电致发光装置及其制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及具有EL(电致发光)元件的电致发光装置及其制造方法。
【背景技术】
[0002]近年来，在各种商品和领域中使用平板显示器，要求平板显示器进一步大型化、高画质化、低消耗电力化。
[0003]在这样的状況下，具备利用有机材料的电场发光(ElectroLuminescence)的有机EL(电致发光)元件的有机EL显示装置，作为全固体型且在能够低电压驱动、高速响应性、自发光性等方面优异的平板显示器，受到高度关注。
[0004]例如在有源矩阵方式的有机EL显示装置中，在设置有TFT(薄膜晶体管)的基板上设置有薄膜状的有机EL元件。在有机EL元件中，在一对电极之间层叠有包括发光层的有机EL层。TFT与一对电极中的一个电极连接。通过在一对电极间施加电压使发光层发光来进行图像显示。
[0005]此外，已知在上述那样的以往的有机EL显示装置中，为了防止由水分或氧气引起的有机EL元件的劣化，在该有机EL元件上形成密封膜。此外，提出了在这样的以往的有机EL显示装置中，使用将无机层和有机层层叠而得到的层叠膜作为上述密封膜。
[0006]具体而言，提出了在上述那样的以往的有机EL显示装置中，例如如下述专利文献1中记载的那样，设置从该有机EL显示装置的中央部越向边缘部去，密度和厚度越增大的密封膜。在该以往的有机EL显示装置中，能够防止侧面方向的水分或氧气的渗透。
[0007]此外，提出了在以往的有机EL显示装置中，例如如下述专利文献2中记载的那样，设置将有机层和无机层交替地层叠而得到的密封膜，并且在该密封膜中，最上层的有机层以外的各有机层形成在比无机层窄的区域。即，在该以往的有机EL显示装置中，与密封玻璃基板紧贴的、上述最上层的有机层以外的各有机层，以其端部不露出在外部的方式，由相互层叠的2个无机层覆盖。在该以往的有机EL显示装置中，能够防止由露出导致的有机层的劣化。
[0008]现有技术文献
[0009]专利文献
[0010]专利文献1:日本特开2011-124213号公报
[0011]专利文献2:日本特开2009-37812号公报
【发明内容】
[0012 ]发明要解决的技术问题
[0013]然而，在上述那样的以往的有机EL显示装置(电致发光装置)中，存在不能可靠地抑制水分渗透，不能防止有机EL元件(电致发光元件)的劣化，可靠性大幅下降的问题。
[0014]具体而言，在上述专利文献1中记载的以往的有机EL显示装置中，以有机层露出的方式设置，因此，即使增大该有机层的密度和厚度，也不能可靠地抑制水分或氧气渗透。此夕卜，在该以往的有机EL显示装置中，以无机层的膜厚在端部逐渐减小的方式设置，因此，在该无机层产生了针孔等缺陷的情况下，水分等容易经由该缺陷或有机层渗透。
[0015]此外，在上述专利文献2中记载的以往的有机EL显示装置中，多个无机层相互直接接触地层叠，因此，层叠部分的膜应力增高，由于该应力，会产生无机层相互剥离、或者无机层从基板剥离的问题。其结果，在该以往的有机EL显示装置中，水分等经由有机层渗透，有机EL显示装置的可靠性大幅下降。
[0016]鉴于上述的技术问题，本发明的目的是提供可靠地抑制水分渗透、并且可靠性优异的电致发光装置及其制造方法。
[0017]用于解决技术问题的手段
[0018]为了实现上述目的，本发明的电致发光装置具备基板和设置在上述基板上的电致发光元件，其特征在于:具备将上述电致发光元件密封的密封膜，在上述密封膜中设置有2层以上的有机层和2层以上的无机层，并且，在上述密封膜中，上述有机层和上述无机层交替地设置，上述2层以上的各有机层形成为该各有机层的端部的膜厚逐渐减小，在上述密封膜中，上述无机层设置在上述密封膜的最上层，并且，该最上层的无机层以覆盖下层的上述有机层的端部和下层的上述无机层的端部的方式设置。
[0019]在如上述那样构成的电致发光装置中，在上述密封膜中，设置有2层以上的有机层和2层以上的无机层，并且该有机层和无机层交替地设置。此外，在2层以上的各有机层形成为该各有机层的端部的膜厚逐渐减小。此外，在密封膜中，无机层设置在该密封膜的最上层，并且该最上层的无机层以覆盖下层的有机层的端部和下层的无机层的端部的方式设置。由此，与上述以往例不同，能够构成可靠地抑制水分渗透、并且可靠性优异的电致发光
目.ο
[0020]此外，在上述电致发光装置中，优选上述2层以上的各无机层形成为该各无机层的端部的膜厚不逐渐减小。
[0021 ]在该情况下，能够容易地提高密封膜对电致发光元件的密封性。
[0022]此外，在上述电致发光装置中，优选在上述2层以上的各有机层中，该各有机层的膜厚逐渐减小的渐减区域设置在上述基板上的上述电致发光元件的外侧区域。
[0023]在该情况下，能够可靠地防止密封膜的可靠性、进而电致发光装置的可靠性下降，并且也能够防止电致发光装置的性能下降。
[0024]此外，在上述电致发光装置中，优选上述2层以上的各有机层形成为该各有机层的上述电致发光元件上的部分的膜厚实质上均匀。
[0025]在该情况下，能够容易地提高密封膜对电致发光元件的密封性，并且也能够防止电致发光装置的性能下降。
