声波元件和使用声波元件的梯型滤波器的制造方法
【专利摘要】用于减小声波元件中的电损耗的方法和装置。在一示例中，一种声波元件(60)包括具有上表面的压电体(50)、设置在所述压电体上的叉指换能器IDT电极(10、20)、设置在所述压电体上并且电连接到所述IDT电极的连接布线(30)、以及设置在所述连接布线上方的加强电极(40)，所述连接布线包括下连接布线和设置在所述下连接布线上方的上连接布线，所述加强电极接触并且电连接到所述下连接布线。
【专利说明】
声波元件和使用声波元件的梯型滤波器
技术领域
[0001 ]本发明涉及声波元件和使用声波元件的梯型滤波器。
[0002]相关申请的交叉引用
[0003]本申请依据美国法典第35卷第119节和PCT第8条主张2014年2月18日提交的题为“ACOUSTIC WAVE ELEMENTS AND LADDER FILTERS USING SAME” 的共同未决日本专利申请N0.2014-028059的权益，其通过引用整体合并于此以用于所有目的。
【背景技术】
[0004]图1和图2示出常规声波元件6000的示例，其可用于诸如无线通信装置之类的电子设备中。图1示出常规声波元件6000的平面图，图2示出沿图1的线B-BB取得的对应横截面图。如图1和2所示，常规声波元件6000包括第一叉指换能器(IDT)电极1000和第二IDT电极2000，二者都设置在压电体5000的上表面上。常规声波元件6000还包括将第一 IDT电极1000连接到第二 IDT电极2000的连接布线3000、以及设置在连接布线3000上的加强电极4000。设置加强电极4000以用于减小将第一 IDT电极1000连接到第二 IDT电极2000的连接布线3000的电阻。此外，连接布线3000包括下连接布线3002和上连接布线3001。上连接布线3001设置在下连接布线3002的上表面上。
[0005]日本专利申请公开N0.2011-71912描述了这样的常规声波元件的示例。
[0006]引文列表
[0007]专利文献
[0008]专利文献1:日本专利申请公开N0.2011-71912
【发明内容】
[0009]本申请的方面和实施例涉及声波元件和使用声波元件的梯型滤波器。
[0010]在诸如上面参照图1和2论述的常规声波元件中，仅在连接布线的上表面上设置加强电极不足以充分地减小电损耗。因此，根据本发明的声波元件的实施例可配置为大幅度地减小电连接在IDT电极之间的连接布线中的电损耗，如下面更详细地论述的那样。
[0011]根据一实施例，一种声波元件包括具有上表面的压电体，设置在所述压电体上方的叉指换能器(IDT)电极、设置在所述压电体上方并且连接到所述IDT电极的连接布线、以及设置在所述连接布线上方的加强电极，所述连接布线具有下连接布线和设置在所述下连接布线上方的上连接布线，所述加强电极接触并且电连接到所述下连接布线。
[0012]在所述声波元件的一示例中，所述连接布线包括沿与所述压电体的上表面垂直的方向延伸的孔电极，所述加强电极经由所述孔电极电连接到所述下连接布线。在一示例中，所述孔电极延伸穿过所述上连接布线和所述下连接布线，在所述上连接布线中的所述孔电极的第一直径大于在所述下连接布线中的所述孔电极的第二直径。
[0013]所述下连接布线的材料可不同于所述上连接布线的材料。特别地，所述下连接布线的材料的氧亲和力可小于所述上连接布线的材料的氧亲和力。
