弹性波谐振器、弹性波滤波器装置以及双工器的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及在压电基板上形成了IDT电极的单端口型的弹性波谐振器。此外，本发明涉及具有上述单端口型的弹性波谐振器的弹性波滤波器装置以及双工器。
【背景技术】
[0002]以往，在构成滤波器装置的谐振器等中，声表面波谐振器被广泛使用。在下述的非专利文献I所记载的单端□型声表面波谐振器中，IDT电极被串联分割。在此，第IIDT电极与第2IDT电极被串联连接。第1、第2IDT电极的面积被设得较大，以使得成为与不分割的情况相同的阻抗。由此，降低了第1、第2IDT电极内的能量密度，并降低了非线性信号所引起的失真。
[0003]另一方面，在下述的专利文献I中，公开了用于提高耐热冲击性的声表面波装置。在该声表面波装置中，在压电基板上构成有2个声表面波谐振器部分。2个声表面波谐振器部分被并联地电连接。即构成第1、第2声表面波谐振器部分的第1、第2IDT电极被并联地电连接。
[0004]在先技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1: JP特开2004-320411号公报
[0007]非专利文献
[0008]非专利文献1: “A Triple-Beat-Free PCS SAW Duplexer (IEEEUltrason.Symp.，pp.67-70，2012)
【发明内容】
[0009]发明要解决的课题
[0010]在非专利文献I所记载的声表面波装置中，能够减小非线性失真。但是，第1、第2IDT电极的面积变大。因此，小型化是很困难的。
[0011]另一方面，在专利文献I所记载的声表面波装置中，以提高耐热冲击性为目的而采用了并联连接结构。在该结构中，即使不增大IDT电极的面积，也能够抑制非线性失真。但是，在专利文献I所公开的并联连接结构中，用于连接第1、第2IDT电极的迂回布线占用较大的空间。因此，小型化同样是很困难的。
[0012]本发明的目的在于提供一种能够抑制非线性失真并且实现小型化的单端口型的弹性波谐振器。
[0013]本发明的另一目的在于提供一种具有能够抑制非线性失真并且实现小型化的弹性波谐振器的弹性波滤波器装置以及双工器。
[0014]用于解决课题的手段
[0015]本发明所涉及的弹性波谐振器是具有第I端子和第2端子的单端口型的弹性波谐振器。本发明所涉及的弹性波谐振器具备:具有极化方向的压电基板、第1、第2IDT电极、共用反射器和第1、第2反射器。
[0016]上述第1、第2IDT电极在上述压电基板上沿着弹性波传播方向进行了配置。上述共用反射器配置在上述第IIDT电极与上述第2IDT电极之间。上述第I反射器配置在隔着上述第IIDT电极而与上述共用反射器相反的一侧。上述第2反射器配置在隔着上述第2IDT电极而与上述共用反射器相反的一侧。
[0017]在本发明所涉及的弹性波谐振器中，将上述压电基板的极化方向投影于压电基板面的方向设为投影极化方向。上述投影极化方向与上述压电基板上的弹性波传播方向正交。此外，将上述投影极化方向的前端侧设为第I端部侧，将基端侧设为第2端部侧。
[0018]在本发明中，还具备将上述第I反射器、上述第IIDT电极以及上述第2反射器的上述第I端部侧部分彼此电连接的布线电极。该布线电极设为上述第I端子。
[0019]此外，上述第IIDT电极以及上述共用反射器的上述第2端部侧部分彼此电连接，并设为上述第2端子。上述共用反射器以及上述第2IDT电极的上述第I端部侧部分彼此电连接。上述第2IDT电极以及上述第2反射器的上述第2端部侧部分彼此电连接。
[0020]上述第1、第2IDT电极在上述第I端子与上述第2端子之间并联连接。
[0021]在本发明所涉及的弹性波谐振器的某一特定的局面中，上述第IIDT电极中的电压施加方向以及第2IDT电极中的电压施加方向在上述投影极化方向上设为相互反向。
[0022]在本发明所涉及的弹性波谐振器的另一特定的局面中，上述第I反射器的上述第I端部侧部分与上述第IIDT电极的上述第I端部侧部分电连接。
[0023]在本发明所涉及的弹性波谐振器的又一特定的局面中，上述第I反射器、上述共用反射器以及上述第2反射器分别具有配置在上述第I端部侧的第I端部汇流条、和配置在上述第2端部侧的第2端部汇流条，上述第1、第2IDT电极分别具有配置在上述第I端部侧的第I汇流条、和配置在上述第2端部侧的第2汇流条。上述第IIDT电极的上述第2汇流条与上述共用反射器的上述第2端部汇流条相连而被一体化。上述共用反射器的上述第I端部汇流条与上述第2IDT电极的上述第I汇流条相连而被一体化。上述第2IDT电极的上述第2汇流条与上述第2反射器的上述第2端部汇流条相连而被一体化。
