振动元件、振子、振荡器、电子设备、传感器及移动体的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明设及振动元件、振子、振荡器、电子设备、物理量传感器、移动体W及振动元 件的频率调整方法。
【背景技术】
[0002] 一直W来，公知有使用了石英的振动元件。该样的振动元件由于频率温度特性优 异，因此被广泛用作各种电子设备的基准频率源和发送源等。并且，作为对该样的振动元件 的频率进行调整的方法，例如公知有专利文献1那样的方法。
[0003] 专利文献1所记载的频率调整方法是在将振动元件收纳到封装内的状态下进行 的方法。更具体而言，是如下该样的方法；在振动元件具有的振动臂的末端部的两面上设置 有施重部（金属膜）。此外，封装的盖能够透过激光。并且，经由盖向施重部照射激光，去除 设置于振动臂的两面的施重部的至少一部分来减小振动臂的质量，由此进行振动元件的频 率调整。但是，在该样的频率调整方法中，存在如下问题。
[0004] 在专利文献1所记载的频率调整方法中，在振动臂的盖侧的主面上设置有施重部 (W下，为了方便，称作"盖侧施重部"。）。因此，通过激光照射而蒸发的盖侧施重部飞散而 附着到盖的内表面上。并且，附着到盖的内表面的重物材料受到经由盖错开照射位置而照 射的激光的热量，再次蒸发，蒸发后的重物材料飞散而再次附着到盖侧施重部上。该样，在 专利文献1所记载的频率调整方法中，好不容易去除的重物的一部分会再次附着，因此可 调整的频率范围变窄，从而效率较差，并且频率调整的精度也较差。
[0005]【专利文献1】日本特开2003-133879号公报
【发明内容】
[0006] 本发明的目的在于，提供能够高效且高精度地进行频率调整的振动元件、具有该 振动元件的可靠性高的振子、振荡器、电子设备、物理量传感器和移动体、W及能够高效且 高精度地进行振动元件的频率调整的振动元件的频率调整方法。
[0007] 本发明正是为了解决上述课题中的至少一部分而完成的，可作为W下应用例来实 现。
[000引[应用例^
[0009] 本应用例的振动元件的特征在于，该振动元件包含：
[0010] 基部；化及
[0011] 振动臂，其在俯视时从所述基部起延伸，并设置有施重部，
[0012] 所述施重部包含：
[0013] 第1施重部，其在俯视时配置于所述振动臂的与所述基部相反侧的末端部的一个 主面上；W及
[0014] 第2施重部，其被配置成比所述第1施重部靠所述基部侧，且厚度比所述第1施重 部薄，
[0015] 所述振动臂能够透过能量线，
[0016] 在所述振动臂的与所述一个主面处于正反关系的另一个主面上的、俯视时与所述 第2施重部重叠的位置处，配置有允许所述能量线入射到所述振动臂内的区域。
[0017] 由此，通过从另一个主面侧照射能量线，能够更有效地抑制蒸发后的施重部再次 附着到振动臂上。因此，得到了能够更高效且高精度地进行频率调整的振动元件。
[001引[应用例引
[0019] 在本应用例的振动元件中，优选的是，所述区域还配置在所述另一个主面上的、俯 视时与所述第1施重部重叠的位置处。
[0020] 由此，通过从另一个主面侧照射能量线，能够更有效地抑制蒸发后的施重部再次 附着到振动臂上。因此，得到了能够更高效且高精度地进行频率调整的振动元件。
[0021] [应用例引
[0022] 在本应用例的振动元件中，优选的是，
[0023] 在设所述第1施重部沿着所述延伸的方向的长度为L1，
[0024] 所述第2施重部沿着所述延伸的方向的长度为L2时，满足如下关系：
【主权项】
1. 一种振动元件，其特征在于，该振动元件包含： 基部；以及 振动臂，其在俯视时从所述基部起延伸，并设有施重部， 所述施重部包含： 第1施重部，其在俯视时配置于所述振动臂的与所述基部相反侧的末端部的一个主面 上；以及 第2施重部，其比所述第1施重部靠所述基部侧，且厚度比所述第1施重部薄， 所述振动臂能够透过能量线， 在所述振动臂的与所述一个主面处于正反关系的另一个主面上的、俯视时与所述第2 施重部重叠的位置处，配置有允许所述能量线入射到所述振动臂内的区域。
2. 根据权利要求1所述的振动元件，其中， 所述区域还配置在所述另一个主面上的、俯视时与所述第1施重部重叠的位置处。
3. 根据权利要求1或2所述的振动元件，其中， 在设所述第1施重部沿着所述延伸的方向的长度为L1， 所述第2施重部沿着所述延伸的方向的长度为L2时，满足如下关系：
4. 根据权利要求3所述的振动元件，其特征在于，满足如下关系：
