层或空穴传输层形成。从这种观点出发，一个实施方式中，优选有机el元件依次具有相邻于阳极的有机薄膜和发光层。上述实施方式的有机电致发光元件的制造方法具有以下工序：在阳极上，通过上述实施方式的有机薄膜的制造方法形成有机薄膜的工序；形成发光层的工序；以及形成阴极的工序。上述实施方式中，形成发光层及阴极的工序可以应用本
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中使用的通常的成膜方法进行实施。例如，可以是涂布法及蒸镀法中的任一种，从能够使用的材料特性的观点出发，优选应用蒸镀法。另一实施方式中，可以反复进行形成上述有机薄膜的工序来形成多层的有机薄膜。＜显示元件、照明装置、显示装置＞一个实施方式中，显示元件具备上述实施方式的有机el元件。通过使用有机el元件作为例如与红、绿及蓝(rgb)各像素相对应的元件，可获得彩色的显示元件。图像的形成方法中，有利用配置成矩阵状的电极对排列在面板上的各个有机el元件进行直接驱动的单纯矩阵型；和在各元件中配置薄膜晶体管进行驱动的有源矩阵型。另外，一个实施方式中，照明装置具备上述实施方式的有机el元件。进而，一个实施方式中，显示装置具备照明装置和作为显示手段的液晶元件。例如，显示装置可以是使用上述实施方式的照明装置作为背光、使用公知的液晶元件作为显示手段的显示装置、即液晶显示装置。实施例以下，利用实施例更为具体地说明本发明的实施方式，但本发明并不限定于以下的实施例，包含各种变形例。＜空穴传输性聚合物的制备＞(pd催化剂的制备)在氮气环境下的手套箱中，于室温下在样品管中称取三(二苄叉丙酮)二钯(73.2mg、80μmol)，添加甲苯(15ml)并搅拌30分钟。同样地，在样品管中称取三叔丁基膦(129.6mg、640μmol)，添加甲苯(5ml)并搅拌5分钟。将这些溶液混合，在室温下搅拌30分钟后作为催化剂进行使用。全部的溶剂利用氮气鼓泡进行脱气30分钟以上后再使用。后述的各空穴传输性聚合物的制备中使用的单体如下。[化学式编号11](空穴传输性聚合物1的制备)在三口圆底烧瓶中添加单体a1(5.0mmol)、单体b1(2.0mmol)、单体c1(4.0mmol)、甲基三正辛基氯化铵(alfaaesar公司“aliquat336”)(0.03g)、氢氧化钾(1.12g)、纯水(5.54ml)及甲苯(50ml)，进而添加之前制备的pd催化剂甲苯溶液(3.0ml)进行混合，用2小时的时间对该混合液进行加热回流，从而进行反应。到此为止的全部操作均在氮气气流下进行。另外，全部的溶剂均利用氮气鼓泡进行脱气30分钟以上后再使用。上述反应结束后，对有机层进行水洗，将有机层注入到甲醇-水(9：1)中。对所产生的沉淀通过抽滤进行回收，用甲醇-水(9:1)进行洗涤。将所得沉淀溶解在甲苯中，从甲醇中进行再沉淀。通过抽滤将所得沉淀回收，溶解在甲苯中，添加金属吸附剂(stremchemicals公司制“triphenylphosphine,polymer-boundonstyrene-divinylbenzenecopolymer”、相对于沉淀物100mg为200mg)，在80℃下搅拌2小时。搅拌结束后，将金属吸附剂和不溶物过滤除去，将滤液从甲醇中再沉淀。利用抽滤将所产生的沉淀回收，利用甲醇进行洗涤。对所得沉淀进行真空干燥，获得空穴注入性化合物1。分子量如后所述通过使用thf作为洗脱液的gpc(聚苯乙烯换算)进行测定。所得的空穴传输性聚合物1的数均分子量为14,700、重均分子量为46,100。数均分子量及重均分子量通过洗脱液使用四氢呋喃(thf)的gpc(聚苯乙烯换算)进行测定。测定条件如下。