静电消除器的制造方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明属于静电消除领域，具体涉及一种静电消除器。
【背景技术】
[0002]在电子元件制造领域，静电往往会由于接触和摩擦等原因形成于电子元件的表面上，而形成的静电会对灰尘等细小颗粒产生吸引力，使其吸附于电子元件的表面，对其产生污染。然而，不少工艺对洁净程度要求较高，如微影和蚀刻等半导体加工工艺。此外，当静电累计到一定量之后，便会产生静电放电，对电子元件造成损坏，因此，有必要对电子元件进行静电消除。
[0003]如业界所周知，使用静电消除器来消除静电已经成为主要的除静电方式。静电消除器主要通过给放电针施加高压电，使其产生电晕放电，进而让周围的空气电离，得到离子化的气体。离子化的气体和电子元件表面的静电接触，进而中和静电。
[0004]然而，当放电针产生电晕放电时灰尘等杂质往往会被吸引附着在放电针的尖端，使得消除静电的效率逐渐降低，因此，使用者需要定期将放电针拆卸下来以清除掉上面灰尘这比较繁琐麻烦，给静电消除器的使用带来很大的不便。
[0005]此外，在现用的静电消除器中，由于是从喷嘴中直接向电子元件表面喷射离子化气体的，因而在有喷嘴的位置与无喷嘴的位置之间产生了气体流速不均及离子分布不均等，使得电子元件的消除静电过程难以均匀地进行。
【发明内容】
[0006]本发明的目的在于克服现有技术中存在的上述不足，提供一种不但能自动清洁放电针，而且能均匀地释放出离子化气体消除静电的静电消除器。
[0007]本发明的技术方案为:提供一种静电消除器，包括:放电针，通过电晕放电使空气电离产生离子化气体；外壳，其前端面具有多个让离子化气体通过的小孔；鼓风风扇，位于外壳的后部，用于产生气流让所述离子化气体流向所述外壳的外部；旋转装置，用于使安装在所述旋转装置上的转臂旋转，以使得设置在所述转臂末端的刷子清洁掉所述放电针上的灰尘；除尘风扇，位于外壳的后部，用于产生气流将所述刷子清洁放电针而产生的灰尘排到所述外壳的外部；电力供应装置，用于给所述放电针、鼓风风扇和除尘风扇供电。
[0008]优选地，在所述鼓风风扇的后侧有用于过滤灰尘的过滤网，所述除尘风扇的前侧有用于过滤灰尘和收集灰尘的过滤器。
[0009]优选地，在所述鼓风风扇和除尘风扇的外侧均还有用于阻挡气流的挡板，所述挡板可以根据鼓风和除尘的需要进行合上和开启。
[0010]优选地，所述放电针在一个与外壳前端面平行的圆周上均匀布置，所述旋转装置位于所述圆周的中心处。
[0011]优选地，在所述刷子旋转过程中，所述放电针经过与其对应的刷子的轴线。
[0012]优选地，所述放电针与所述外壳的前端面之间有一定的空间，使得离子化气体可以在该空间扩散均匀后再从所述的小孔释放出去。
[0013]优选地，所述鼓风风扇开启时气流由所述外壳的外部向内部流动，所述的除尘风扇开启时气流由所述外壳的内部向外部流动。
[0014]优选地，所述放电针安装在一个安装架上。
[0015]本发明所述的静电消除器的工作原理为:当需要消除静电时，电力供应装置对放电针施加高电压，使得放电针电晕放电，将外壳内的空气电离得到离子化气体，离子化的气体在外壳内扩散均匀，与此同时，鼓风风扇及其外侧的挡板开启(除尘风扇及其外侧的挡板关闭)，鼓风得到的气流将外壳内的气体向外壳的前端面均匀吹出，进而消除物体表面的静电；当需要清洁放电针时，旋转装置启动，通过转臂的旋转带动刷子将放电针上的灰尘刷下漂浮在空气中，与此同时，除尘风扇及其外侧的挡板开启(鼓风风扇及其外侧的挡板关闭)，使得灰尘和因此被吸入外壳的空气流向过滤器，空气中的灰尘被过滤器过滤掉并被收集起来，干净的空气则通过过滤器流向外壳的外部。为了更干净地清洁放电针上的灰尘，旋转装置先往一个方向旋转若干圈，再反方向旋转若干圈。这样就实现了消除静电和清洁放电针两个过程。
[0016]与现有技术相比，本发明的有益效果在于:(1)本静电消除器通过旋转装置带动刷子清洁掉放电针上的灰尘，免去了原来需要人工定期将放电针拆卸下来清洁的环节，简化了静电消除器的使用程序，提高了自动化水平，使得使用更方便，效率更高；(2)离子化气体子在外壳的内部扩散后，再从外壳前端面大量的小孔释放出，使得外壳前端面的离子化气体分布均匀，进而均匀有效地去除静电。
【附图说明】
[0017]图1为依据本发明一个实施例的消除静电时的横截面示意图。
[0018]图2为依据本发明一个实施例的前端面示意图。
[0019]图3为依据本发明一个实施例的清洁放电针时的横截面示意图。
[0020]图4为依据本发明一个实施例的旋转装置顺时针旋转的示意图。
[0021]图5为依据本发明一个实施例的放电针安装架示意图。
[0022]图中:1放电针；2外壳；3外壳前端面；4小孔；5鼓风风扇；6除尘风扇；7灰尘；8旋转装置；9转臂；10刷子；11电力供应装置；12过滤网；13过滤器；14鼓风风扇挡板；15除尘风扇挡板；16安装架。
【具体实施方式】
[0023]下面结合附图与具体实施例对本发明作进一步的说明。
