一种半导体设备喷淋板加热装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种电加热装置，具体地来讲为一种半导体设备喷淋板加热装置。
【背景技术】
[0002]电加热是目前对金属材料加热效率最高、速度最快，低耗节能环保型的感应加热设备。特氟龙加热板就是一种耗费电能转化为热能，来对需要加热物料进行加热的一种装置。与一般燃料加热相比，电加热可获得较高温度，易于实现温度的自动控制和远距离控制。电加热能在被加热物体内部直接生热，因而热效率高，升温速度快，并可根据加热的工艺要求，实现整体均匀加热或局部加热(包括表面加热)。在电加热过程中，产生的废气、残余物和烟尘少，可保持被加热物体的洁净，不污染环境。特氟龙加热板是给半导体设备喷淋板加热的装置，由于喷淋板是13.56MHZ射频电源工作时的一极，当射频电源工作时，喷淋版上会有高频电压存在，则提供给加热板的电路中会产生带有干扰信号，从而影响到加热效果。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种不受高频信号干扰，能够准确反映加热板温度的半导体设备喷淋板加热装置。
[0004]本实用新型是这样实现的，一种半导体设备喷淋板加热装置，该装置包括温控系统与加热板，温控系统包括有温控器以及功率控制器，功率控制器的输出端通过连接AC滤波电路至加热板，设置一热电偶用于采集加热板的温度，所述热电偶通过连接一 TC滤波电路连接在温控器的温度采集输入端。
[0005]本实用新型进一步地，温控器通过连接的热电偶检测被加热元件的温度，通过当前温度值调节温控器的输出电流，该输出电流控制功率控制器的输出功率，来调节被加在被加热物体上的功率。
[0006]本实用新型进一步地，所述的加热板为特氟龙加热板。
[0007]本实用新型进一步地，所述功率控制器采用5度/分钟的升温速率进行加热电热板，功率控制器通过温控器的输出控制加热功率的输出。
[0008]本实用新型与现有技术相比，有益效果在于:本实用新型交流干扰信号大部分将被电感阻止吸收变成磁感和热能，剩下的大部分被电容旁路到地，这就可以抑制干扰信号的作用，在输出端就获得比较纯净的交流电。
[0009]经过TC滤波电路，采用电阻，电感和电容组成的RLC滤波电路，滤掉射频干扰(13.56MHz以上)和50Hz/60Hz(电源)的工频干扰，保证温控器接收到的信号能够正确地反映加热板的真实温度。
[0010]本实用新型温控系统主要有温控器和功率控制器组成。由于加热板安装在设备的喷淋头上方，具有较好的快速加热功能。由于加热板的功率密度较大，升温速度较快，需要温控器的功能比较强大，具有能够控制升温速率的功能采用5度/分钟的升温速率进行加热，这样即能有效地保护加热板，又能很好进行PID控制。功率控制器通过温控器的输出控制加热功率的输出。
【具体实施方式】
[0011]图1为本实用新型实施例提供的系统模块框图；
[0012]图2为本实用新型实施例提供的AC滤波电路的电路原理图；
[0013]图3为本实用新型实施提供的TC滤波电路的电路原理图。
【具体实施方式】
[0014]为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0015]参见图1，为本实用新型提供的一种半导体设备喷淋板加热装置的系统模块框图，该装置包括温控系统与加热板，温控系统包括有温控器以及功率控制器，功率控制器的输出端通过连接AC滤波电路至加热板，设置一热电偶用于采集加热板的温度，热电偶通过连接一 TC滤波电路连接在温控器的温度采集输入端。温控器通过连接的热电偶检测被加热元件的温度，通过当前温度值调节温控器的输出电流，该输出电流控制功率控制器的输出功率，来调节被加在被加热物体上的功率。加热板为特氟龙加热板。功率控制器采用5度/分钟的升温速率进行加热电热板，功率控制器通过温控器的输出控制加热功率的输出。
[0016]温控系统主要有温控器和功率控制器组成。由于加热板安装在设备的喷淋头上方，具有较好的快速加热功能。由于加热板的功率密度较大，升温速度较快，需要温控器的功能比较强大，具有能够控制升温速率的功能，目前在我们的系统中采用5度/分钟的升温速率进行加热，这样即能有效地保护加热板，又能很好进行PID控制。功率控制器通过温控器的输出控制加热功率的输出。
