一种用于感应加热线圈的支撑装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体材料制备装置领域，具体涉及一种用于感应加热线圈的支撑装置
【背景技术】
[0002]作为第三代半导体材料中技术发展最为成熟的材料，SIC具有宽带隙、高临界击穿场强、高热导率、高载流子饱和迀移率以及高键合能等优点。其优异性能可以满足现代电子技术的特殊领域的新需求，特别适合制造高频、大功率、抗辐射、抗腐蚀的电子器件，因而被当做是半导体材料领域中最有前景的材料之一。许多国家相继投入了大量的资金对Sic进行了各方面深入的研宄，同时晶体生长设备也日益被人们所重视。
[0003]碳化硅晶体生长设备采用中频感应加热方式，整个加热电路由感应线圈、中频电源和谐振电容组成，感应线圈内部装有温场系统及晶体生长坩祸等部件，线圈安装的位置，包括垂直度，对中性等，晶体生长质量有着重要影响。
[0004]传统行业所制感应线圈一般采用铜管绕制，树脂胶木柱及铜螺丝固定每一匝，保证间隙。胶木柱两侧及与线圈接触部敷贴云母板，防止胶木柱炭化及短路打火。胶木柱底部支撑整个线圈的重量，圆周方向有多个胶木柱，且不能调节高度，容易造成线圈多个支撑点与底板虚接触的现象。
【发明内容】
[0005]本实用新型旨在针对现有技术的技术缺陷，提供一种用于感应加热线圈的支撑装置，以解决线圈安装不易调节，无法调整整体垂直度、对中性的技术问题。
[0006]为实现以上技术目的，本实用新型采用以下技术方案:
[0007]一种用于感应加热线圈的支撑装置，包括底板，基座，支撑柱，第一紧锁螺母，调节螺栓，第二紧锁螺母，螺杆，线圈本体，其中基座位于底板上表面，基座为绝缘材质，基座上部具有形状与支撑柱相配合的凹槽、支撑柱插接于该凹槽中，调节螺栓下部与支撑柱上部丝接形成第一接合部，第一紧锁螺母丝接于所述第一接合部处，调节螺栓上部与螺杆下部丝接形成第二接合部，第二紧锁螺母丝接于所述第二接合部处，线圈本体与螺杆固定连接。
[0008]优选的，还包括销钉，同时基座侧面具有横向贯穿基座的销孔，支撑柱下部侧面具有横向贯穿支撑柱的销孔，当支撑柱插接在基座的凹槽上时支撑柱上的销孔与基座上的销孔位置相重合，销钉贯穿上述全部销孔。
[0009]优选的所述插接为丝接。
[0010]优选的，底板具有空腔；在此基础上还可以进行如下优选:所述空腔为真空空腔。
[0011]优选的，所述绝缘材质为聚四氟乙烯。
[0012]优选的，所述支撑柱，第一紧锁螺母，调节螺栓，第二紧锁螺母，螺杆均为黄铜材质。
[0013]优选的，所述基座，支撑柱，第一紧锁螺母，调节螺栓，第二紧锁螺母，螺杆的数量相一致，各自一一对应，若干螺杆沿线圈本体外周均匀分布；在此基础上还可以进行如下优选:所述基座，支撑柱，第一紧锁螺母，调节螺栓，第二紧锁螺母，螺杆的数量均为4个。
[0014]在以上技术方案中，基座由四氟绝缘材料制成，防止线圈本体与底板短路打火。支撑柱坐于基座之上，孔轴间隙配合，采用销钉连接，防止脱落；当然也可以采用其他固定模式，例如丝接固定。调节螺栓下部与支撑柱上部螺纹配合，可调节高度至合理位置后，用第一锁紧螺母锁紧固定。调节螺栓的上端与线圈螺杆同样螺纹配合，安装连接后，用第二锁紧螺母锁紧固定。线圈安装时，分别调整各套调节螺栓，保持线圈整体的垂直度好，并锁紧螺母固定，从而可以方便的调节装置整体垂直度、对中性等位置条件。整套调整支撑装置中，支撑柱、锁紧螺母、及调节螺栓、线圈螺杆均可采用黄铜材质，散热快，耐高温。
[0015]利用本实用新型技术方案对感应加热线圈进行支撑固定，安装简便、稳定性好、可方便的调节装置角度，同时能够有效避免线圈本体与落地支撑部短路打火。同时本实用新型结构相对简单、成本较低，实用性强，因此具有突出的推广前景。
