无芯板制造构件、无芯板以及无芯板制作方法

文档序号:8267829阅读:509来源:国知局
无芯板制造构件、无芯板以及无芯板制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及无芯板技术领域,特别是涉及一种无芯板制造构件、无芯板以及无芯 板制作方法。
【背景技术】
[0002] 随着半导体封装产品朝高性能、薄型化及低成本方向发展,催生了无芯薄基板技 术;由于无芯板太薄,会遇到较严重的翘曲问题,制作过程中容易造成板损、卡板报废的问 题。

【发明内容】

[0003] 基于此,有必要针对翘曲问题,提供一种无芯板制造方法。
[0004] 一种无芯板制造方法,包括:提供支撑载体,该支撑载体包括:绝缘片,分设在绝 缘片两侧的载体铜箔,并在所述载体铜箔外侧设置外层铜箔;在支撑载体两面的外层铜箔 上进行图形转移,其中一面的图形为另一面调转180度后的图形;支撑载体两外侧添加内 半固化片与内层铜箔,并在两侧的内层铜箔上进行图形转移,支撑载体一侧的图形为另一 侧调转180度后的图形,并进行压合;重复上述图形转移和压合步骤;在内层铜箔外侧设置 夕卜固化片,在外固化片外侧设置外层铜箔。
[0005] 在其中一个实施例,在所述在支撑载体两面的外层铜箔上进行图形转移,其中一 面的图形为另一面调转180度后的图形的步骤之后包括:在板上开设定位孔。
[0006] 在其中一个实施例,还包括:在开始定位孔之前需要对内层铜箔进行铣边。
[0007] 在其中一个实施例,所述铣边的尺寸小于2?6_。
[0008] 在其中一个实施例,所述外层铜箔尺寸比所述内层铜箔的尺寸大5?15mm。
[0009] 采用本申请的无芯板制造方法,无芯板用以承载半导体元气件,因此无芯板上需 有相应的电路走线。无芯板的电路层为每一层的内层铜箔与外层铜箔,各层铜箔之间通过 钻孔工艺来实现导通。而由于上下的无芯板结构为倒装关系,从支撑载体上剥离下来的两 块无芯板结构上的电路布局为镜像关系,无论如何翻转两块无芯板的电路布局均不相同, 需分两套流程来制作,生产效率较慢。而通过预先将制作电路参照的图像翻转,后续仅需翻 转其中一块无芯板,两块无芯板得到的图形即相同,可同时进行后续处理工艺。
【附图说明】
[0010] 图1为本发明提出的无芯板制造构件结构不意图;
[0011] 图2为一种实施例中的支撑载体结构示意图;
[0012] 图3为图1中无芯板结构图;
[0013] 图4为图1中外层铜箔的图案示意图;
[0014] 图5为图1中内层铜箔的图案示意图;
[0015] 图6为图1中玻纤结构示意图;
[0016] 图7为一种实施例中的双层玻纤结构不意图;
[0017] 图8为本发明提出的制造方法流程图;
[0018] 图9为一种实施例中的制造方法流程图;
[0019] 图10为另一种实施例中的制造方法流程图;
[0020] 图11为定位孔设计示意图。
【具体实施方式】
[0021] 为使本发明的目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本发明的具 体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。 但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背 本发明内涵的情况下做类似改进,因此本发明不受下面公开的具体实施的限制。
[0022] 本实施例的无芯板制造构件,包括支撑载体,以及设置在支撑载体两侧的无芯板。 具体地:
[0023] 支撑载体,为绝缘体,该绝缘体可以是BT树脂、环氧树脂、ABF、聚四氟乙烯、碳氢 化合物陶瓷等材料。由于无芯板较薄,容易发生板损或翘曲,设置本方案的支撑载体,可以 在制造无芯板的时候起到支撑作用。
[0024] 在一本实施例中,支撑载体包括:绝缘片,分设在绝缘片两侧的载体铜箔,载体铜 箔较厚,厚度为12?15 μ m,可更好的为无芯板的制造提供受力支持。另外,载体铜箔的两 侧进行粗化处理,可增加压合后的结合力。
[0025] 在其它的实施例中,在载体铜箔的外侧设置外层铜箔,整个支撑载体可通过预压 合粘结在一起,载体铜箔与外层铜箔的相反面经过粗化处理,即表面粗糙化,可增加压合后 的结合力,更加方便载体铜箔与外层铜箔的分离。
[0026] 该外层铜箔的结构可应用在无芯板中,即提前把外层铜箔的结构设置在绝缘片 上,作为无芯板的组成结构,后续可通过分离工艺分离该外层铜箔与载体铜箔。
