元件安装装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种将元件安装到基板上的元件安装装置。
【背景技术】
[0002]元件安装装置用于通过吸嘴等吸附部吸附元件并将其安装到基板上。为了提高将元件安装到基板上的安装精度，需要提高吸附部前端的定位精度。吸附部通过X、Y机器人进行移动，而伴随吸附部的移动，吸附部会产生振动。
[0003]因此，一直以来，通过反馈控制来抑制吸附部的振动。但是，存在即使执行反馈控制也无法充分抑制吸附部的振动的问题。
[0004]因此，如专利文献I所示，提出了一种检测元件安装装置主体的加速度并基于该加速度对吸附部的移动进行前馈控制的技术。
[0005]专利文献1:日本特开2009 - 217329号公报
【发明内容】
[0006]但是，在专利文献I所示的技术中，只能获取元件安装装置主体的加速度。因此，由于不是基于吸附部的加速度而是基于元件安装装置主体的加速度对吸附部的移动进行前馈控制，因此，存在无法充分抑制吸附部的振动的问题。
[0007]本发明鉴于上述情况而完成，其目的在于提供一种能够获取吸附部的加速度的元件安装装置。
[0008]为了解决上述课题而作出的第一方面的发明具有:基台；吸附部，吸附元件并将上述元件安装到基板上；吸附部移动装置，安装在上述基台上并使上述吸附部移动；加速度获取部，获取通过上述吸附部移动装置使上述吸附部移动时的、上述吸附部部位的加速度。
[0009]由此，能够提供一种能够获取吸附部的加速度的元件安装装置。而且，由于加速度获取部获取吸附部移动时的、吸附部部位的加速度，因此，通过分析吸附部部位的加速度，能够得到吸附部部位的固有振动频率等对抑制吸附部的振动起作用的信息。因此，能够基于该信息进行抑制吸附部的振动的控制。
[0010]第二方面的发明根据第一方面所述的发明，上述吸附部由吸附上述元件的吸嘴和安装有该吸嘴并安装在上述吸附部移动装置上的吸附头构成，上述加速度获取部以能够与上述吸嘴互换的方式安装在上述吸附头上。
[0011]这样一来，加速度获取部以能够与吸嘴互换的方式安装在吸附头上。由此，通过代替吸嘴而将加速度获取部安装在吸附头上，能够容易地获取吸附部部位的加速度。
[0012]第三方面的发明根据第一方面的发明，上述吸附部由吸附上述元件的吸嘴和安装有该吸嘴并安装在上述吸附部移动装置上的吸附头构成，上述加速度获取部以能够与上述吸附头互换的方式安装在上述吸附部移动装置上。
[0013]这样一来，加速度获取部以能够与吸附头互换的方式安装在吸附部移动装置上。由此，通过代替吸附头而将加速度获取部安装在吸附部移动装置上，能够容易地获取吸附部部位的加速度。
[0014]第四方面的发明根据第二方面的发明，上述加速度获取部以能够拆装的方式安装在上述基台、或一体安装于上述基台的部件上。
[0015]由此，能够容易地将加速度获取部安装在基台、或一体安装于基台的部件上。因此，能够容易地获取吸附部移动时的基台侧的加速度。而且，通过分析基台侧的加速度，能够得到基台侧的固有振动频率等对抑制吸附部的振动起作用的信息。因此，能够结合对抑制吸附部部位的吸附部的振动起作用的信息，并基于对抑制基台侧的吸附部的振动起作用的信息，进行进一步抑制吸附部的振动的控制。
[0016]第五方面的发明根据第二方面的发明，在上述基台上安装有搬运上述基板的基板搬运装置，上述基板搬运装置能够搬运上述加速度获取部。
[0017]由此，通过基板搬运装置搬运加速度获取部，并使其在元件安装装置内停止，通过吸附部移动装置移动吸附部，由此能够容易地获取吸附部移动时的基台侧的加速度。而且，通过分析基台侧的加速度，能够获取基台侧的固有振动频率等对抑制吸附部的振动起作用的信息。因此，能够结合对抑制吸附部部位的吸附部的振动起作用的信息，基于对抑制基台侧的吸附部的振动起作用的信息，进行进一步抑制吸附部的振动的控制。
[0018]第六方面的发明根据第一?第五方面的任一方面所述的发明，具有:振动分析部，在通过上述吸附部移动装置使上述吸附部移动时，基于由上述加速度获取部获取的加速度，对因上述吸附部的移动所产生的振动进行分析；及振动抑制部，基于由上述振动分析部分析出的分析结果，控制上述吸附部移动装置，抑制上述振动。由此，能够抑制伴随吸附部的移动而产生的吸附部的振动。