送液泵：l-6050株式会社hitachihigh-technologiesuv-vis检测器：l-3000株式会社hitachihigh-technologies色谱柱：gelpack(注册商标)gl-a160s/gl-a150s日立合成株式会社洗脱液：thf(hplc用、不含稳定剂)和光纯药工业株式会社流速：1ml/min色谱柱温度：室温分子量标准物质：标准聚苯乙烯(空穴传输性聚合物2的制备)在三口圆底烧瓶中添加单体a2(5.0mmol)、单体b1(2.0mmol)、单体c1(2.0mmol)、单体c2(2.0mmol)、甲基三正辛基氯化铵(alfaaesar公司“aliquat336”)(0.03g)、氢氧化钾(1.12g)、纯水(5.54ml)及甲苯(50ml)，进而添加之前制备的pd催化剂甲苯溶液(3.0ml)进行混合，用2小时的时间对该混合液进行加热回流，从而进行反应。到此为止的全部操作均在氮气气流下进行。另外，全部的溶剂均利用氮气鼓泡进行脱气30分钟以上后再使用。之后，进行与空穴传输性聚合物1同样的操作，获得空穴传输性聚合物2。所得空穴传输性聚合物2的数均分子量为13,800、重均分子量为50,100。(空穴传输性聚合物3的制备)在三口圆底烧瓶中添加单体a2(5.0mmol)、单体b1(2.0mmol)、单体c1(2.0mmol)、单体c3(2.0mmol)、甲基三正辛基氯化铵(alfaaesar公司“aliquat336”)(0.03g)、氢氧化钾(1.12g)、纯水(5.54ml)及甲苯(50ml)，进而添加之前制备的pd催化剂甲苯溶液(3.0ml)进行混合，用2小时的时间对该混合液进行加热回流，从而进行反应。到此为止的全部操作均在氮气气流下进行。另外，全部的溶剂均利用氮气鼓泡进行脱气30分钟以上后再使用。之后，进行与空穴传输性聚合物1同样的操作，获得空穴传输性聚合物3。所得空穴传输性聚合物3的数均分子量为15,000，重均分子量为51,300。＜有机单空穴载流子元件(hod)的制造及评价＞以下涉及包含有机薄膜的形成工序的有机hod的制造及其导电性的评价。1.有机hod的制造(实施例1)在大气下，在混合有空穴传输性聚合物1(10.0mg)及甲苯(516μl)的溶液中添加预先混合有下述聚合引发剂1(5.0mg)和甲苯2.5ml的溶液51μl，进行混合，制备油墨组合物1。另外，将空穴传输性聚合物1(10.0mg)及甲苯(2301μl)混合，制备油墨组合物2。[化学式编号12]在以1.6mm宽度布图有ito的玻璃基板上，在大气下(25℃)以转速3,000min-1旋涂油墨组合物1，形成涂布膜。接着，在加热板上、200℃下对具有上述涂布膜的玻璃基板加热30分钟，从而使涂布膜固化，形成膜厚为80nm的有机薄膜(空穴注入层)。接着，在上述空穴注入层上，在大气下(25℃)以转速3,000min-1旋涂油墨组合物2，形成涂布膜。接着，在氮气环境下、加热板上、230℃下对具有上述涂布膜的玻璃基板加热30分钟，从而使涂布膜固化，形成膜厚为20nm的有机薄膜(空穴传输层)。将如上获得的具有ito/空穴注入层/空穴传输层的玻璃基板移至真空蒸镀机中，利用蒸镀法在空穴传输层上成膜al(100nm)，形成al电极，接着进行密封处理，获得有机hod(1a)。(比较例1)除了在大气环境下实施用于形成空穴注入层(下层的有机薄膜)的涂布膜的加热之外，与实施例1的有机hod(1a)的制造方法同样地制造有机hod(1b)。即，首先，与实施例1同样，在以1.6mm宽度布图有ito的玻璃基板上，在大气下以转速3,000min-1旋涂油墨组合物1，形成涂布膜。接着，在大气环境下、加热板上、200℃下对具有上述涂布膜的玻璃基板加热30分钟，从而使涂布膜固化，形成膜厚为80nm的有机薄膜(空穴注入层)。