[0027] 在其它实施例中,支撑载体可以采用冰替换。在无芯板制造的过程中,首先要在低 于0°的操作空间进行制作,然后在冰的两侧依次压合无芯板,压合完成后,提高操作空间 的温度,冰自动融化后,两无芯板可自动分离。该冰采用的是纯水制成的冰,冰融化后不留 痕,不会对无芯板造成影响。
[0028] 无芯板,包括:内半固化片、外半固化片、内层铜箔和外层铜箔。具体地,内半固化 片的两侧设置内层铜箔,根据设计需要可以设置多层,即设置多个内层铜箔,同时也要在多 个内层铜箔之间设置多个内半固化片,可叠层压合在一起。最后在最外侧的内层铜箔上再 设置外半固化片,然后在该外半固化片外设置外层铜箔。内层铜箔与外层铜箔的厚度可以 一样,同为2?5 μ m〇
[0029] 进一步地,内层铜箔开设有间隙,该间隙均设在内层铜箔的边缘四周,间隙开设的 方向可以垂直内层铜箔的边框,也可以成角度设置,这种间隙设计可以有效的减少层压填 胶无空洞的问题。另外,还可以在内层铜箔的内部设置圆焊盘,该圆焊盘均匀的设置在内层 铜箔的边框的内侧,呈环形设置。采用圆焊盘的设计,可更有效的减少层压填胶的空洞。在 本实施例中,间隙为〇. 5?I. 5mm,圆焊盘的间隙为0. 2?0. 5mm之间。
[0030] 在其它实施例中,还可以在外层铜箔的内表面进行图案化处理,该图案化为小凸 起,在层压填胶的过程中,有效地挤压填胶中的气泡。
[0031] 外层铜箔,设置在最外侧,共有两个外层铜箔。具体地,外层铜箔开设有间隙,该间 隙均设在内层铜箔的四周,间隙开设的方向可以垂直外层铜箔的边框,也可以成角度设置, 这种间隙设计可以有效的减少层压填胶无空洞的问题。另外,在内层铜箔和外层铜箔所开 设的间隙都设置在同一纵面,可更好的减少层压填胶无空洞的问题。
[0032] 在其它实施例中,内层铜箔和外层铜箔的边框的厚度较之中部的厚度更厚一些, 可有效的增加无芯板的强度。
[0033] 在一实施例中,无芯板制造构件的内半固化片、外半固化片均含有玻纤。
[0034] 由于支撑载体两侧的结构相同,为了更为清楚的描述本方案的结构,以其中一侧 的结构进行描述。
[0035] 具体地,内固化片与外固化片的主要成分为树脂,在树脂中含有玻纤层。内固化片 的玻纤层厚度为10?25 μπι,树脂的含胶量超过75% ;外固化片的玻纤厚度至少比内固化 片的玻纤厚度大8 μπι,且外固化片的树脂含胶量小于65%。通过差异化的树脂含量和,可 有效控制板内应力分布,降低翘曲度。
[0036] 实施例一
[0037]
【主权项】
1. 一种无芯板制造方法,包括: 提供支撑载体,该支撑载体包括:绝缘片,分设在绝缘片两侧的载体铜箔,并在所述载 体铜箔外侧设置外层铜箔; 在支撑载体两面的外层铜箔上进行图形转移,其中一面的图形为另一面调转180度后 的图形; 支撑载体两外侧添加内半固化片与内层铜箔,并在两侧的内层铜箔上进行图形转移, 支撑载体一侧的图形为另一侧调转180度后的图形,并进行压合; 重复上述图形转移和压合步骤; 在内层铜箔外侧设置外固化片,在外固化片外侧设置外层铜箔。
2. 根据权利要求1所述的无芯板制造方法,其特征在于,在所述在支撑载体两面的外 层铜箔上进行图形转移,其中一面的图形为另一面调转180度后的图形的步骤之后包括: 在板上开设定位孔。
3. 根据权利要求2所述的无芯板制造方法,其特征在于,还包括:在开始定位孔之前需 要对内层铜箔进行铣边。
4. 根据权利要求3所述的无芯板制造方法,其特征在于,所述铣边的尺寸小于2? 6mm 〇
5. 根据权利要求4所述的无芯板制造方法,其特征在于,所述外层铜箔尺寸比所述内 层铜箔的尺寸大5?15mm。
【专利摘要】一种无芯板制造方法,包括:提供支撑载体,该支撑载体包括:绝缘片,分设在绝缘片两侧的载体铜箔,并在所述载体铜箔外侧设置外层铜箔;在支撑载体两面的外层铜箔上进行图形转移,其中一面的图形为另一面调转180度后的图形;支撑载体两外侧添加内半固化片与内层铜箔,并在两侧的内层铜箔上进行图形转移,支撑载体一侧的图形为另一侧调转180度后的图形,并进行压合;重复上述图形转移和压合步骤;在内层铜箔外侧设置外固化片,在外固化片外侧设置外层铜箔。采用本申请的无芯板制造方法,无芯板用以承载半导体元气件,因此无芯板上需有相应的电路走线。
【IPC分类】H01L21-48, H05K1-02, H01L23-498, H05K3-46
【公开号】CN104582329
【申请号】CN201410856836
【发明人】张志强, 李志东, 徐娟
【申请人】广州兴森快捷电路科技有限公司, 宜兴硅谷电子科技有限公司, 深圳市兴森快捷电路科技股份有限公司
【公开日】2015年4月29日
【申请日】2014年12月31日
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