[0024]如图1所示，本静电消除器包括:放电针1，通过电晕放电使空气电离产生离子化气体；外壳2，其前端面3具有多个让离子化气体通过的小孔4 ;鼓风风扇5，位于外壳2的后部，用于产生气流让所述离子化气体流向所述外壳2的外部；旋转装置8，用于使安装在旋转装置8上的转臂9旋转，以使得设置在转臂9末端的刷子10清洁掉放电针I上的灰尘7 ;除尘风扇6，位于外壳2的后部，用于产生气流将刷子10清洁放电针I而产生的灰尘7排到外壳2的外部；电力供应装置11，用于给放电针1、鼓风风扇5和除尘风扇6供电。
[0025]在鼓风风扇5的后侧有用于过滤灰尘的过滤网12，除尘风扇6的前侧有用于过滤灰尘和收集灰尘的过滤器13 ;在鼓风风扇5外侧有用于阻挡气流的挡板13，在除尘风扇6的外侧有用于阻挡气流的挡板14，当鼓风时，鼓风风扇挡板14开启，除尘风扇挡板15合上；当除尘时，除尘风扇挡板15开启，鼓风风扇挡板14合上；放电针I在一个与外壳前端面3平行的圆周上均匀布置，旋转装置8位于所述圆周的中心处；刷子10旋转过程中，放电针I经过与其对应的刷子10的轴线；放电针I与外壳前端面2之间有一定的空间，使得离子化气体可以在该空间扩散均匀后再从的小孔4释放出去；鼓风风扇5开启时气流由外壳2外部向内部流动，除尘风扇6开启时气流由外壳2内部向外部流动；放电针I安装在一个安装架16上。
[0026]如图1和图2所示，当需要消除静电时，电力供应装置11对放电针I施加高电压，使得放电针I电晕放电，将外壳2内的空气电离得到离子化气体，离子化的气体在外壳2内扩散均匀，与此同时，鼓风风扇5及其外侧的挡板14开启(除尘风扇6及其外侧的挡板15关闭)，鼓风得到的气流将外壳2内的气体向外壳的前端面的小孔4均匀吹出，进而消除物体表面的静电。
[0027]如图3和图4所示，当需要清洁放电针I以维护静电消除器时，旋转装置8启动，通过转臂9的旋转带动刷子10顺时针转动，将放电针I上的灰尘7刷下漂浮在空气中，与此同时，除尘风扇6及其外侧的挡板15开启(鼓风风扇5及其外侧的挡板14关闭)，使得灰尘7和因此被吸入外壳2的空气流向过滤器13，空气中的灰尘7被过滤器13过滤掉并被收集起来，干净的空气则通过过滤器13流向外壳2的外部。
[0028]如图5所示，放电针I安装在一个安装架16上，为了气流可以顺畅通过以及降低静电消除器的重量，安装架16由两个圆环和几根骨架构成。
[0029]以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种静电消除器，其特征在于，其包括: 放电针，通过电晕放电使空气电离产生离子化气体； 外壳，其前端面具有多个让离子化气体通过的小孔； 鼓风风扇，位于外壳的后部，用于产生气流让所述离子化气体流向所述外壳的外部； 旋转装置，用于使安装在所述旋转装置上的转臂旋转，以使得设置在所述转臂末端的刷子清洁掉所述放电针上的灰尘； 除尘风扇，位于外壳的后部，用于产生气流将所述刷子清洁放电针而产生的灰尘排到所述外壳的外部； 电力供应装置，用于给所述放电针、鼓风风扇和除尘风扇供电。2.根据权利要求1所述的静电消除器，其特征在于，在所述鼓风风扇的后侧有用于过滤灰尘的过滤网，所述除尘风扇的前侧有用于过滤灰尘和收集灰尘的过滤器。3.根据权利要求1或2所述的静电消除器，其特征在于，在所述鼓风风扇和除尘风扇的外侧均还有用于阻挡气流的挡板，所述挡板可以根据鼓风和除尘的需要进行合上和开启。4.根据权利要求1所述的静电消除器，其特征在于，所述放电针在一个与外壳前端面平行的圆周上均匀布置，所述旋转装置位于所述圆周的中心处。5.根据权利要求1所述的静电消除器，其特征在于，在所述刷子旋转过程中，所述放电针经过与其对应的刷子的轴线。6.根据权利要求1或4或5所述的静电消除器，其特征在于，所述放电针与所述外壳的前端面之间有一定的空间，使得离子化气体可以在该空间扩散均匀后再从所述的小孔释放出去。7.根据权利要求1或2或3所述的静电消除器，其特征在于，所述鼓风风扇开启时气流由所述外壳的外部向内部流动，所述的除尘风扇开启时气流由所述外壳的内部向外部流动。8.根据权利要求1或4或5或6所述的静电消除器，其特征在于，所述放电针安装在一个安装架上。
【专利摘要】本发明提供一种静电消除器，包括：放电针，通过电晕放电使空气电离产生离子化气体；外壳，其前端面具有多个让离子化气体通过的小孔；鼓风风扇，位于外壳的后部，用于产生气流让所述离子化气体流向所述外壳的外部；旋转装置，用于使安装在所述旋转装置上的转臂旋转，以使得设置在所述转臂末端的刷子清洁掉所述放电针上的灰尘；除尘风扇，位于外壳的后部，用于产生气流将所述刷子清洁放电针而产生的灰尘排到所述外壳的外部；电力供应装置，用于给所述放电针、鼓风风扇和除尘风扇供电。该静电消除器不但能自动清洁放电针，而且能均匀地释放出离子化气体消除静电。
【IPC分类】H05F3/06
【公开号】CN105188245
【申请号】CN201510683838
【发明人】黄春强, 刘洋, 姚进
【申请人】四川大学
【公开日】2015年12月23日
【申请日】2015年10月22日