接着，与实施例1同样地在空穴注入层上形成空穴传输层及al电极，进行密封处理，获得有机hod(1b)。(实施例2)在大气下，在混合有空穴传输性聚合物2(10.0mg)及甲苯(516μl)的溶液中添加预先混合有上述聚合引发剂1(5.0mg)和甲苯2.5ml的溶液51μl，进行混合，制备油墨组合物3。另外，将空穴传输性聚合物2(10.0mg)及甲苯(2301μl)混合，制备油墨组合物4。在以1.6mm宽度布图有ito的玻璃基板上，在大气下(25℃)以转速3,000min-1旋涂油墨组合物3，形成涂布膜。接着，在氮气环境下、加热板上、200℃下对具有上述涂布膜的玻璃基板加热30分钟，从而使涂布膜固化，形成膜厚为80nm的有机薄膜(空穴注入层)。接着，在上述空穴注入层上，在大气下(25℃)以转速3,000min-1旋涂油墨组合物4，形成涂布膜。接着，在氮气环境下、加热板上、230℃下对具有上述涂布膜的玻璃基板加热30分钟，从而使涂布膜固化，形成膜厚为20nm的有机薄膜(空穴传输层)。将如上获得的具有ito/空穴注入层/空穴传输层的玻璃基板移至真空蒸镀机中，利用蒸镀法在空穴传输层上成膜al(100nm)，形成al电极，接着进行密封处理，获得有机hod(2a)。(比较例2)除了在大气环境下实施用于形成空穴注入层(下层的有机薄膜)的涂布膜的加热之外，与实施例2的有机hod(2a)的制造方法同样地制造有机hod(2b)。即，首先，与实施例2同样，在以1.6mm宽度布图有ito的玻璃基板上，在大气下以转速3,000min-1旋涂油墨组合物3，形成涂布膜。接着，在大气环境下、加热板上、200℃下对具有上述涂布膜的玻璃基板加热30分钟，从而使涂布膜固化，形成膜厚为80nm的有机薄膜(空穴注入层)。接着，与实施例2同样地在空穴注入层上形成空穴传输层及al电极，进行密封处理，获得有机hod(2b)。(实施例3)在大气下，在混合有空穴传输性聚合物3(10.0mg)及甲苯(516μl)的溶液中添加预先混合有上述聚合引发剂1(5.0mg)和甲苯2.5ml的溶液51μl，进行混合，制备油墨组合物5。另外，将空穴传输性聚合物3(10.0mg)及甲苯(2301μl)混合，制备油墨组合物6。在以1.6mm宽度布图有ito的玻璃基板上，在大气下(25℃)以转速3,000min-1旋涂油墨组合物5，形成涂布膜。接着，在氮气环境下、加热板上、200℃下对具有上述涂布膜的玻璃基板加热30分钟，从而使涂布膜固化，形成膜厚为80nm的有机薄膜(空穴注入层)。接着，在上述空穴注入层上，在大气下(25℃)以转速3,000min-1旋涂油墨组合物6，形成涂布膜。接着，在氮气环境下、加热板上、230℃下对具有上述涂布膜的玻璃基板加热30分钟，从而使涂布膜固化，形成膜厚为20nm的有机薄膜(空穴传输层)。将如上获得的具有ito/空穴注入层/空穴传输层的玻璃基板移至真空蒸镀机中，利用蒸镀法在空穴传输层上成膜al(100nm)，形成al电极，接着进行密封处理，获得有机hod(3a)。(比较例3)除了在大气环境下实施用于形成空穴注入层(下层的有机薄膜)的涂布膜的加热之外，与实施例3的有机hod(3a)的制造方法同样地制造有机hod(3b)。即，首先，与实施例3同样，在以1.6mm宽度布图有ito的玻璃基板上，在大气下以转速3,000min-1旋涂油墨组合物5，形成涂布膜。接着，在大气环境下、加热板上、200℃下对具有上述涂布膜的玻璃基板加热30分钟，从而使涂布膜固化，形成膜厚为80nm的有机薄膜(空穴注入层)。接着，与实施例3同样地在空穴注入层上形成空穴传输层及al电极，进行密封处理，获得有机hod(3b)。