5. 根据权利要求1或2所述的振动元件，其中， 所述第1施重部是通过从所述一个主面侧起，至少依次层叠第1施重层和层叠在所述 第1施重层上的第2施重层而成的， 所述第2施重部由所述第1施重层构成。
6. 根据权利要求5所述的振动元件，其中， 所述第1施重层是通过溅射法形成的， 所述第2施重层是通过蒸镀法形成的。
7. 根据权利要求1或2所述的振动元件，其中， 所述施重部包含第3施重部，所述第3施重部以俯视时与所述第1施重部重叠的方式 配置在所述另一个主面上。
8. 根据权利要求7所述的振动元件，其中， 所述第3施重部的厚度比所述第2施重部的厚度厚。
9. 根据权利要求7所述的振动元件，其中， 在设所述第1施重部沿着所述延伸的方向的长度为L1， 所述第3施重部沿着所述延伸的方向的长度为L3时， 满足L3 < Ll的关系。
10. 根据权利要求1或2所述的振动元件，其中， 在所述区域中露出所述另一个主面的基础表面。
11. 根据权利要求1或2所述的振动元件，其中， 所述振动臂包含： 宽度增大部；以及 臂部，其配置于所述基部与所述宽度增大部之间，且宽度比所述宽度增大部窄， 在所述宽度增大部上配置有所述施重部。
12. -种振子，其特征在于，该振子具有： 权利要求1~11中的任意一项所述的振动元件；以及 收纳有所述振动元件的封装。
13. -种振荡器，其特征在于，该振荡器具有： 权利要求1~11中的任意一项所述的振动元件；以及 电路。
14. 一种电子设备，其特征在于，该电子设备具有权利要求1~11中的任意一项所述的 振动元件。
15. -种物理量传感器，其特征在于，该物理量传感器具有权利要求1~11中的任意一 项所述的振动元件。
16. -种移动体，其特征在于，该移动体具有权利要求1~11中的任意一项所述的振动 元件。
17. -种振动元件的频率调整方法，其特征在于，该频率调整方法具有以下步骤： 收纳步骤，将振动元件收纳到封装中； 第1调整步骤，对所述振动元件的谐振频率进行调整；以及 第2调整步骤，对所述振动元件的谐振频率进行调整， 所述振动元件包含： 基部；以及 振动臂，其在俯视时从所述基部起延伸，并设有施重部， 所述施重部包含： 第1施重部，其在俯视时配置于所述振动臂的与所述基部相反侧的末端部的一个主面 上；以及 第2施重部，其比所述第1施重部靠所述基部侧，且厚度比所述第1施重部薄， 所述振动臂能够透过能量线， 在所述振动臂的与所述一个主面处于正反关系的另一个主面上的、俯视时与所述第2 施重部重叠的位置处，配置有允许所述能量线入射到所述振动臂内的区域， 所述封装具有能够透过所述能量线的透过部， 在所述收纳步骤中，使所述振动元件的所述另一个主面位于所述透过部侧且使所述透 过部和所述区域相对而将所述振动元件收纳到所述封装中， 在所述第1调整步骤中，将所述能量线从所述透过部引导至所述封装内，进而使所述 能量线从所述另一个主面透过所述振动臂内而照射到所述第1施重部，由此去除所述第1 施重部的至少一部分， 在所述第2调整步骤中，将所述能量线从所述透过部引导至所述封装内，进而使所述 能量线从所述区域透过所述振动臂内而照射到所述第2施重部，由此去除所述第2施重部 的至少一部分。
18.根据权利要求17所述的振动元件的频率调整方法，其中， 所述区域还配置在所述振动臂的末端部的另一个主面上的、俯视时与所述第1施重部 重叠的位置处， 在所述第1调整步骤中，将所述能量线从所述透过部引导至所述封装内，进而使所述 能量线从所述区域透过所述振动臂内而照射到所述第1施重部，由此去除所述第1施重部 的至少一部分。
【专利摘要】本发明提供振动元件、振子、振荡器、电子设备、传感器及移动体，能够高效且高精度地进行频率调整。振动元件(2)包含：基部(31)；以及从基部(31)起延伸并设有施重部(5)的振动臂(32)，施重部(5)包含：配置于振动臂(32)的末端部的一个主面上的第1施重部(51)；以及比第1施重部(51)靠基端侧、且厚度比第1施重部(51)薄的第2施重部(52)。振动臂(32)能够透过能量线，在振动臂的相反侧的主面上的、与第2施重部(52)重叠的位置处，配置有允许能量线入射到振动臂(32)内的激光入射区域(SLL)。
【IPC分类】H03H9-19, H03H9-02
【公开号】CN104753494
【申请号】CN201410806740
【发明人】山田明法, 吉田周平, 伊东高史, 中川启史
【申请人】精工爱普生株式会社
【公开日】2015年7月1日
【申请日】2014年12月22日
【公告号】US20150188515