[0024]在本发明所涉及的弹性波谐振器的其他特定的局面中，在各汇流条与各端部汇流条相连而被一体化的部分中，汇流条与端部汇流条构成为沿同一方向延伸并且具有相同宽度。
[0025]本发明所涉及的弹性波滤波器装置具有多个弹性波谐振器，至少一个弹性波谐振器由按照本发明构成的弹性波谐振器构成。
[0026]在本发明所涉及的弹性波滤波器装置的某一特定的局面中，上述多个弹性波谐振器构成了梯型电路。
[0027]在本发明所涉及的弹性波滤波器装置的另一特定的局面中，上述梯型电路具有多个串联臂谐振器以及多个并联臂谐振器，上述多个串联臂谐振器以及上述多个并联臂谐振器由上述多个弹性波谐振器构成，上述串联臂谐振器以及上述并联臂谐振器之中的至少一个谐振器由按照本发明构成的弹性波谐振器构成。
[0028]本发明所涉及的双工器具有与天线端连接的第I带通滤波器、和与天线端连接且通频带与第I带通滤波器不同的第2带通滤波器。上述第I带通滤波器以及上述第2带通滤波器当中的至少一方具有按照本发明构成的弹性波谐振器。
[0029]在本发明所涉及的双工器的某一特定的局面中，第I以及第2带通滤波器当中的至少一方具有多个弹性波谐振器，该多个弹性波谐振器之中最接近上述天线端的一侧的至少一个弹性波谐振器由按照本发明构成的弹性波谐振器构成。
[0030]发明效果
[0031]根据本发明所涉及的弹性波谐振器，由于在第1、第2端子间并联连接了第1、第2IDT电极的结构中，如上述那样构成了包含各IDT电极以及反射器的电极结构，因此能够抑制非线性失真，并且能够实现小型化。
【附图说明】
[0032]图1(a)以及图1(b)是本发明的第I实施方式所涉及的弹性波谐振器的俯视图以及侧视图。
[0033]图2是表示作为本发明的第2实施方式的双工器的电路图。
[0034]图3是表示作为本发明的第3实施方式的双工器的电路图。
[0035]图4是表示作为本发明的第4实施方式的双工器的电路图。
[0036]图5是表示作为本发明的第5实施方式的双工器的电路图。
[0037]图6是表示对本发明的实施方式所涉及的弹性波谐振器、与第1、第2比较例的弹性波谐振器的二次谐波的响应进行表征的衰减量频率特性的图。
[0038]图7是表示声边界波装置的结构例的正面剖视图。
[0039]图8是第2比较例的弹性波谐振器的俯视图。
【具体实施方式】
[0040]以下，通过参照附图对本发明的【具体实施方式】进行说明，使得本发明明了。
[0041]图1(a)以及图1(b)是作为本发明的第I实施方式的弹性波谐振器的俯视图以及侧视图。弹性波谐振器I具有压电基板2。在本实施方式中，压电基板2由LiTaO3基板构成。但是，压电基板2也可以使用LiNbO3等其他压电单晶或者其他压电陶瓷来构成。压电基板2的极化方向是P方向。将该极化方向P投影在压电基板面的方向设为投影极化方向Px。
[0042]在压电基板2上，构成了电极结构3。由该电极结构3构成了单端口型的弹性波谐振器。即，构成了具有第I端子9和第2端子10的单端口型的声表面波谐振器。
[0043]在本实施方式中，电极结构3由Ti与AlCu合金的层叠金属形成。但是，构成电极结构3的金属材料并无特别限定，能够使用六8、？(1、1、10、11^1、(:1^11、？七以及以它们为主体的适当的合金来形成。此外，电极结构3也可以通过层叠金属膜来形成。上述电极结构3具有第1、第2101'电极4、5、第1、第2反射器6、7、共用反射器8以及布线电极11。
[0044]第IIDT电极4和第2IDT电极5在弹性波传播方向上中间隔着共用反射器8而配置。另外，弹性波传播方向是与上述投影极化方向Px正交的方向。
[0045]将该投影极化方向Px的前端侧设为第I端部侧，将基端侧设为第2端部侧。因此，在图1(a)中，第I端子9侧成为第I端部侧，第2端子10侧成为第2端部侧。
[0046]第IIDT电极4具有第I电极指4a和第2电极指4b。第I电极指4a和第2电极指4b相互交错插入。
[0047]第I电极指4a以及第2电极指4b在与上述投影极化方向Px平行的方向上延伸。第I电极指4a的基端与第I汇流条4c连接。第2电极指4b的基端与第2汇流条4d连接。
[0048]第2IDT电极5也同样地构成，具有第1、第2电极指5a、5b以及第1、第2汇流条5c、5d。
[0049]在上述第1、第2IDT电极4、5中，各第I汇流条4c、5c位于上述第I端部侧，第2汇流条4d、5d位于上述第2端部侧。
[0050]第I反射器6具有多根电极指6a。多根电极指6a的第I端部侧通过第I端部汇流条6b而连结。此外，多根电极指6a的第2端部侧通过第2端部汇流条6c而连结。共用反