(实施例4)在大气下，在混合有空穴传输性聚合物1(10.0mg)及甲苯(516μl)的溶液中添加预先混合有上述聚合引发剂1(5.0mg)和甲苯2.5ml的溶液51μl，制备油墨组合物1。另外，将空穴传输性聚合物1(10.0mg)及甲苯(2301μl)混合，制备油墨组合物2。在以1.6mm宽度布图有ito的玻璃基板上，在大气下(25℃)以转速3,000min-1旋涂油墨组合物1，形成涂布膜。接着，在氮气环境下、加热板上、200℃下对具有上述涂布膜的玻璃基板加热60分钟，从而使涂布膜固化，形成膜厚为80nm的有机薄膜(空穴注入层)。接着，在上述空穴注入层上，在大气下(25℃)以转速3,000min-1旋涂油墨组合物2，形成涂布膜。接着，在氮气环境下、加热板上、230℃下对具有上述涂布膜的玻璃基板加热30分钟，从而使涂布膜固化，形成膜厚为20nm的有机薄膜(空穴传输层)。将如上获得的具有ito/空穴注入层/空穴传输层的玻璃基板移至真空蒸镀机中，利用蒸镀法在空穴传输层上成膜al(100nm)，形成al电极，接着进行密封处理，获得有机hod(4a)。(比较例4)除了在大气环境下实施用于形成空穴注入层(下层的有机薄膜)的涂布膜的加热之外，与实施例4的有机hod(4a)的制造方法同样地制造有机hod(4b)。即，首先，与实施例4同样，在以1.6mm宽度布图有ito的玻璃基板上，在大气下以转速3,000min-1旋涂油墨组合物1，形成涂布膜。接着，在大气环境下、加热板上、200℃下对具有上述涂布膜的玻璃基板加热60分钟，从而使涂布膜固化，形成膜厚为80nm的有机薄膜(空穴注入层)。接着，在空穴注入层上形成空穴传输层及al电极，进行密封处理，与实施例4同样地获得有机hod(4b)。2.有机hod的评价对实施例1～4及比较例1～4中获得的各有机hod施加电压时可知，均流过电流，确认了具有空穴注入性的功能。对于各有机hod，测定电流密度为300ma/cm时的驱动电压。将测定结果示于表1。表1由表1所示的结果可知，与在大气下进行了涂布膜的加热的比较例1～4的有机hod(1b～4b)相比，在不活泼性气体(氮气)环境下进行了涂布膜的加热的实施例1～4的有机hod(1a～4a)以更低的电压即可驱动。因此可知，如实施例1～4那样在不活泼性气体(氮气)环境下进行涂膜形成后的加热时，能够抑制成膜时的有机薄膜的性能降低。更详细地说，在实施例1与实施例4的对比中，由于实施例1为更低的驱动电压，因此可知，通过缩短不活泼性气体环境下的加热时间，更易抑制有机薄膜的性能降低。另外，由实施例1与实施例2及3的对比可知，当降低电荷传输性聚合物中的聚合性官能团的比例时，更易进一步提高不活泼性气体环境下的加热所带来的有机薄膜的性能降低的抑制效果。＜有机el元件的制造及评价＞以下涉及包含有机薄膜的形成工序的有机el元件的制造及其特性评价。1.有机el元件的制造(实施例5)在大气下，在混合有空穴传输性聚合物1(10.0mg)及甲苯(516μl)的溶液中添加预先混合有上述聚合引发剂1(5.0mg)和甲苯2.5ml的溶液51μl，进行混合，制备油墨组合物1。另外，将空穴传输性聚合物1(10.0mg)及甲苯(2301μl)混合，制备油墨组合物2。在以1.6mm宽度布图有ito的玻璃基板上，在大气下(25℃)以转速3,000min-1旋涂油墨组合物1，形成涂布膜。接着，在氮气环境下、加热板上、200℃下对具有涂布膜的玻璃基板加热30分钟，从而使涂布膜固化，形成膜厚为80nm的有机薄膜(空穴注入层)。接着，在上述空穴注入层上，在大气下(25℃)以转速3,000min-1旋涂油墨组合物2，形成涂布膜。接着，在氮气环境下、加热板上、230℃下对具有上述涂布膜的玻璃基板加热30分钟，从而使涂布膜固化，形成膜厚为20nm的有机薄膜(空穴传输层)。