[0017]本实用新型通过AC滤波电路采用交流干扰信号大部分将被电感阻止吸收变成磁感和热能，剩下的大部分被电容旁路到地，这就可以抑制干扰信号的作用，在输出端就获得比较纯净的交流电。
[0018]热电偶是检测温度的元件，热电偶由在一头相连的两根不同金属线组成，相连端称为测量(“热”)接合点。金属线不相连的另一头接到信号调理电路走线，它一般由铜制成。在热电偶金属和铜走线之间的这一个接合点叫做参考(“冷”)接合点。我们所采用的K型热偶，电压信号太弱，在室温下，其电压变化幅度为41 μ V/°C。所以连接在温控系统的热偶一定需要经过TC滤波电路，采用电阻，电感和电容组成的RLC滤波电路，滤掉射频干扰(13.56MHz以上)和50Hz/60Hz(电源)的工频干扰，保证温控器接收到的信号能够正确地反映加热板的真实温度。
[0019]TC滤波电路主要由电容和电感组成，低频滤波器容许低频信号通过，但减弱(或减少)频率高于截止频率的信号通过。一阶滤波器在频率增加一倍时将信号强度减弱一半(大约-6dB)。所以，6阶滤波器的滚降速率是每倍频6*6dB。电容有电抗作用阻止低频信号通过，低频信号经过负载。在较高频率电抗作用减弱，电容起短路作用。电容上串联一个电阻的目的是给电容提供一个放电回路，防止电容上的高压击穿别的器件。
[0020]参见图2，AC滤波电路包括在输出电源的正负端VI分别设置串联的电感L5、电感L6和串联的电感L7和电感L8，在电感L5和电感L6之间通过电容C13接地，在电感L7和电感L8之间通过电容C14接地，电感L6与电感L8之间连接加热电阻R5。
[0021]参见图3，TC滤波电路为多级滤波电路，通过两路的电感L1与电感L2分别接在所连接的测温件的两端，电感L1以及电感L2的另一端输出或者连接多级的滤波电路，与电感L1连接的一路上通过电容C1接地，通过电容C3接地，并通过串联的电阻R1和电容C5接地，电感L2连接的一路上通过电容C2接地、通过电容C4接地，并通过串联的电阻R2和电容C6接地。
[0022]电感L1进一步地连接电感L3后输出，在电感L3后的输出线路上通过电容C7接地、电容C9接地、还通过串联的电阻R3和电容C11接地。
[0023]电感L2进一步地连接电感L4后输出，在电感L4后的输出线路上通过电容C8接地、电容C10接地、还通过串联的电阻R4和电容C12接地。形成多级滤波电路。
[0024]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种半导体设备喷淋板加热装置，其特征在于，该装置包括温控系统与加热板，温控系统包括有温控器以及功率控制器，功率控制器的输出端通过连接AC滤波电路至加热板，设置一热电偶用于采集加热板的温度，所述热电偶通过连接一 TC滤波电路连接在温控器的温度采集输入端。2.按照权利要求1所述的半导体设备喷淋板加热装置，其特征在于， 温控器通过连接的热电偶检测被加热元件的温度，通过当前温度值调节温控器的输出电流，该输出电流控制功率控制器的输出功率，来调节被加在被加热物体上的功率。3.按照权利要求1所述的半导体设备喷淋板加热装置，其特征在于，所述的加热板为特氟龙加热板。4.按照权利要求1所述的半导体设备喷淋板加热装置，其特征在于，所述功率控制器采用5度/分钟的升温速率进行加热电热板，功率控制器通过温控器的输出控制加热功率的输出。
【专利摘要】本实用新型涉及一种电加热装置，具体地来讲为一种半导体设备喷淋板加热装置。该装置包括温控系统与加热板，温控系统包括有温控器以及功率控制器，功率控制器的输出端通过连接AC滤波电路至加热板，设置一热电偶用于采集加热板的温度，所述热电偶通过连接一TC滤波电路连接在温控器的温度采集输入端。本实用新型交流干扰信号大部分将被电感阻止吸收变成磁感和热能，剩下的大部分被电容旁路到地，这就可以抑制干扰信号的作用，在输出端就获得比较纯净的交流电。经过TC滤波电路，采用电阻，电感和电容组成的RLC滤波电路，滤掉射频干扰(13.56MHz以上)和50Hz/60Hz(电源)的工频干扰，保证温控器接收到的信号能够正确地反映加热板的真实温度。
【IPC分类】H05B3/20, H05B1/02
【公开号】CN205081979
【申请号】CN201520748956
【发明人】吕欣, 王莹莹
【申请人】沈阳拓荆科技有限公司
【公开日】2016年3月9日
【申请日】2015年9月24日