[0014]所述加强电极可接触并且电连接到所述下连接布线的上表面。在一示例中，在沿与所述压电体的上表面垂直的方向取得的横截面中，所述上连接布线被所述加强电极分开以提供第一和第二上连接布线，所述第一和第二上连接布线经由所述加强电极彼此电连接。所述声波元件还可包括设置在所述第一和第二上连接布线之间的所述压电体上的第三连接电极，所述第三连接布线被绝缘层覆盖，所述加强电极延伸于所述绝缘层之上。在另一示例中，在沿与所述压电体的上表面垂直的方向取得的横截面中，所述下连接布线被所述加强电极分开以提供第一和第二下连接布线，所述第一和第二下连接布线经由所述加强电极彼此电连接。所述声波元件还可包括设置在所述第一和第二下连接布线之间的所述压电体上的第三连接布线，所述第三连接布线被绝缘层覆盖，所述加强电极延伸于所述绝缘层之上。
[0015]在一示例中，所述IDT电极包括下IDT电极和设置在所述下IDT电极上方的上IDT电极，所述下IDT电极的材料与所述下连接布线的材料相同，所述上IDT电极的材料与所述上连接布线的材料相同。
[0016]根据另一实施例，一种声波元件包括具有上表面的压电体、设置在所述压电体上的第一叉指换能器(IDT)电极、设置在所述压电体上的第二 IDT电极、设置在所述压电体的上表面上并且电连接到所述第一 IDT电极和所述第二 IDT电极的连接布线、以及设置在所述连接布线上方的加强电极，所述连接布线包括下连接布线和设置在所述下连接布线上方的上连接布线，所述加强电极接触并且电连接到所述下连接布线。
[0017]在一示例中，所述下连接布线由第一材料形成，所述上连接布线由第二材料形成，所述第一材料的氧亲和力小于所述第二材料的氧亲和力。
[0018]在另一示例中，所述加强电极还接触并且电连接到所述上连接布线。所述连接布线还可包括沿与所述压电体的上表面垂直的方向延伸穿过所述上连接布线和所述下连接布线的孔电极。在一示例中，所述孔电极具有在所述上连接布线中的第一直径和在所述下连接布线中的第二直径，所述第一直径大于所述第二直径。所述加强电极经由所述孔电极电连接到所述下连接布线。
[0019]在另一示例中，在沿与所述压电体的上表面垂直的方向上取得的横截面中，所述连接布线，包括所述上和下连接布线二者，被所述加强电极分开以提供第一和第二连接布线，所述第一和第二连接布线经由所述加强电极彼此电连接。所述声波元件还可包括设置在所述第一和第二连接布线之间的所述压电体上的第三连接布线，所述第三连接布线被绝缘层覆盖，所述加强电极延伸于所述绝缘层之上。
[0020]另一实施例涉及一种梯型滤波器，其包括上述示例中的任何示例的声波元件。
[0021]根据另一实施例，一种声波元件包括具有上表面的压电体、设置在所述压电体上的第一叉指换能器(IDT)电极、设置在所述压电体上的第二 IDT电极、设置在所述压电体的上表面上并且电连接到所述第一 IDT电极和所述第二 IDT电极的连接布线、以及用于减小所述连接布线中的电损耗的装置。
[0022]下面将详细论述这些示例性方面和实施例的又另一些方面、实施例和优点。这里公开的实施例可以按与这里公开的原理中的至少一个一致的任何方式与其他实施例相组合，对“一实施例”、“一些实施例”、“一替代实施例”、“各种实施例”、“一个实施例”等的提及不一定是互斥的，旨在表明所描述的特定的特征、结构、或特性可被包括在至少一个实施例中。文中这些术语的出现不一定全部都涉及同一实施例。
【附图说明】
[0023]下面将参照附图论述至少一实施例的各个方面，附图无意是按比例绘制的。包括附图以提供对各个方面和实施例的示范和进一步理解，并且其被包括在本说明书中构成本说明书的一部分，但是无意定义对本发明的限制。在附图中，各图中示出的每个相同或几乎相同的部件由类似的数字表示。为了清楚起见，可能并非每个部件在每幅附图中都被标注。附图中:
[0024]图1是示意性示出常规声波元件的示例的平面图；
[0025]图2是沿图1中的线B-BB取得的图1的常规声波元件的横截面视图；
[0026]图3是示意性示出根据本发明各方面的声波元件的一示例的平面图；
