薄型散热片及其制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种散热片，特别涉及一种薄型散热片及其制作方法。
【背景技术】
[0002] -种利用印刷电路板工艺制成的散热片，其包括两层铜箔，每层铜箔包括一个接 合表面，每个接合表面上蚀刻形成有至少一个蚀刻槽，该两层铜箔通过该两个接合面相互 密封，且对应的两个蚀刻槽形成一个散热腔，每个散热腔内灌注有冷却液。该散热片利用该 冷却液的气液两相变化进行散热，目前，该散热片的散热效率较低。
【发明内容】
[0003] 有鉴于此，有必要提供一种能够提高散热效率的薄型散热片及其制造方法。
[0004] 一种薄型散热片，其包括两层铜箔，每层铜箔包括一接合表面，并在至少一层铜箔 的接合表面上形成有至少一个蚀刻槽，每个蚀刻槽的内壁上延伸有数个突柱，每个突柱的 顶部形成有数个瘤状结构，该两层铜箔通过该两个接合表面相互密封，且每个蚀刻槽构成 一散热腔。
[0005] -种薄型散热片的制作方法，其包括以下步骤： 提供两层铜箔，每层铜箔包括一接合表面； 在至少一层铜箔的一接合表面上蚀刻形成至少一个蚀刻槽； 在每个蚀刻槽的内壁上电镀形成数个延伸的突柱； 在每个突柱的顶部形成数个瘤状结构； 黏合两个该接合表面以将该两层铜箔结合在一起，以使每个蚀刻槽构成一散热腔。
[0006] 本发明的蚀刻槽的内壁上延伸有数个突柱，每个突柱的顶部形成有数个瘤状结构 使得该散热腔的内腔壁的表面积增大，从而增加了该散热腔的内腔壁上的冷却液的表面张 力，促进了冷却液的流动，提高了散热效率。
【附图说明】
[0007] 图1-图4、图6及图8为本发明第一实施方式的薄型散热片的制作流程图。
[0008] 图5为图4的薄型散热片的一局部放大示意图。
[0009] 图7为图6的薄型散热片的一局部放大实物图。
[0010] 图9为本发明第二实施方式的薄型散热片的示意图。
[0011] 图10为本发明第三实施方式的薄型散热片的示意图。
[0012] 图11为本发明第三实施方式的薄型散热片的示意图。
[0013] 主要元件符号说明
如下【具体实施方式】将结合上述附图进一步说明本发明。
【具体实施方式】
[0014] 本发明第一实施方式的薄型散热片的制作方法包括以下几个步骤： 第一步，请参阅图1，提供两层铜箔10。本实施方式中，每层铜箔10的厚度均为140微 米。可以理解，铜箔10的的厚度并不限于本实施方式，可以根据实际需要选用更厚或者更 薄的铜箔，且该两层铜箔10的厚度可以不同。
[0015] 第二步，请参阅图2,在每层铜箔10上形成蚀刻槽11。具体的，本实施方式中，每 层铜箔10包括一个接合表面l〇a，在每层铜箔10的接合表面10a和与该接合表面10a相对 的另一表面上分别形成一个保护层20,与该接合表面10a相对应的保护层20开设有两个开 口 21，蚀刻该两个开口 21处露出的铜箔10以在铜箔10上形成两个蚀刻槽11，每个蚀刻槽 11包括一个内壁111，每个蚀刻槽11的延伸方向大致相平行，每个蚀刻槽11垂直于其延伸 方向的横截面基本呈半圆状，且每个蚀刻槽11的深度大于或等于其所属铜箔10厚度的二 分之一。本实施方式中，两层铜箔10上的蚀刻槽11相对且对称设置。可以理解，在其他实 施方式中，蚀刻槽11垂直于其延伸方向的横截面可以呈其他形状，如矩形、梯形等。
[0016] 第三步，请参阅图3,在每个内壁111上形成表面处理层1111。具体的，本实施方 式中采用双氧水（H 202)对每个内壁111进行氧化处理形成该表面处理层1111。
[0017] 第四步，请参阅图4及图5,在每个内壁111上形成数个突柱112。本实施方式是 在流量为:T6L/min的硫酸铜电镀液内对每个蚀刻槽11的内壁111进行电镀，以在每个内 壁111上形成数个突柱112。具体的，在环境温度25~31°C温度下，采用ΚΚΓ120Α的电流对 每个内壁111电镀:Γ5秒，经电镀处理后，每个蚀刻槽11的内壁111上延伸有数个锥形的 突柱112。当然，本步骤中的电镀参数并不限于本实施方式，可视实际情况进行改变。
[0018] 第五步，请参阅图6及图7,在每个突柱112的顶部形成数个瘤状结构113。具体 的，本实施方式是在流量为:T6L/min的硫酸铜电镀液内对每个突柱112进行电镀，以在每 个突柱112的顶部形成数个瘤状结构113。具体的，在环境温度为25~31°C温度下，采用 ΚΓ30Α的电流对每个突柱112电镀6~8秒，经电镀处理后，每个突柱112的顶部形成有数个 瘤状结构113。其中，电镀形成该数个突柱112所采用的电流大于电镀形成该数个瘤状结构 113所采用的电流，且电镀形成该数个突柱112所用的时间较电镀形成该数个瘤状结构113 所用的时间短。可以理解，本步骤中的电镀参数并不限于本实施方式，可视实际情况进行改 变。
[0019] 第六步，请参阅图8,去除保护层20并结合该两层铜箔10。具体的，本实施方式中， 去除四个保护层20后，黏合该两个接合表面10a以将该两层铜箔10结合在一起，以使两个 对应的蚀刻槽11形成一个散热腔30,从而得到一薄型散热片100,其中，所述散热腔30用 于收容冷却液50。
[0020] 在结合该两层铜箔10之前，还包括在该两个接合表面10a上形成粘结材料40的 步骤。本实施方式中，该粘结材料40是通过印刷方式形成，且该粘结材料40上并未形成有 突柱112。另，在形成该粘结材料40之前，还包括灌注冷却液50至每个散热腔30内的步 骤。
[0021] 请参阅图5至图8,本发明第一实施方式的薄型散热片100,其包括两层铜箔10,每 层铜箔10包括一接合表面l〇a，每个接合表面10a开设有两个蚀刻槽11，每个蚀刻槽11的 内壁111上延伸有数个锥形的突柱112,每个突柱112的顶部形成有数个瘤状结构113,且 每两个对应的蚀刻槽11形成一个散热腔30,该两层铜箔10通过该两个接合表面10a相互 密封，该两个接合表面l〇a借由粘结材料40胶粘结而结合在一起，每个散热腔30内容置有 冷却液50。本实施方式中，每层铜箔10上均形成有蚀刻槽11，且所述两层铜箔10的蚀刻 槽11 一一对应且相通，其中，每两个对应且相通的蚀刻槽11的形状相同且呈对称设置。
[0022] 该薄型散热片100散热时，该冷却液50在该散热腔30内快速流动，且部分冷却液 50吸收热量并汽化成气体，该气体遇冷凝结成冷却液50回流到该散热腔30底部，形成循 环 。