高屏蔽性声表面波滤波器的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及滤波器技术领域，特别是指一种高屏蔽性声表面波滤波器。
【背景技术】
[0002]近年来，当电压加载在具有压电特性的基片材料的电极上，会在压电体材料的晶格中形成机械形变。当加载在压电晶体材料电极上的电压为输入的电信号，会在压电晶体材料表面的晶格中形成声表面波，该声表面波是一种在压电晶体材料表面传播，振幅随深入基片材料深度的增加而迅速减少的弹性机械波。
[0003]声表面波滤波器的基本结构是在压电特性的基片材料上通过半导体工艺形成交叉成对的梳状金属结构(称之为叉指换能器)，在叉指换能器上施加电信号，压电材料表面产生机械振动同时产生声表面波，这种声表面波在压电材料表面传播。叉指换能器包括输入端叉指换能器和输出端叉指换能器。电信号通过输入端叉指换能器转换成声表面波信号，沿晶体表面传播一定距离后到达输出端叉指换能器，输出端叉指换能器将接收到的声表面波信号转换成电信号输出。所述输入端叉指换能器和输出端叉指换能器根据不同的切指加权结构，对声表面波具有不同的传输特性。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型要解决的技术问题是提供一种高屏蔽性声表面波滤波器，能够实现三个滤波器的功能，并提尚屏蔽能力。
[0005]为解决上述技术问题，本实用新型的实施例提供一种高屏蔽性声表面波滤波器，所述高屏蔽性声表面波滤波器包括第一声表面波滤波器和第二声表面波滤波器，所述第一声表面波滤波器和第二声表面波滤波器集成于压电晶体基片上；
[0006]所述第一声表面波滤波器包括第一输入端叉指换能器和第一输出端叉指换能器，所述第一输入端叉指换能器和第一输出端叉指换能器之间设置有第一屏蔽条，所述第二声表面波滤波器包括第二输入端叉指换能器、第三输入端叉指换能器和第二输出端叉指换能器，所述第二输入端叉指换能器和第三输入端叉指换能器与第二输出端叉指换能器之间设置有第二屏蔽条，所述第一声表面波滤波器和第二声表面波滤波器之间设置有第三屏蔽条，所述第一屏蔽条和第二屏蔽条与第三屏蔽条连接，所述第三屏蔽条表面设置有电学隔离带和声学隔离带；
[0007]所述第一输入端叉指换能器的各叉指指条的梳柄部分通过第一汇流条以及第二汇流条相连接，所述第一屏蔽条的一端与第一输入端叉指换能器的第一汇流条连接并接地，所述第一屏蔽条的另一端与第三屏蔽条成T形连接；所述第三屏蔽条靠近第一输入端叉指换能器的一端与第一输入端叉指换能器的叉指指条连接。
[0008]优选的，将第一输入端叉指换能器的第二汇流条的叉指指条沿斜线切断，并将切断的叉指指条连接到延伸的第三屏蔽条靠近第一输入端叉指换能器的一端上，在第三屏蔽条靠近第一输入端叉指换能器的一端上形成一组三角形的叉指指条。
[0009]优选的，所述电学隔离带和声学隔离带重叠设置，所述电学隔离带设置在所述声学隔离带上方。
[0010]优选的，所述电学隔离带和声学隔离带重叠设置，所述声学隔离带设置在所述电学隔离带上方。
[0011]本实用新型的上述技术方案的有益效果如下:
[0012]上述方案中，本实用新型通过设置第一声表面波滤波器和第二声表面波滤波器，在同一芯片上实现了三个滤波器功能，通过设置对声表面波滤波器的屏蔽条进行了改进，该结构能够大幅减小直通信号，进而改善阻带。
【附图说明】
[0013]图1为本实用新型实施例的高屏蔽性声表面波滤波器结构图。
[0014][主要元件符号说明]
[0015]1、第一声表面波滤波器；
[0016]2、第二声表面波滤波器；
[0017]3、第一输入端叉指换能器；
[0018]4、第一输出端叉指换能器；
[0019]5、第一屏蔽条；
[0020]6、第二输入端叉指换能器；
[0021]7、第三输入端叉指换能器；
[0022]8、第二输出端叉指换能器；
[0023]9、第二屏蔽条；
[0024]10、第三屏蔽条；
[0025]11、电学隔离带；
[0026]12、声学隔离带；
[0027]13、第一汇流条；
[0028]14、第二汇流条。
【具体实施方式】
[0029]为使本实用新型要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
[0030]如图1所示，本实用新型的实施例提供的一种高屏蔽性声表面波滤波器，所述高屏蔽性声表面波滤波器包括第一声表面波滤波器I和第二声表面波滤波器2，所述第一声表面波滤波器I和第二声表面波滤波器2集成于压电晶体基片上；
