音叉型水晶振动片的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种音叉型水晶振动片。
【背景技术】
[0002]作为水晶振动片的一种，存在由基部和从该基部突出的两个腿部组成的音叉型水晶振动片(例如，参照专利文献I)。在这样的音叉型水晶振动片中，在两个腿部上形成有以不同电位构成的一对激励电极，在两个腿部的两个主面上形成有凹形的槽部。通过将该音叉型水晶振动片气密地密封在由基座和盖构成的主体框体的内部空间内，从而构成了音叉型水晶振动设备(例如，参照专利文献I)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献I日本特开2004-282230号公报
【发明内容】
[0006]本发明要解决的问题
[0007]但是，如专利文献I所示，在音叉型水晶振动片中，由于使用了水晶作为压电材料，因此音叉型水晶振动片的基板具有结晶取向。因此，在形成在腿部的两个主面上的槽部的内面上，不能将所有的侧面都形成为相对于主面(一主面、另一主面)垂直，至少一部分侧面会成为相对于主面具有倾斜度的倾斜面。而且，由于基板具有结晶取向，因此槽部内的相对的多个侧面的倾斜面的角度不同，槽部的内面形状无法成为对称形状。而且，关于形成在各腿部的两个主面上的一对槽部，这一对槽部也无法成为对称形状。
[0008]因此，在专利文献I所示的音叉型水晶振动片中，由于槽部形状不具有对称性而导致各腿部的重量平衡失衡，其结果是特性(Cl值等)劣化。如上所述，此问题是由于使用具有水晶结晶取向的材料而导致的。
[0009]在此，为了解决上述问题，本发明的目的在于提供一种音叉型水晶振子，该音叉型水晶振子通过形成在腿部上的槽部形状能够抑制对于特性的影响。
[0010]解决问题的方法
[0011]为了达成上述目的，本发明所涉及的音叉型水晶振动片，其特征在于，所述音叉型水晶振动片由具有结晶取向的水晶片形成，设置有基部和从上述基部向一个方向突出的一对腿部，在各个上述腿部上形成有相对于上述腿部的宽度方向上的中心偏移的槽部，在上述槽部中，在从上述宽度方向上的端面来看的形状上，上述槽部的最低点位于上述宽度方向上的上述槽部的中央。
[0012]另外，这里所说的“偏移”是指槽部被形成为相对于上述腿部的宽度方向上的中心偏移即可，从上述槽部(上述槽部的内面)到腿部的两个侧面的距离(形成在腿部的主面上的堤台的尺寸)可以不相同。
[0013]而且，这里所说的“中央”，并不严格限定于上述槽部的中央的位置(具体而言，上述宽度方向上的上述槽部的中央的位置)。换言之，即使由于制造误差上述槽部的最低点产生从中央的稍微的位置偏移，也具有同样的作用效果(参照下述)。换言之，由于制造偏差引起的中央位置偏移也在本发明的范围内。
[0014]根据本发明，该音叉型水晶振动片由水晶片形成，在形成在上述腿部的两个主面上的上述槽部的内面上，不能将所有的侧面形成为相对于上述主面垂直。即使在这样的结构中，通过将上述槽部形成为相对于上述腿部的上述宽度方向上的中心偏移，也能够使其成为可有效保持各上述腿部的重量平衡的结构。
[0015]但是，仅是将该槽部形成为相对于上述腿部的上述宽度方向上的中心偏移并不是保持各上述腿部的重量平衡的最佳方法。换言之，即使是相对于上述腿部的上述宽度方向上的中心最大限度地偏移来形成上述槽部，也无法使上述腿部的重量均匀以至保持重量平衡。这种现象，尤其是与现在的该音叉型水晶振动片的小型化趋势有关，以往的大尺寸音叉型水晶振动片即使不考虑重量平衡也能够保持平衡，但是在小型化后的该音叉型水晶振动片中，上述腿部也被小型化、狭小化，在小型、狭小的上述腿部上形成槽部时，重量平衡会失衡。这样，由于小型化产生了在以往的音叉型水晶振动片中没有考虑过的问题。