【附图说明】
[0019]图1是元件安装装置的立体图。
[0020]图2是示意性地对吸附头的吸嘴座的一部分、吸嘴及压力源进行说明的图。
[0021]图3是加速度获取部件的立体图。
[0022]图4是第一实施方式的第一固有振动频率获取处理的流程图。
[0023]图5是第二实施方式的第一固有振动频率获取处理的流程图。
[0024]图6是第一实施方式的第二固有振动频率获取处理的流程图。
[0025]图7是第二实施方式的第二固有振动频率获取处理的流程图。
[0026]图8是表不振动抑制部的框图。
[0027]图9是另一实施方式的加速度获取部件的立体图。
【具体实施方式】
[0028](元件安装装置)
[0029]以下，使用图1对元件安装装置100进行说明。如图1所示，元件安装装置100具有基板搬运装置10、元件供给装置20、元件安装部40、控制部50及吸嘴收容部件70。此外，在以下的说明中，将基板的搬运方向设为X轴方向。而且，在水平面上，将与X轴方向正交的方向设为Y轴方向。另外，将与X轴方向及Y轴方向正交的铅垂方向设为Z轴方向。
[0030]在元件安装装置100的前部，沿X轴方向并列设置有多个槽22。元件供给装置20由以能够拆装的方式安装在各槽22内的多个供料器21构成。在供料器21上以能够拆装的方式保持有带盘23。在带盘23上卷绕有带件，该带件将多个元件收容成一列。
[0031]带齿卷盘(未图示)以能够旋转的方式支撑在供料器21的内部。带齿卷盘的外周部与形成在带件上的输送孔卡合。在供料器21上设有作为使带齿卷盘旋转的驱动源的伺服马达(未图示)。
[0032]通过带齿卷盘的旋转，逐个间距地送出卷绕在带盘23上的带件。于是，对设在供料器21的前端部的元件供给部21a依次供给收容在带件上的元件。
[0033]基板搬运装置10将基板沿X轴方向依次搬运至下游侧的元件安装装置100，并且，定位固定(夹持)在所搬运的元件安装装置100内的安装位置。本实施方式中，在元件安装部40的基台41上，沿Y轴方向并列设置有两个基板搬运装置10。基板搬运装置10具有一对导轨I la、I Ib和一对输送带(未图不)。
[0034]导轨IlaUlb在基台41上相互平行地相向并分别沿水平方向并列设置。一对输送带配置在一对导轨IlaUlb的内侧。由一对输送带支撑并搬运由导轨IlaUlb分别引导的基板。
[0035]各元件安装装置100以基板搬运装置10沿X方向连续的方式彼此相邻地配置。而且，各元件安装装置100的基板搬运装置10相互联动地动作，并将各基板依次送入到下游侧的基板搬运装置10上，并定位保持在预定位置。
[0036]在基板搬运装置10上安装有安装部12。安装部12为在其上端具有水平面的板状或块状，并由透磁力较大的铁等软磁性材料构成。
[0037]元件安装部40具有导轨42、Y轴滑动件43、Y伺服马达44、X轴滑动件45、X伺服马达46 (如图8所示)、X伺服放大器48 (如图8所示)、Y伺服放大器49 (如图8所示)、吸嘴65及吸附头60。
[0038]由导轨42、Y轴滑动件43、Υ伺服马达44及Y伺服放大器49构成Y机器人。导轨42沿Y轴方向架设在基台41上并配置在基板搬运装置10的上方。Y轴滑动件43以能够沿导轨42在Y轴方向上移动的方式设置。Y轴滑动件43通过具有与Y伺服马达44的输出轴连结的滚珠丝杠的滚珠丝杠机构沿Y轴方向移动。
[0039]由X轴滑动件45、X伺服马达46及X伺服放大器48构成X机器人。X轴滑动件45以能够沿X轴方向移动的方式设在Y轴滑动件43上。在Y轴滑动件43上设有X伺服马达46。通过与该X伺服马达46的输出轴连结的省略图示的滚珠丝杠机构，使X轴滑动件45沿X轴方向移动。通过上述的X机器人及Y机器人，构成权利要求书中所述的“吸附部移动装置”。
[0040]在X轴滑动件45上以能够拆装的方式安装有吸附头60。以下，使用图1及图2对吸附头60及吸嘴65进行说明。如图1所示，在吸附头60上设有向下方突出的单个或多个吸嘴座61及摄像装置67。在吸嘴座61上以能够拆装的方式安装有吸嘴65。
[0041]如图2所示，