【附图说明】
[0016]图1是本实用新型实施例1的立体结构示意图；
[0017]图中:
[0018]1、底板2、基座3、销钉4、支撑柱
[0019]5、第一紧锁螺母6、调节螺栓 7、第二紧锁螺母8、螺杆
[0020]9、线圈本体
【具体实施方式】
[0021]以下将对本实用新型的【具体实施方式】进行详细描述。为了避免过多不必要的细节，在以下实施例中对属于公知的结构或功能将不进行详细描述。除有定义外，以下实施例中所用的技术和科学术语具有与本实用新型所属领域技术人员普遍理解的相同含义。
[0022]实施例1
[0023]一种用于感应加热线圈的支撑装置，包括底板1，基座2，支撑柱4，第一紧锁螺母5，调节螺栓6，第二紧锁螺母7，螺杆8，线圈本体9，其中基座2位于底板I上表面，基座2为绝缘材质，基座2上部具有形状与支撑柱4相配合的凹槽、支撑柱4插接于该凹槽中，调节螺栓6下部与支撑柱4上部丝接形成第一接合部，第一紧锁螺母5丝接于所述第一接合部处，调节螺栓6上部与螺杆8下部丝接形成第二接合部，第二紧锁螺母7丝接于所述第二接合部处，线圈本体9与螺杆8固定连接。
[0024]在以上技术方案中:
[0025]还包括销钉3，同时基座2侧面具有横向贯穿基座2的销孔，支撑柱4下部侧面具有横向贯穿支撑柱4的销孔，当支撑柱4插接在基座2的凹槽上时支撑柱4上的销孔与基座2上的销孔位置相重合，销钉3贯穿上述全部销孔。
[0026]底板I具有真空空腔。
[0027]所述绝缘材质为聚四氟乙烯。
[0028]所述支撑柱4，第一紧锁螺母5，调节螺栓6，第二紧锁螺母7，螺杆8均为黄铜材质。
[0029]所述基座2，支撑柱4，第一紧锁螺母5，调节螺栓6，第二紧锁螺母7，螺杆8的数量相一致，均为4个，各自一一对应形成4组支撑腿，4组支撑腿沿线圈本体9外周均匀分布。
[0030]实施例2
[0031]一种用于感应加热线圈的支撑装置，包括底板1，基座2，支撑柱4，第一紧锁螺母5，调节螺栓6，第二紧锁螺母7，螺杆8，线圈本体9，其中基座2位于底板I上表面，基座2为绝缘材质，基座2上部具有形状与支撑柱4相配合的凹槽、支撑柱4插接于该凹槽中，调节螺栓6下部与支撑柱4上部丝接形成第一接合部，第一紧锁螺母5丝接于所述第一接合部处，调节螺栓6上部与螺杆8下部丝接形成第二接合部，第二紧锁螺母7丝接于所述第二接合部处，线圈本体9与螺杆8固定连接。
[0032]在以上技术方案中:
[0033]所述插接为丝接。
[0034]底板I具有空腔。
[0035]所述绝缘材质为云母。
[0036]所述支撑柱4，调节螺栓6，螺杆8均为不锈钢材质。
[0037]所述基座2，支撑柱4，第一紧锁螺母5，调节螺栓6，第二紧锁螺母7，螺杆8的数量相一致，均为8个，各自一一对应形成8组支撑腿，8组支撑腿沿线圈本体9外周均匀分布。
[0038]实施例3
[0039]技术方案同实施例1，不同点仅在于:所述基座2，支撑柱4，第一紧锁螺母5，调节螺栓6，第二紧锁螺母7，螺杆8的数量相一致，均为10个，各自一一对应形成10组支撑腿，10组支撑腿沿线圈本体9外周均匀分布。
[0040]实施例4
[0041]技术方案同实施例1，不同点仅在于:所述基座2，支撑柱4，第一紧锁螺母5，调节螺栓6，第二紧锁螺母7，螺杆8的数量相一致，均为15个，各自一一对应形成15组支撑腿，15组支撑腿沿线圈本体9外周均匀分布。
[0042]实施例5