[0027]图4A是沿图3中的线A-AA取得的图3的声波元件的示例的横截面视图；
[0028]图4B是沿图3中的线A-AA取得的图3的声波元件的示例的横截面视图；
[0029]图4C是沿图3中的线A-AA取得的图3的声波元件的示例的横截面视图；
[0030]图4D是沿图3中的线A-AA取得的图3的声波元件的示例的横截面视图；
[0031]图5A是常规声波元件的一示例的横截面视图，示出了连接布线的接触电阻值的测量条件；
[0032]图5B是图5A的示例常规声波元件的对应平面图；
[0033]图6A是根据本发明各方面的声波元件的一示例的横截面视图，示出了连接布线的接触电阻值的测量条件；
[0034]图6B是图6A的示例声波元件的对应平面图；
[0035]图7A是根据本发明各方面的声波元件的另一示例的横截面视图，示出了连接布线的接触电阻值的测量条件；
[0036]图7B是图7A的示例声波元件的对应平面图；
[0037]图8是示出与图5A-7B的示例对应的连接布线的接触电阻值的测量结果的特性图；
[0038]图9A是常规声波元件的一示例的横截面视图，示出了连接布线的每单位长度电阻值的测量条件；
[0039]图9B是图9A的示例常规声波元件的对应平面图；
[0040]图1OA是根据本发明各方面的声波元件的一示例的横截面视图，示出了连接布线的每单位长度电阻值的测量条件；
[0041 ]图1OB是图1OA的示例声波元件的对应平面图；
[0042]图1lA是根据本发明各方面的声波元件的另一示例的横截面视图，示出了连接布线的每单位长度电阻值的测量条件；
[0043]图1IB是图1IA的示例声波元件的对应平面图；
[0044]图12是示出与图9A-11B的示例对应的连接布线的电阻值的测量结果的特性图；
[0045]图13是根据本发明各方面的梯型滤波器的一示例的电路图；以及
[0046]图14是示出根据本发明各方面的梯型滤波器的通过特性的特性图。
【具体实施方式】
[0047]下面将参照附图和一示例性声波元件60对某些方面和实施例进行描述。
[0048]图3是示意性示出声波元件60的一实施例的平面图。图4A-4D是沿图3中的线A-AA取得的声波元件60的各种示例的横截面视图。
[0049]根据一实施例，声波元件60包括由单晶压电材料制成的压电体50。第一IDT电极10和第二 IDT电极20设置在压电体50的上表面上。声波元件60还包括在与第一 IDT电极10和第二 IDT电极20产生的声波的传播方向邻近IDT电极10、20设置的两个反射器13。声波元件60还包括电连接第一 IDT电极10和第二 IDT电极20的连接布线30、以及设置在连接布线30的上表面上以用于减小连接布线30的电损耗的加强电极40。第一 IDT电极10具有梳形电极，其每个包括线形的第一母线条(bus bar)12和相对于线形第一母线条12的线方向垂直延伸的多个第一电极指11。第一 IDT电极10由对置的梳形电极制成。与第一 IDT电极10类似，第二 IDT电极20包括梳形电极，其每个具有第二母线条22和多个第二电极指21。第一 IDT电极10、第二IDT电极20、反射器13、连接布线30、以及加强电极40可通过对金属性薄膜进行图案化来形成。虽然图中未示出，但是本领域技术人员将意识到，受益于本公开，通过设置覆盖压电体50、第一 IDT电极10、第二 IDT电极20、反射器13、连接布线30、以及加强电极40的上表面的电介质层，根据某些实施例的声波元件60可得到其温度特性的改善。