将如上获得的具有ito/空穴注入层/空穴传输层的玻璃基板移至真空蒸镀机中，利用蒸镀法在空穴传输层上依次成膜cbp：ir(ppy)3(94：6、30nm)、balq(10nm)、alq3(30nm)、lif(0.8nm)及al(100nm)的各层，进行密封处理，制造有机el元件(1a)。(比较例5)除了在大气环境下实施用于形成空穴注入层的涂布膜的固化之外，与实施例5的有机el元件(1a)的制造方法同样地制造有机el元件(1b)。即，首先，与实施例5同样，在以1.6mm宽度布图有ito的玻璃基板上，在大气下(25℃)以转速3,000min-1旋涂油墨组合物1，形成涂布膜。接着，在大气环境下、加热板上、200℃下对具有涂布膜的玻璃基板加热30分钟，从而使涂布膜固化，形成膜厚为20nm的有机薄膜(空穴注入层)。接着，与实施例5同样，在空穴注入层上成膜各层，进行密封处理，制造有机el元件(1b)。(实施例6)在大气下，在混合有空穴传输性聚合物2(10.0mg)及甲苯(516μl)的溶液中添加预先混合有上述聚合引发剂1(5.0mg)和甲苯2.5ml的溶液51μl，进行混合，制备油墨组合物3。另外，将空穴传输性聚合物2(10.0mg)及甲苯(2301μl)混合，制备油墨组合物4。在以1.6mm宽度布图有ito的玻璃基板上，在大气下(25℃)以转速3,000min-1旋涂油墨组合物3，形成涂布膜。接着，在氮气环境下、加热板上、200℃下对具有涂布膜的玻璃基板加热30分钟，从而使涂布膜固化，形成膜厚为80nm的有机薄膜(空穴注入层)。接着，在上述空穴注入层上，在大气下(25℃)以转速3,000min-1旋涂油墨组合物4，形成涂布膜。接着，在氮气环境下、加热板上、230℃下对具有上述涂布膜的玻璃基板加热30分钟，从而使涂布膜固化，形成膜厚为20nm的有机薄膜(空穴传输层)。将如上获得的具有ito/空穴注入层/空穴传输层的玻璃基板移至真空蒸镀机中，利用蒸镀法在空穴传输层上依次成膜cbp：ir(ppy)3(94：6、30nm)、balq(10nm)、alq3(30nm)、lif(0.8nm)及al(100nm)的各层，进行密封处理，制造有机el元件(2a)。(比较例6)除了在大气环境下实施用于形成空穴注入层的涂布膜的固化之外，与实施例6的有机el元件(2a)的制造方法同样地制造有机el元件(2b)。即，首先，与实施例6同样，在以1.6mm宽度布图有ito的玻璃基板上，在大气下(25℃)以转速3,000min-1旋涂油墨组合物3，形成涂布膜。接着，在大气环境下、加热板上、200℃下对具有涂布膜的玻璃基板加热30分钟，从而使涂布膜固化，形成膜厚为20nm的有机薄膜(空穴注入层)。接着，与实施例6同样，在空穴注入层上成膜各层，进行密封处理，制造有机el元件(2b)。(实施例7)在大气下，在混合有空穴传输性聚合物3(10.0mg)及甲苯(516μl)的溶液中添加预先混合有上述聚合引发剂1(5.0mg)和甲苯2.5ml的溶液51μl，进行混合，制备油墨组合物5。另外，将空穴传输性聚合物3(10.0mg)及甲苯(2301μl)混合，制备油墨组合物6。在以1.6mm宽度布图有ito的玻璃基板上，在大气下(25℃)以转速3,000min-1旋涂油墨组合物5，形成涂布膜。接着，在氮气环境下、加热板上、200℃下对具有涂布膜的玻璃基板加热30分钟，从而使涂布膜固化，形成膜厚为80nm的有机薄膜(空穴注入层)。接着，在上述空穴注入层上，在大气下(25℃)以转速3,000min-1旋涂油墨组合物6，形成涂布膜。接着，在氮气环境下、加热板上、230℃下对具有上述涂布膜的玻璃基板加热30分钟，从而使涂布膜固化，形成膜厚为20nm的有机薄膜(空穴传输层)。