[0016]对此，本发明的结构具有以下特征:上述槽部被形成为相对于上述腿部的上述宽度方向上的中心偏移，在上述槽部中，在从上述宽度方向上的端面来看的形状上，上述槽部的最低点位于上述宽度方向的上述槽部的中央。根据本结构，通过使上述槽部的最低点位于上述宽度方向上的上述槽部的中央，对于由上述水晶片形成的、上述槽部被形成为相对于上述腿部的上述宽度方向上的中心偏移的结构，能够进一步进行重量修正以保持重量平衡。这与在该音叉型水晶振动片上使用上述水晶片有关，由上述槽部的多个面组成的侧面具有倾斜面，侧面(多个面)的倾斜面的角度不同。因此，虽然形成上述槽部会导致上述腿部的重量平衡失衡，但是根据本发明，在上述槽部中，在从上述宽度方向上的端面来看的形状上，上述槽部的最低点位于上述宽度方向上的上述槽部的中央，因此能够修正上述槽部的侧面的倾斜面的角度，从而能够通过角度修正进行上述腿部的重量修正，其结果是，能够保持重量平衡，从而通过形成在上所述腿部上的槽部形状能够抑制对于特性(Cl值等)产生的影响。
[0017]具体而言，根据本发明，该音叉型水晶振动片由水晶片形成，在各个上述腿部上形成有相对于上述腿部的宽度方向上的中心偏移的上述槽部，并且在上述槽部中，在从宽度方向上的端面来看的形状上，上述槽部的最低点位于上述宽度方向上的上述槽部的中央，因此对于各上述腿部能够抑制重量失衡。
[0018]使上述槽部的位置相对于上述腿部的宽度方向上的中心偏移，从而能够取得上述腿部上的上述宽度方向上的左右的重量平衡。进一步，在上述槽部上，在从宽度方向上的端面来看的形状上，上述槽部的最低点位于上述宽度方向上的上述槽部的中央，因此能够减小侧面(多个面)的斜面的角度差。其结果是，改善了重量平衡。另外，与此相对，在以往的音叉型水晶振动片中，腿部的左右斜面的角度有很大不同，因此腿部的纵向的振动左右不同，导致重量平衡失衡。
[0019]而且，与本发明不同，在槽部存在底面的情况下，最低点的位置不确定导致重量平衡失衡，但根据本发明，不会发生这样的问题。另外，根据本发明，槽部不存在底面只存在上述最低点。
[0020]而且，在以往的在各个腿部上形成有槽部的音叉型水晶振动片中，不仅会产生激励所需的主振动，还会产生其他振动模式(纵振动模式等)。这与在以往的结构中，槽部的最低点或者底面被形成为相对于腿部的宽度方向上的中心有较大偏移有关，而且，槽部的内面(侧面)成为相对于主面倾斜的倾斜面。
[0021]与此相对，根据本发明，由于在各个上述腿部上形成有相对于上述宽度方向上的中心偏移的上述槽部，在上述槽部中，在从上述宽度方向上的端面来看的形状上，上述槽部的最低点位于上述宽度方向上的中央，因此在从上述宽度方向上的端面来看的形状上，能够使上述槽部的内面中的侧面的形状为对称，或者接近对称。而且，与以往的音叉型水晶振动片相比，能够减少一个以上的上述槽部的内面中的倾斜面。其结果是，能够抑制因被减掉的倾斜面而导致的其他振动模式(纵振动模式等)的产生，从而能够抑制该音叉型水晶振动片的特性劣化，例如能够抑制Cl值的下降或Cl值的上升。
[0022]但是，现在，装载音叉型水晶振动片的水晶振子或者振荡器等压电振动设备的封装尺寸有变小的趋势(例如，封装尺寸'2.0mmX 1.2mm以下)，发明人已确认伴随着小型化在音叉型水晶振动片的振动上会产生寄生。另一方面，以往，音叉型水晶振动片几乎不产生寄生，无需考虑抑制寄生，但是对于现在的小型的音叉型水晶振动片还需要探讨寄生的抑制。关于该寄生的产生，根据本发明，通过减少上述槽部的侧面的倾斜面，或者减小倾斜面的倾斜角度差，能够抑制寄生，本发明最适于小型的音叉型水晶振动片。而且，还能够防止因寄生的产生而导致的振荡频率值(主振动值)改变。
[0023]在上述结构中，在上述腿部的两个主面上，分别形成有一主面一侧的槽部和另一主面一侧的槽部，在一主面一侧的槽部和另一主面一侧的槽部中，在从突出方向上的端面来看的形状上，上述最低点位于相对的位置。
[0024]在这种情况下，由于在上述一主面一侧的上述槽部和上述另一主面一侧的上述槽部中，在从突出方向上的端面来看的形状上，上述最低点位于相对的位置，因此对于各上述腿部的厚度方向能够抑制重量平衡的失衡。其结果是，能够抑制因重量平衡失衡而导致的其他振动模式(纵振动模式等)的产生，从而能够抑制该音叉型水晶振动片的特性劣化，例如能够抑制Cl值的下降或Cl值的上升。
[0025]发明效果
[0026]根据本发明，通过形成在腿