[0050]在一实施例中，连接布线30包括上连接布线31和下连接布线32。下连接布线32和加强电极40彼此接触且电连接，从而能够大幅降低连接布线30中的电损耗。当在薄膜加工期间在上连接布线31和下连接布线32的表面上形成的氧化膜阻挡了连接布线30和加强电极40之间的电连接时，会产生电损耗。换言之，由于氧化膜的存在，上述提供加强电极40而实现的减小连接布线30电阻的效果会丧失或变差。鉴于上述理由，某些方面和实施例解决了形成在连接布线30的表面上的氧化膜问题，并且通过减小连接布线30和加强电极40之间的接触电阻而降低了连接布线30中的电损耗。
[0051]根据一实施例，形成上连接布线31和下连接布线32的材料可优选是不易在表面上形成氧化膜的材料。通常，对氧化的易感性由氧亲和力表示。此外，因为在一实施例中连接布线30中的电损耗降低效果的主要原因在于其中下连接布线32和加强电极40彼此接触并且电连接的结构，所以可优选的是，使形成下连接布线32的材料的氧亲和力小于形成上连接布线31的材料的氧亲和力。材料的氧亲和力一般与标准自由能相关联，标准自由能(AG/kjmol—1)越小，氧亲和力就越小。代表性材料按标准自由能升序例举如下:
[0052]Pt<Ru<Cu<Mo^ff?Ti<Al<Mgo
[0053]将理解，虽然在至少一实施例中描述了上连接布线31和下连接布线32的两层结构，但是该结构不限于两层，可配置为三层或更多层。
[0054]下面将参照图4A-4D详细描述根据某些实施例的连接布线30和加强电极40的结构。
[0055]如图4A-4D所示，根据某些实施例，在连接布线30中，至少下连接布线32和加强电极40彼此接触并且电连接。下连接布线32、上连接布线31、加强电极40顺序设置在压电体50的上表面上。此外，连接布线30可利用薄膜加工与第一 IDT电极10和第二 IDT电极20—体且同时形成。此外可优选的是，使用相同的结构(例如，上下两层结构)和相同的材料以用于简化制造工艺。
[0056]参照图4A，在一实施例中，其特征在于上连接布线31被加强电极40分开，并且下连接布线32的上表面与加强电极40彼此接触且电连接。此外，上连接布线31的上表面和侧表面接触并且电连接到加强电极40。
[0057]参照图4B，在另一实施例中，除了图4A所示的示例的特性之外，下连接布线32也被加强电极40分开，并且压电体50也具有与加强电极40相接触的表面。加强电极40的特征可在于接触并且电连接到下连接布线32的侧表面的结构。
[0058]参照图4C，根据另一实施例，设置沿与压电体50的上表面垂直的方向延伸穿过上连接布线31和下连接布线32的孔电极70，使得下连接布线32和加强电极40彼此接触并且电连接。此外，关于沿与压电体50的上表面平行的方向取得的孔电极70的横截面，可优选的是，使设置在下连接布线32中的孔电极70的横截面积小于设置在上连接布线31中的孔电极70的横截面积，使得不仅下连接布线32的侧面，而且其上表面可以接触并且电连接到加强电极40。结果，接触面积更大，从而进一步减小接触电阻。
[0059]将理解，孔电极70的形状不限于图4C所示的示例，而是可具有任何横截面形状，包括例如圆形、矩形等。此外，横截面可以在孔电极70的深度方向上不同地配置。还将理解，虽然图中未示出，但是孔电极70可以仅设置在上连接布线31中，使得下连接布线32的上表面接触并且电连接到孔电极70。
[0060]参照图4D，其示出根据某些示例的连接布线的另一结构。在该结构中，当被加强电极40分开的一连接布线30被指定为第一连接布线100，另一连接布线30被指定为第二连接布线110时，第三连接布线120设置在第一连接布线100和第二连接布线110之间的压电体50的上表面上。第三连接布线120被绝缘层80覆盖。作为特征结构，加强电极40经由绝缘层80与第三连接布线120的上方立体交叉，同时与第一连接布线100和第二连接布线110彼此接触和电连接。第三连接布线120可以是具有与第一连接布线100或第二连接布线110不同的电势的电极。在一示例中，第三连接布线120可以与第一连接布线100和第二连接布线110—体且同时形成。可优选地是，采用相同结构(例如，上下两层结构)和相同材料以简化制造工
