基板检查时的补偿矩阵生成方法
【技术领域】
[0001] 本发明设及基板检查时的补偿矩阵生成方法，更详细而言，设及一种提取与补偿 矩阵模型一致的特征客体，生成补偿矩阵，并检测生成的补偿矩阵的有效性的基板检查时 的补偿矩阵生成方法。
【背景技术】
[0002] 一般而言，在电子装置内，具备至少一个印刷电路板(printed circuitboard; PCB)，在运种印刷电路板上，贴装有电路图案、连接衬垫部、与所述连接衬垫部电气连接的 驱动忍片等多样的电路元件。
[0003] -般而言，为了确认如上所述的多样的电路元件是否在所述印刷电路板上正确形 成或配置，使用形状测量装置。
[0004] W往的形状测量装置设置既定的测量区域(Field Of View,F0V)，在所述测量区 域内检查既定的电路元件是否正确形成。
[0005] 就测量区域而言，只有在需要测量的位置正确地设置，才能正确执行对需要测量 的电路元件的测量，但诸如印刷电路板的测量对象物会发生基板弯曲（warp )、扭曲 (distcxrtion)等歪曲，因而需要对其进行补偿。
[0006] 为此，可W利用测量区域上的诸如弯曲图案或孔图案等特征客体而生成补偿矩 阵，补偿测量区域内的衬垫位置。此时，生成的补偿矩阵是否可靠会成为问题。因此，要求一 种能够提高补偿矩阵的可靠性的补偿矩阵生成方法。
【发明内容】
[0007] 解决的技术问题
[000引为了解决所述技术课题，本发明的目的是提供一种基板检查时的补偿矩阵的生成 方法，用于在利用现在的测量区域(FOV)内的特征客体的信息生成补偿矩阵的情况下，提取 与补偿矩阵的模型一致的特征客体，生成补偿矩阵，并判断生成的补偿矩阵的有效性。 [0009]本发明的目的不限于W上提及的内容，未提及的其它目的是本发明所属技术领域 的技术人员可W从W下记载而明确理解的。
[0010]技术方案
[0011]旨在解决所述课题的本发明一种形态的基板检查时的补偿矩阵生成方法包括:在 基板上的测量区域(FOV)内，任意选择预先设置的NUNl含2)个特征客体的信息的步骤；W 所述基板上的提取的特征客体的信息为基础，生成第一补偿矩阵的步骤;把所述测量区域 内的所有特征客体应用于所述补偿矩阵，并比较所述所有特征客体的各个偏移值与预先设 置的基准值，从而对所述所有特征客体的各个偏移值不足于所述预先设置的基准值的特征 客体的数量进行计数的步骤;把所述步骤反复执行N2次(N2 ^ 1)，在所述计数的特征客体的 数量为最大的情况下，利用具有不足于所述预先设置的基准值的偏移值的特征客体的信 息，生成第二补偿矩阵的步骤。
[0012]所述方法可W还包括:把所述测量区域内的所有特征客体应用于所述第二补偿矩 阵，并比较所述所有特征客体的各个偏移值与预先设置的基准值，从而提取所述所有特征 客体的各个偏移值不足于所述预先设置的基准值的特征客体的步骤;及W所述提取的特征 客体的信息为基础，生成第=补偿矩阵的步骤。
[001引所述第一补偿矩阵及所述第二补偿矩阵可W为仿射变换（a f f i n e transformat ion)行列或投影变换(projective transformat ion)行列之一0 [0014]所述N2根据下面的数学式决定，
[0016] 所述P可W表示在选择了所述Nl个特征客体时，只选择不足于所述特定偏移值的 特征客体的几率，所述U可W表示在选择了一个特征客体时，所述选择的一个特征客体为不 足于特定偏移值的特征客体的几率。
[0017] 所述特征客体可W为所述测量区域上的孔图案、圆形图案或弯曲图案的角落部分 中至少一种。
[0018] 用于执行所述方法的能够在计算机中驱动的程序可W存储于记录介质。
[0019]发明效果
[0020] 根据本发明实施例的基板检查时的补偿矩阵生成方法，在生成用于基板检查时补 偿衬垫位置的补偿矩阵时，能够提高补偿矩阵的可靠性，因此，能够提高基板检查结果的准 确性。
[0021] 在本发明中，效果并非限定于W上提及的内容，未提及的其它效果是本发明所属
技术领域的技术人员可W从W下记载明确理解的。