[0031]所述第一声表面波滤波器I包括第一输入端叉指换能器3和第一输出端叉指换能器4，所述第一输入端叉指换能器3和第一输出端叉指换能器4之间设置有第一屏蔽条5，所述第二声表面波滤波器2包括第二输入端叉指换能器6、第三输入端叉指换能器7和第二输出端叉指换能器8，所述第二输入端叉指换能器6和第三输入端叉指换能器7与第二输出端叉指换能器8之间设置有第二屏蔽条9，所述第一声表面波滤波器I和第二声表面波滤波器2之间设置有第三屏蔽条10，所述第一屏蔽条5和第二屏蔽条9与第三屏蔽条10连接，所述第三屏蔽条10表面设置有电学隔离带11和声学隔离带12 ;
[0032]所述第一输入端叉指换能器3的各叉指指条的梳柄部分通过第一汇流条13以及第二汇流条14相连接，所述第一屏蔽条5的一端与第一输入端叉指换能器3的第一汇流条13连接并接地，所述第一屏蔽条5的另一端与第三屏蔽条10成T形连接；所述第三屏蔽条10靠近第一输入端叉指换能器3的一端与第一输入端叉指换能器3的叉指指条连接。
[0033]本实用新型实施例的高屏蔽性声表面波滤波器，通过设置第一声表面波滤波器和第二声表面波滤波器，在同一芯片上实现了三个滤波器功能，通过设置对声表面波滤波器的屏蔽条进行了改进，该结构能够大幅减小直通信号，进而改善阻带。
[0034]优选的，将第一输入端叉指换能器的第二汇流条的叉指指条沿斜线切断，并将切断的叉指指条连接到延伸的第三屏蔽条靠近第一输入端叉指换能器的一端上，在第三屏蔽条靠近第一输入端叉指换能器的一端上形成一组三角形的叉指指条。
[0035]优选的，所述电学隔离带和声学隔离带重叠设置，所述电学隔离带设置在所述声学隔离带上方。
[0036]优选的，所述电学隔离带和声学隔离带重叠设置，所述声学隔离带设置在所述电学隔离带上方。
[0037]本实用新型通过设置第一声表面波滤波器和第二声表面波滤波器，在同一芯片上实现了三个滤波器功能，通过设置对声表面波滤波器的屏蔽条进行了改进，该结构能够大幅减小直通信号，进而改善阻带。
[0038]上述方案中，本实用新型通过设置第一声表面波滤波器和第二声表面波滤波器，在同一芯片上实现了三个滤波器功能，通过设置对声表面波滤波器的屏蔽条进行了改进，该结构能够大幅减小直通信号，进而改善阻带。
[0039]以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种高屏蔽性声表面波滤波器，其特征在于，所述高屏蔽性声表面波滤波器包括第一声表面波滤波器和第二声表面波滤波器，所述第一声表面波滤波器和第二声表面波滤波器集成于压电晶体基片上； 所述第一声表面波滤波器包括第一输入端叉指换能器和第一输出端叉指换能器，所述第一输入端叉指换能器和第一输出端叉指换能器之间设置有第一屏蔽条，所述第二声表面波滤波器包括第二输入端叉指换能器、第三输入端叉指换能器和第二输出端叉指换能器，所述第二输入端叉指换能器和第三输入端叉指换能器与第二输出端叉指换能器之间设置有第二屏蔽条，所述第一声表面波滤波器和第二声表面波滤波器之间设置有第三屏蔽条，所述第一屏蔽条和第二屏蔽条与第三屏蔽条连接，所述第三屏蔽条表面设置有电学隔离带和声学隔离带； 所述第一输入端叉指换能器的各叉指指条的梳柄部分通过第一汇流条以及第二汇流条相连接，所述第一屏蔽条的一端与第一输入端叉指换能器的第一汇流条连接并接地，所述第一屏蔽条的另一端与第三屏蔽条成T形连接；所述第三屏蔽条靠近第一输入端叉指换能器的一端与第一输入端叉指换能器的叉指指条连接。
2.根据权利要求1所述高屏蔽性声表面波滤波器，其特征在于:将第一输入端叉指换能器的第二汇流条的叉指指条沿斜线切断，并将切断的叉指指条连接到延伸的第三屏蔽条靠近第一输入端叉指换能器的一端上，在第三屏蔽条靠近第一输入端叉指换能器的一端上形成一组三角形的叉指指条。
3.根据权利要求1所述高屏蔽性声表面波滤波器，其特征在于:所述电学隔离带和声学隔离带重叠设置，所述电学隔离带设置在所述声学隔离带上方。
4.根据权利要求1所述高屏蔽性声表面波滤波器，其特征在于:所述电学隔离带和声学隔离带重叠设置，所述声学隔离带设置在所述电学隔离带上方。
【专利摘要】本实用新型提供一种高屏蔽性声表面波滤波器，所述高屏蔽性声表面波滤波器包括第一声表面波滤波器和第二声表面波滤波器，所述第一声表面波滤波器和第二声表面波滤波器集成于压电晶体基片上；本实用新型通过设置第一声表面波滤波器和第二声表面波滤波器，在同一芯片上实现了三个滤波器功能，通过设置对声表面波滤波器的屏蔽条进行了改进，该结构能够大幅减小直通信号，进而改善阻带。
【IPC分类】H03H9-64
【公开号】CN204498081
【申请号】CN201520235244
【发明人】梁玉成, 马春荣, 韩军献, 贺春晖, 王伟泽, 侯月芹, 李辉, 易先堂, 杨小云, 张安康, 关永强
【申请人】梁玉成
【公开日】2015年7月22日
【申请日】2015年4月17日