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[0061]下面将参照图5A-7B，将声波元件60的实施例与常规声波元件相比较，来描述连接布线30和加强电极40之间的接触电阻，图5A-7B示出了测量连接布线30和加强电极40中的接触电阻的示例。
[0062]图5A和5B分别是与图2的常规声波元件的结构对应的横截面视图和平面图。图5A和5B示出了其中加强电极40仅接触和电连接到上连接布线31的比较例。
[0063]图6A和6B分别示出声波元件60的实施例的一示例的横截面视图和对应的平面图，其中与上连接布线31和下连接布线32都彼此接触和电连接。
[0064]图7A和7B分别示出声波元件60的实施例的另一示例的横截面视图和对应的平面图，其中仅下连接布线32接触和电连接到加强电极40。
[0065]对于这些示例中的每个，加强电极40由铝(Al)制成，上连接布线31由铝合金制成，下连接布线32由钼(Mo)制成，加强电极40和连接布线30之间的总接触面积为400μπι2。
[0066]图8示出了连接布线30和加强电极40之间的每单位面积接触电阻的测量结果。在图8中，对于图5Α-7Β中的每个绘制了五个测量点。如图8所示，图6Α-6Β和7Α-7Β的实施例的每单位面积接触电阻低于图5Α-5Β的比较例的每单位面积接触电阻。这是因为在薄膜加工期间在上连接布线31的上表面上形成的氧化膜增大了加强电极40和连接布线30之间的每单位面积接触电阻。此外，图7A-7B的实施例的每单位面积接触电阻低于图5A-5B和6A-6B的实施例的每单位面积接触电阻。这是因为下连接布线32(Mo)的氧亲和力小于上连接布线31(Al合金)，使得氧化膜更不易形成。此外，比较每单位面积接触电阻的测量值表明，图6A-6B和7A-7B的实施例的测量值比图5A-5B的比较例变化更小且更稳定。此外，图7A-7B的实施例的变化小于图6A-6B的实施例的变化。这表明加强电极40和其上可能形成氧化膜的上连接布线31之间的接触面积越大，接触电阻的测量值的变化越大。因此，根据某些实施例配置连接布线30使得至少下连接布线32接触且电连接到加强电极40减小了连接布线30和加强电极40之间的接触电阻。结果，可以减小连接布线30中的电损耗。
[0067]下面将参照图9A-1IB，通过比较声波元件60的另一实施例和常规声波元件，来描述连接布线30的每单位长度电阻值的示例，图9A-11B示出了测量连接布线30的每单位长度电阻值的示例。连接布线结构和每个结构的构成材料类似于图4所示并且上面描述的结构。下连接布线32设置在压电体50的上表面上，加强电极40继而设置在下连接布线32的上表面上。
[0068]图9A和9B分别示出其中加强电极40和下连接布线32之间没有接触的比较例的横截面视图和对应的平面图。图1OA的横截面视图和图1OB的对应平面图示出其中孔电极70具有8μπι直径并且延伸穿过上连接布线31和下连接布线32的示例实施例。孔电极70被填充有加强电极40，加强电极40与下连接布线32的侧表面经由孔电极70彼此电连接。
[0069]图12示出连接布线30的每单位长度电阻值的测量结果。如图12所示，图1OA-1OBK示的示例实施例的连接布线30中的每单位长度电阻值低于图9Α-9Β所示的比较例的连接布线30中的每单位长度电阻值。下连接布线32和加强电极40可彼此接触和电连接甚至一小的面积，结果是可减小连接布线30中的电损耗。