[0026]此外，在上述电致发光装置中，优选在上述电致发光元件侧设置有与上述基板相对的对置基板，在上述基板与上述对置基板之间设置有将上述电致发光元件封入的框状的密封件。
[0027]在该情况下，能够更可靠地防止电致发光元件的劣化。
[0028]此外，本发明的电致发光装置的制造方法，是具备基板和设置在上述基板上的电致发光元件的电致发光装置的制造方法，该电致发光装置的制造方法的特征在于，具备:在上述电致发光元件上或在将上述电致发光元件密封的最下层的无机层上，形成端部的膜厚逐渐减小的第一有机层的工序;在上述第一有机层上形成中间层的无机层的工序;在上述中间层的无机层上形成端部的膜厚逐渐减小的第二有机层工序;和以覆盖上述无机层的端部以及上述第一有机层和上述第二有机层的各端部的方式形成最上层的无机层的工序。
[0029]在如上述那样构成的电致发光装置的制造方法中，设置有在电致发光元件上或在将电致发光元件密封的最下层的无机层上形成端部的膜厚逐渐减小的第一有机层的工序。此外，依次进行在第一有机层上形成中间层的无机层的工序、在中间层的无机层上形成端部的膜厚逐渐减小的第二有机层的工序、和以覆盖无机层的端部以及第一有机层和第二有机层的各端部的方式形成最上层的无机层的工序。由此，与上述以往例不同，能够构成可靠地抑制水分渗透、并且可靠性优异的电致发光装置。
[0030]此外，在上述电致发光装置的制造方法中，上述无机层可以使用CVD法或ALD法形成。
[0031 ]在该情况下，能够高精度并且容易地形成无机层。
[0032]此外，在上述电致发光装置的制造方法中，上述第一有机层和上述第二有机层中的至少上述第二有机层可以使用蒸镀法或溅射法形成。
[0033]在该情况下，能够高精度并且容易地形成至少第二有机层。
[0034]此外，在上述电致发光装置的制造方法中，在上述电致发光元件上形成的上述第一有机层可以使用湿法形成。
[0035]在该情况下，能够高精度、容易并且成本低廉地形成第一有机层。
[0036]此外，在上述电致发光装置的制造方法中，在形成上述最上层的无机层以外的上述无机层以及上述第一有机层和上述第二有机层的工序中，使用倒锥状的掩模。
[0037]在该情况下，能够实现制造工序的简化和制造时间的缩短。
[0038]发明效果
[0039]根据本发明，能够提供可靠地抑制水分渗透、并且可靠性优异的电致发光装置及其制造方法。
【附图说明】
[0040]图1是对本发明的第一实施方式的有机EL显示装置进行说明的截面图。
[0041]图2是对图1所示的密封膜的具体结构进行说明的截面图。
[0042]图3是表示上述密封膜的端部的放大截面图。
[0043]图4是上述有机EL显示装置的俯视图。
[0044]图5是对在上述有机EL显示装置的制造工序中使用的掩模进行说明的图，图5的
(a)是表示在最上层的无机层以外的无机层和有机层的形成工序中使用的第一掩模的平面图，图5的(b)是表示在最上层的无机层的形成工序中使用的第二掩模的平面图。
[0045]图6是对上述有机EL显不装置的主要制造工序进彳丁说明的图，图6的(a)?图6的
(b)对一连串的主要制造工序进彳丁说明。
[0046]图7是对上述有机EL显示装置的主要制造工序进行说明的图，图7的(a)?图7的
(b)对接着图6的(b)所不的工序之后进彳丁的一连串的主要制造工序进彳丁说明。
[0047]图8是对上述密封膜的具体效果进行说明的图，图8的(a)是对第一比较例中的具体问题进行说明的图，图8的(b)是对第二比较例中的具体问题进行说明的图，图8的(c)是对上述密封膜的具体效果进行说明的图。
[0048]图9是对本发明的第二实施方式的有机EL显示装置中的密封膜的具体结构进行说明的截面图。
[0049]图10是表示图9所示的密封膜的端部的放大截面图。
[0050]图11是对图9所不的有机EL显不装置的主要制造工序进彳丁说明的图，图11的(a)?图11的(b)对一连串的主要制造工序进彳丁说明。
[0051 ]图12是对图9所不的有机EL显不装置的主要制造工序进彳丁说明的图，图12的(a)?图12的(b)对接着图11(b)所示的工序之后进行的一连串的主要制造工序进行说明。
[0052]图13是对图9所示的密封膜的具体效果进行说明的图，图13的(a)是对第三比较例中的具体问题进行说明的图，图13的(b)是对第四比较例中的具体问题进行说明的图，图13的(c)是对图9所示的密封膜的具体效果进行说明的图。
[0053]图14是对本发明的第三实施方式的有机EL显示装置进行说明的截面图。
【具体实施方式】
[0054]以下，参照附图，对表示本发明的电致发光装置及其制造方法的优选实施方式进行说明。另外，在以下的说明中，以将本发明应用于有机EL显示装置的情况为例进行说明。此外，各图中的构成部件的尺寸并没有忠实地表示实际的构成部件的尺寸和各构成部件的尺寸比率等。
[0055][第一实施方式]
[0056]图1是对本发明的第一实施方式的有机EL显示装置进行说明的截面图。在图1中，本实施方式的有机EL显示装置1具备作为基板的TFT基板2和设置在该TFT基板2