【附图说明】
[0022] 图1是用于执行本发明一个实施例的基板检查时的测量区域补偿方法的基板检查 装置的构成图。
[0023] 图2是用于说明本发明实施例的基板检查时的测量区域补偿方法中应用的算法的 图。
[0024] 图3是图示本发明实施例的基板检查时的测量区域补偿方法的顺序图的图。
【具体实施方式】
[0025] 如果参照后面的与附图一同详细说明的实施例，本发明的目的、效果W及用于达 成其的技术构成将会明确。在说明本发明方面，在判断认为对公知功能或构成的具体说明 可能混淆本发明要旨的情况下，省略其详细说明。而且，后面说明的术语作为考虑在本发明 中的结构、作用及功能等而定义的术语，其会因使用者、运用者的意图或惯例而不同。
[0026] 但是，本发明并非限定于W下公开的实施例，可W W互不相同的多样的形态体现。 本实施例只提供用于使得本发明的公开更完整，向本发明所属技术领域的技术人员完整地 告知发明的范围，本发明只根据权利要求书中记载的权利要求项的范畴而定义。因此，其定 义应W本说明书通篇内容为基础作出。
[0027] 在通篇说明书中，当说某部分"包括"某构成要素时，只要没有特别反对的记载，运 意味着并非排除其它构成要素，可W还包括其它构成要素。
[0028] 下面参照附图，更加详细地说明本发明的优选实施例。
[0029] 图1是用于执行本发明一个实施例的基板检查时的测量区域补偿方法的基板检查 装置的构成图。
[0030] 如所述图1所示，基板检查装置100可W包括:控制部110,其控制基板检查装置100 的运转，处理执行各种功能所需的演算;平台部120,其移送及搭载并固定作为检查对象的 基板;测量部130,其用于对搭载于所述平台部120的基板执行检查;存储器部140,其存储用 于驱动基板检查装置100的程序及数据;显示部150,其用于输出基板检查装置100的运转状 态及检查结果等;及用户界面部160,其用于接受输入使用者的命令;等。
[0031] 首先，为了设置用于执行基板检查的检查区域，在基板上设置测量区域。所述测量 区域意味着为了检查所述基板的不良与否而在所述基板上设置的既定区域，在基板上可W 存在多个所述测量区域。所述测量区域可W W所述测量部130包括的照相机(未图示）的拍 摄范围(Field Of View,F0V)为基准进行设置。
[0032] 接着，获得关于所述测量区域的基准数据。所述基准数据例如可W是关于基板的 理论性的平面图像。所述基准数据可W从记录了关于所述基板的形状的计算机辅助设计 (CAD)信息或GERB邸信息获得。所述CAD信息或GERB邸信息包括所述基板的设计基准信息， 一般包括衬垫、电路图案、孔图案等相关配置信息。
[0033] 另一方面，所述基准数据可W从根据学习模式而获得的学习信息中获得。所述学 习模式例如可W按如下方式体现，在所述存储器部140中检索基板信息，根据检索结果，如 果没有基板信息，则实施裸基板学习，接着，所述裸基板学习完成，算出裸基板的诸如衬垫 及布线信息等的基板信息后，把所述基板信息存储于所述数据库。即，在所述学习模式下， 学习印刷电路板的裸基板，获得印刷电路板的设计基准信息，通过所述学习模式获得学习 信息，从而能够获得所述基准数据。
[0034] 然后，获得关于所述测量区域的测量数据。所述测量数据可W是用所述基板检查 装置100实际拍摄与所述基准数据对应的所述基板的图像。所述测量数据虽然与基准数据 类似，但由于所述基板的弯曲或扭曲，与基准数据相比会稍稍歪曲。
[0035] 因此，为了补偿运种歪曲，可W利用测量区域的特征客体的坐标而生成补偿矩阵， 利用其补偿测量区域上的衬垫的位置。所述特征客体(feature)可W为所述基板上的孔图 案、圆形图案或弯曲图案的角落部分中至少一种。
[0036] 此时，选择测量区域内的特征客体，利用相应特征客体的信息而生成补偿矩阵，在 运些特征客体中，会存在与多个特征客体所显示出的倾向不同的特征客体，显示出不同倾 向的特征客体的信息在补偿矩阵中包含得越多，补偿矩阵的可靠性会越下降，利用其进