[0070]图1lA和IlB分别不出另一结构的横截面视图和平面图，在该结构中，孔电极70被填充有加强电极40并且仅设置在上连接布线31中以使得加强电极40接触并且电连接到下连接布线32的上表面。相对于图9Α-9Β的比较例，该结构也可减小连接布线30的每单位长度电阻值，并且也可实现减小连接布线30中的电损耗的效果。
[0071]将理解，孔电极70的直径不限于上述8μπι的示例，减小电损耗的效果可通过下连接布线32和加强电极40彼此接触和电连接来实现。
[0072]下面描述使用声波元件60的实施例的梯型滤波器和使用常规声波元件6000的梯型滤波器的通过特性。
[0073]图13是使用声波元件60的实施例的梯型滤波器400的一示例的电路图。如图13所示，根据一实施例的梯型滤波器400包括串联连接在输入端子201和输出端子202之间的第一串联谐振器301、第二串联谐振器302、第三串联谐振器303、以及第四串联谐振器304。第一并联谐振器305和第二并联谐振器306在一端连接在第一串联谐振器301和第二串联谐振器302之间，在另一端连接到地。第三并联谐振器307和第四并联谐振器308在一端连接在第三串联谐振器303和第四串联谐振器304之间，在另一端连接到地。谐振器301、302、303、304、305、306、307和308中的每个可包括声波元件60。
[0074]根据一实施例，梯型滤波器400的谐振器的每个IDT电极的两端都在单个部位处设置有孔电极70，如图1OB所示，而比较例制造成没有孔电极70。在图14中比较了每个梯型滤波器的通过特性。
[0075]图14示出梯型滤波器400中的通过特性的测量结果。如图14所示，相对于比较例，示例实施例的梯型滤波器可增强通带中的衰减量，并且可减小通带中的最小插入损耗。
[0076]这里论述的声波元件的实施例在梯型滤波器结构和/或诸如蜂窝电话之类的各种电子设备中是有用的。
[0077]上面已经描述了至少一实施例的若干方面，将理解，对本领域技术人员而言，各种替代、修改和改进是容易产生的。这样的替代、修改和改进旨在是本公开的一部分并且旨在落在本发明的范围内。因此，这里公开的方法和装置的实施例在应用时不限于前面描述或附图所示的部件构造和布置的细节。方法和装置能实施在其他实施例中并且以各种方式实践和执行。这里仅出于示范的目的提供了【具体实施方式】的示例，而无意成为限制。此外，这里使用的短语和术语是用于描述，而不应视为限制。这里使用的“包括”、“包含”、“具有”、“含有”、“涉及”及其变型意味着涵盖其后所列项和其等价物、以及附加项。对“或”的提及可解释为包括性的，从而用“或”描述的任何术语可表明描述项中的单个、超过一个、以及全部中的任何一种。还将理解，表明垂直方向、平行方向、深度方向等的术语用于描述性目的，以说明本发明的各方面。因此，这些术语不指定绝对方向，无意成为限制。前面的描述和附图仅是示例方式的，本发明的范围应根据对所附权利要求的适当理解及其等价物来确定。
【主权项】
1.一种声波元件，包括: 具有上表面的压电体； 设置在所述压电体上的叉指换能器IDT电极； 设置在所述压电体上并且电连接到所述IDT电极的连接布线，所述连接布线包括下连接布线和设置在所述下连接布线上方的上连接布线；以及 设置在所述连接布线上方的加强电极，所述加强电极接触并且电连接到所述下连接布线。2.如权利要求1所述的声波元件，其中，所述连接布线包括沿与所述压电体的上表面垂直的方向延伸的孔电极，所述加强电极经由所述孔电极电连接到所述下连接布线。3.如权利要求2所述的声波元件，其中，所述孔电极延伸穿过所述上连接布线和所述下连接布线，所述上连接布线中的所述孔电极的第一直径大于所述下连接布线中的所述孔电极的第二直径。4.