将如上获得的具有ito/空穴注入层/空穴传输层的玻璃基板移至真空蒸镀机中，利用蒸镀法在空穴传输层上依次成膜cbp：ir(ppy)3(94：6、30nm)、balq(10nm)、alq3(30nm)、lif(0.8nm)及al(100nm)的各层，进行密封处理，制造有机el元件(3a)。(比较例7)除了在大气环境下实施用于形成空穴注入层的涂布膜的固化之外，与实施例7的有机el元件(3a)的制造方法同样地制造有机el元件(3b)。即，首先，与实施例7同样，在以1.6mm宽度布图有ito的玻璃基板上，在大气下以转速3,000min-1旋涂油墨组合物5，形成涂布膜。接着，在大气环境下、加热板上、200℃下对具有涂布膜的玻璃基板加热30分钟，从而使涂布膜固化，形成膜厚为20nm的有机薄膜(空穴注入层)。接着，与实施例7同样，在空穴注入层上成膜各层，进行密封处理，制造有机el元件(3b)。(实施例8)在大气下，在混合有空穴传输性聚合物1(10.0mg)及甲苯(516μl)的溶液中添加预先混合有上述聚合引发剂1(5.0mg)和甲苯2.5ml的溶液51μl，进行混合，制备油墨组合物1。另外，将空穴传输性聚合物1(10.0mg)及甲苯(2301μl)混合，制备油墨组合物2。在以1.6mm宽度布图有ito的玻璃基板上，在大气下(25℃)以转速3,000min-1旋涂油墨组合物1，形成涂布膜。接着，在氮气环境下、加热板上、200℃下对具有涂布膜的玻璃基板加热60分钟，从而使涂布膜固化，形成膜厚为80nm的有机薄膜(空穴注入层)。接着，在上述空穴注入层上，在大气下(25℃)以转速3,000min-1旋涂油墨组合物2，形成涂布膜。接着，在氮气环境下、加热板上、230℃下对具有上述涂布膜的玻璃基板加热30分钟，从而使涂布膜固化，形成膜厚为20nm的有机薄膜(空穴传输层)。将如上获得的具有ito/空穴注入层/空穴传输层的玻璃基板移至真空蒸镀机中，利用蒸镀法在空穴传输层上依次成膜cbp：ir(ppy)3(94：6、30nm)、balq(10nm)、alq3(30nm)、lif(0.8nm)及al(100nm)的各层，进行密封处理，制造有机el元件(4a)。(比较例8)除了在大气环境下实施用于形成空穴注入层的涂布膜的固化之外，与实施例8的有机el元件(4a)的制造方法同样地制造有机el元件(4b)。即，首先，与实施例8同样，在以1.6mm宽度布图有ito的玻璃基板上，在大气下以转速3,000min-1旋涂油墨组合物1，形成涂布膜。接着，在大气环境下、加热板上、200℃下对具有涂布膜的玻璃基板加热30分钟，从而使涂布膜固化，形成膜厚为20nm的有机薄膜(空穴注入层)。接着，与实施例8同样，在空穴注入层上成膜各层，进行密封处理，制造有机el元件(4b)。2.有机el元件的评价对实施例5～8及比较例5～8中获得的各有机el元件施加电压时，确认到了绿色发光。对于各有机el元件，测定发光亮度为1,000cd/m2时的驱动电压及发光效率、以及初始亮度为5,000cd/m2下的发光寿命(亮度半衰时间)。将测定结果示于表2。表2由表2所示的结果可知，与在大气下进行形成空穴注入层的涂布膜的加热的比较例的有机el元件(1b～4b)相比，在不活泼性气体(氮气)环境下进行上述涂布膜的加热的实施例的有机el元件(1a～4a)的驱动电压低、发光效率高、发光寿命长。由以上的结果可知，通过在不活泼性气体下加热有机薄膜，能够形成具有优异特性的有机薄膜。因此可知，通过使用利用本发明制造方法制得的有机薄膜，可以提高有机el元件的特性。＜有机薄膜(层叠体)的氧浓度分布＞1.层叠体的制造(实施例9)在大气下，在混合有空穴传输性聚合物1(10.0mg)及甲苯(516μl)的溶液中添加预先混合有上述聚合引发剂1(5.0mg)和甲苯2.5ml的溶液51μl，进行混合，制备油墨组合物1。