[0043]一种用于感应加热线圈的支撑装置，包括底板1，基座2，支撑柱4，第一紧锁螺母5，调节螺栓6，第二紧锁螺母7，螺杆8，线圈本体9，其中基座2位于底板I上表面，基座2为绝缘材质，基座2上部具有形状与支撑柱4相配合的凹槽、支撑柱4插接于该凹槽中，调节螺栓6下部与支撑柱4上部丝接形成第一接合部，第一紧锁螺母5丝接于所述第一接合部处，调节螺栓6上部与螺杆8下部丝接形成第二接合部，第二紧锁螺母7丝接于所述第二接合部处，线圈本体9与螺杆8固定连接。
[0044]以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型。凡在本实用新型的申请范围内所做的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种用于感应加热线圈的支撑装置，其特征在于包括底板(1)，基座(2)，支撑柱(4)，第一紧锁螺母(5)，调节螺栓(6)，第二紧锁螺母(7)，螺杆(8)，线圈本体(9)，其中基座(2)位于底板(I)上表面，基座(2)为绝缘材质，基座(2)上部具有形状与支撑柱(4)相配合的凹槽、支撑柱(4)插接于该凹槽中，调节螺栓(6)下部与支撑柱(4)上部丝接形成第一接合部，第一紧锁螺母(5)丝接于所述第一接合部处，调节螺栓(6)上部与螺杆(8)下部丝接形成第二接合部，第二紧锁螺母(7)丝接于所述第二接合部处，线圈本体(9)与螺杆(8)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于感应加热线圈的支撑装置，其特征在于还包括销钉(3)，同时基座(2)侧面具有横向贯穿基座(2)的销孔，支撑柱(4)下部侧面具有横向贯穿支撑柱(4)的销孔，当支撑柱(4)插接在基座(2)的凹槽上时支撑柱(4)上的销孔与基座(2)上的销孔位置相重合，销钉(3)贯穿上述全部销孔。
3.根据权利要求1所述的一种用于感应加热线圈的支撑装置，其特征在于所述插接为丝接。
4.根据权利要求1所述的一种用于感应加热线圈的支撑装置，其特征在于底板(I)具有空腔。
5.根据权利要求4所述的一种用于感应加热线圈的支撑装置，其特征在于所述空腔为真空空腔。
6.根据权利要求1所述的一种用于感应加热线圈的支撑装置，其特征在于所述绝缘材质为聚四氟乙烯。
7.根据权利要求1所述的一种用于感应加热线圈的支撑装置，其特征在于所述支撑柱(4)，第一紧锁螺母(5)，调节螺栓(6)，第二紧锁螺母(7)，螺杆(8)均为黄铜材质。
8.根据权利要求1所述的一种用于感应加热线圈的支撑装置，其特征在于所述基座(2)，支撑柱(4)，第一紧锁螺母(5)，调节螺栓(6)，第二紧锁螺母(7)，螺杆(8)的数量相一致，各自一一对应，若干螺杆⑶沿线圈本体(9)外周均匀分布。
9.根据权利要求8所述的一种用于感应加热线圈的支撑装置，其特征在于所述基座(2)，支撑柱(4)，第一紧锁螺母(5)，调节螺栓(6)，第二紧锁螺母(7)，螺杆(8)的数量均为4个。
【专利摘要】本实用新型提供了一种用于感应加热线圈的支撑装置，在该技术方案中，基座由四氟绝缘材料制成，防止线圈本体与底板短路打火。支撑柱坐于基座之上，孔轴间隙配合，采用销钉连接，防止脱落。调节螺栓上、下部分别与支撑线圈本体的螺杆、支撑柱丝接，能够方便的调整高度，同时在丝接接合部位具有用于固定位置的紧锁螺母。线圈安装时，分别调整各套调节螺栓，保持线圈整体的垂直度好，并锁紧螺母固定，从而可以方便的调节装置整体垂直度、对中性等位置条件。整套调整支撑装置中，支撑柱、锁紧螺母、及调节螺栓、线圈螺杆均可采用黄铜材质，散热快，耐高温。
【IPC分类】H05B6-36
【公开号】CN204272417
【申请号】CN201420784497
【发明人】赵梅玉, 巴音图, 高宇, 段聪
【申请人】河北同光晶体有限公司
【公开日】2015年4月15日
【申请日】2014年12月11日