如权利要求1所述的声波元件，其中，所述下连接布线的材料不同于所述上连接布线的材料。5.如权利要求4所述的声波元件，其中，所述下连接布线的材料的氧亲和力小于所述上连接布线的材料的氧亲和力。6.如权利要求1所述的声波元件，其中，所述加强电极接触并且电连接到所述下连接布线的上表面。7.如权利要求6所述的声波元件，其中，在沿与所述压电体的上表面垂直的方向取得的横截面中，所述上连接布线被所述加强电极分开以提供第一和第二上连接布线，所述第一和第二上连接布线经由所述加强电极彼此电连接。8.如权利要求7所述的声波元件，还包括设置在所述第一和第二上连接布线之间的所述压电体上的第三连接电极，所述第三连接布线被绝缘层覆盖，所述加强电极延伸于所述绝缘层之上。9.如权利要求7所述的声波元件，其中，在沿与所述压电体的上表面垂直的方向取得的横截面中，所述下连接布线被所述加强电极分开以提供第一和第二下连接布线，所述第一和第二下连接布线经由所述加强电极彼此电连接。10.如权利要求9所述的声波元件，还包括设置在所述第一和第二下连接布线之间的所述压电体上的第三连接布线，所述第三连接布线被绝缘层覆盖，所述加强电极延伸于所述绝缘层之上。11.如权利要求1所述的声波元件，其中，所述IDT电极包括下IDT电极和设置在所述下IDT电极上方的上IDT电极，所述下IDT电极的材料与所述下连接布线的材料相同，所述上IDT电极的材料与所述上连接布线的材料相同。12.—种梯型滤波器，包括权利要求1-11中的任何一项的声波元件。13.—种声波元件，包括: 具有上表面的压电体； 设置在所述压电体上的第一叉指换能器IDT电极； 设置在所述压电体上的第二 IDT电极； 设置在所述压电体的上表面上并且电连接到所述第一 IDT电极和所述第二 IDT电极的连接布线，所述连接布线包括下连接布线和设置在所述下连接布线上方的上连接布线；以及 设置在所述连接布线上方的加强电极，所述加强电极接触并且电连接到所述下连接布线。14.如权利要求13所述的声波元件，其中，所述下连接布线由第一材料形成，所述上连接布线由第二材料形成，所述第一材料的氧亲和力小于所述第二材料的氧亲和力。15.如权利要求13所述的声波元件，其中，所述加强电极还接触并且电连接到所述上连接布线。16.如权利要求15所述的声波元件，其中，所述连接布线还包括在与所述压电体的上表面垂直的方向上延伸穿过所述上连接布线和所述下连接布线的孔电极，所述孔电极具有在所述上连接布线中的第一直径和在所述下连接布线中的第二直径，所述第一直径大于所述第二直径，所述加强电极经由所述孔电极电连接到所述下连接布线。17.如权利要求13所述的声波元件，其中，在沿与所述压电体的上表面垂直的方向上取得的横截面中，所述连接布线，包括所述上连接布线和所述下连接布线两者，被所述加强电极分开以提供第一和第二连接布线，所述第一和第二连接布线经由所述加强电极彼此电连接。18.如权利要求17所述的声波元件，还包括设置在所述第一和第二连接布线之间的所述压电体上的第三连接布线，所述第三连接布线被绝缘层覆盖，所述加强电极延伸于所述绝缘层之上。19.一种梯型滤波器，包括权利要求13-18中的任意一项所述的声波元件。20.—种声波元件，包括: 具有上表面的压电体； 设置在所述压电体上的第一叉指换能器IDT电极； 设置在所述压电体上的第二 IDT电极； 设置在所述压电体的上表面上并且电连接到所述第一 IDT电极和所述第二 IDT电极的连接布线；以及 用于减小所述连接布线中的电损耗的装置。
【文档编号】H03H9/02GK106031031SQ201580008819
【公开日】2016年10月12日
【申请日】2015年2月17日
【发明人】滨冈阳介, 宮成光则, 中村弘幸, 中西秀和
【申请人】天工滤波方案日本有限公司