另外，将空穴传输性聚合物1(10.0mg)及甲苯(2301μl)混合，制备油墨组合物2。在成膜有ito的石英玻璃基板(以下也称作ito基板)上，在大气下(25℃)以转速3,000min-1旋涂油墨组合物1，形成涂布膜。接着，在氮气环境下、加热板上、200℃下对具有涂布膜的石英玻璃基板加热30分钟，从而使涂布膜固化，形成膜厚为80μm的有机薄膜(空穴注入层)。接着，在上述空穴注入层上，在大气下(25℃)以转速3,000min-1旋涂油墨组合物2，形成涂布膜。接着，在氮气环境下、加热板上、230℃下对涂布膜加热30分钟，从而使涂布膜固化，形成膜厚为20nm的有机薄膜(空穴传输层)。如此，制作在ito基板上具有空穴注入层和空穴传输层的层叠体，作为测定用样品(1a)使用。(比较例9)除了对于实施例9中制造的测定用样品(1a)在大气环境下实施用于形成空穴注入层的涂布膜的加热之外，全部使用与实施例9相同的方法制造测定用样品(1b)。即，首先，在ito基板上，在大气下(25℃)以转速3,000min-1旋涂与实施例9同样制备的油墨组合物1，形成涂布膜。接着，在大气环境下、加热板上、200℃下对具有涂布膜的ito基板加热30分钟，从而使涂布膜固化，形成膜厚为80μm的有机薄膜(空穴注入层)。接着，在空穴注入层上，在大气下(25℃)以转速3,000min-1旋涂与上述实施例9同样制备的油墨组合物2，形成涂布膜。接着，在氮气环境下、加热板上、200℃下对涂布膜加热30分钟，从而使涂布膜固化，形成膜厚为20μm的有机薄膜(空穴传输层)。如此，制造在ito基板上含有空穴注入层和空穴传输层的层叠体，作为测定用样品(1b)使用。2.氧原子分布偏差的评价对于实施例9及比较例9中制造的各测定样品，如下操作，按照使用气体团簇离子束的飞行时间二次离子质谱分析法(gcib-tof-sims)，测定包含2个有机薄膜界面在内的层叠体深度方向(纵向)上的氧离子强度(计数)。接着，由测定值评价氧原子分布的偏差。(1)测定从各测定用样品的表面(空穴传输层)一侧，照射作为气体团簇离子束的ar团簇，通过飞行时间二次离子质谱仪测定深度方向的氧离子强度(计数)。测定条件如下。(测定条件)测定装置：株式会社日立maxellscience制的“tof.sims5-200p”一次离子源：bi一次加速电压：25kv将如上操作通过gcib-tof-sims在深度方向上测得的氧原子分布的曲线图示于图2。图2(a)为实施例9的测定结果、图2(b)为比较例9的测定结果。各曲线图中，曲线图的纵轴表示氧离子强度(计数)。(2)氧原子分布的偏差由在深度方向10～40nm的范围内、每1nm地读取的各曲线图的氧离子强度值的平均值a及标准偏差b求出氧原子分布的偏差(b/a)的比例(％)。将其结果示于表3。表3平均值a标准偏差b不均(％)实施例9101532.53.2比较例911731059.0由表3可知结果是，比较例9中氧原子量的偏差较大，而实施例9中氧偏差明显地小。由此可知，按照湿式工艺在ito基板上形成相邻的有机薄膜时，通过在不活泼性气体环境下实施涂布膜的加热，能够有效地抑制有机薄膜的表面氧化。实际上，由之前所示的实施例与比较例的对比也可知，有机hod及有机el元件中，由于有机薄膜的制造方法的差异，有机薄膜的性能也产生了明显的差异。因此可知，按照湿式工艺形成有机薄膜时，通过在不活泼性气体环境中实施涂布膜的加热，可以抑制有机薄膜的性能降低，通过使用这种有机薄膜构成有机el元件，能够实现驱动电压等元件特性的提高。符号说明1：发光层2：阳极3：空穴注入层4：阴极5：电子注入层6：空穴传输层7：电子传输层8：基板当前第1页12