半导体芯片生产用化学品在线加热器的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种半导体芯片生产用化学品在线加热器，包括：化学品加热输送管道，所述化学品加热输送管道具有进料口和出料口；设置在所述化学品加热输送管道内的若干电炉加热丝，所述外围设置有第一传热层；设置在所述化学品加热输送管道内的温度控制传感器，所述温度控制传感器外围设置有第二传热层；设置在所述化学品加热输送管道内表面的耐高温隔热层。本实用新型的有益效果在于：利用电炉加热丝加热，且设置有传热层，避免电炉加热丝和温度控制传感器直接接触化学品，防止电炉加热丝和温度控制传感器老化，同时也防止避免污染化学品，保障化学品洁净度，降低成本，易于制造，达到安全可靠、节能环保目的。
【专利说明】
半导体芯片生产用化学品在线加热器
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及一种半导体芯片生产用化学品在线加热器。
【背景技术】
[0002]半导体芯片在生产过程中需要用到化学品加热，当前化学品加热是把电炉丝加热器直接放置在化学品中加热，或者是通过加热水，利用管路循环在化学品中间接加热，主要存在以下缺陷:1、直接投放加热器，加热器容易老化和损坏;2、加热器表面洁净度达不到要求，会给化学品造成污染，影响芯片的良率或者直接报废;3、用水或者其他介质通过管路间接加热，消耗能耗大，湿度控制精度差，影响芯片生产良率或者直接报废。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于针对现有技术的上述不足和缺陷，提供一种半导体芯片生产用化学品在线加热器，以解决上述问题。
[0004]本实用新型所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现:
[0005]半导体芯片生产用化学品在线加热器，其特征在于，包括:
[0006]化学品加热输送管道，所述化学品加热输送管道具有进料口和出料口；
[0007]设置在所述化学品加热输送管道内的若干电炉加热丝，所述外围设置有第一传热层；
[0008]设置在所述化学品加热输送管道内的温度控制传感器，所述温度控制传感器外围设置有第二传热层；
[0009]设置在所述化学品加热输送管道内表面的耐高温隔热层。
[0010]在本实用新型的一个优选实施例中，还包括包覆在所述化学品加热输送管道外表面的保护罩。
[0011]在本实用新型的一个优选实施例中，所述化学品加热输送管道为石英管道。
[0012]在本实用新型的一个优选实施例中，所述电炉加热丝为三根，且与所述化学品加热输送管道平行设置，三根电炉加热丝周向均布在所述化学品加热输送管道内，所述化学品加热输送管道内设置有支撑三根电炉加热丝的三脚支架。
[0013]在本实用新型的一个优选实施例中，所述进料口和出料口分别设置在所述化学品加热输送管道的两端，且所述进料口和出料口设置有环形卡槽。
[0014]由于采用了如上的技术方案，本实用新型的有益效果在于:利用电炉加热丝加热，且设置有传热层，避免电炉加热丝和温度控制传感器直接接触化学品，防止电炉加热丝和温度控制传感器老化，同时也防止避免污染化学品，保障化学品洁净度，降低成本，易于制造，达到安全可靠、节能环保目的。
【附图说明】
[0015]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1是本实用新型一种实施例的主视图。
[0017]图2是图1的左视图。
[0018]图3是图1的右视图。
【具体实施方式】
[0019]为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面进一步阐述本实用新型。
[0020]参见图1至图3所示的半导体芯片生产用化学品在线加热器，包括化学品加热输送管道100，为了保证化学品加热输送管道100具有良好的加热性能以及耐腐蚀性，本实施例中的化学品加热输送管道100为石英管道。在化学品加热输送管道100的两端外侧分别设置有进料口 110和出料口 120，进料口 110和出料口 120上分别设置有环形卡槽111、121，保证连接的密封性。
[0021]在化学品加热输送管道100内设置有若干电炉加热丝200，为了防止电炉加热丝200直接和与化学品接触，电炉加热丝200外围设置有第一传热层210。为了使得化学品加热输送管道100内加热充分且均勾，电炉加热丝200为三根，且与化学品加热输送管道100平行设置，三根电炉加热丝200周向均布在化学品加热输送管道100内，化学品加热输送管道100内设置有支撑三根电炉加热丝200的三脚支架130。
[0022]在化学品加热输送管道100内设置有温度控制传感器300，为了防止温度控制传感器300直接和与化学品接触，温度控制传感器300外围设置有第二传热层310。
[0023]在化学品加热输送管道100内表面设置有耐高温隔热层140，避免化学品加热输送管道100内的高温外泄，达到节能效果。
[0024]在化学品加热输送管道100的外表面包覆有保护罩(图中未示出)，保证使用人员的安全。
[0025]本实用新型利用电炉加热丝200加热，且设置有传热层，避免电炉加热丝200和温度控制传感器300直接接触化学品，防止电炉加热丝200和温度控制传感器300老化，同时也防止避免污染化学品，保障化学品洁净度，降低成本，易于制造，达到安全可靠、节能环保目的。
[0026]以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
【主权项】
1.半导体芯片生产用化学品在线加热器，其特征在于，包括: 化学品加热输送管道，所述化学品加热输送管道具有进料口和出料口； 设置在所述化学品加热输送管道内的若干电炉加热丝，所述电炉加热丝外围设置有第一传热层； 设置在所述化学品加热输送管道内的温度控制传感器，所述温度控制传感器外围设置有第二传热层； 设置在所述化学品加热输送管道内表面的耐高温隔热层。2.如权利要求1所述的半导体芯片生产用化学品在线加热器，其特征在于，还包括包覆在所述化学品加热输送管道外表面的保护罩。3.如权利要求1所述的半导体芯片生产用化学品在线加热器，其特征在于，所述化学品加热输送管道为石英管道。4.如权利要求1所述的半导体芯片生产用化学品在线加热器，其特征在于，所述电炉加热丝为三根，且与所述化学品加热输送管道平行设置，三根电炉加热丝周向均布在所述化学品加热输送管道内，所述化学品加热输送管道内设置有支撑三根电炉加热丝的三脚支架。5.如权利要求1所述的半导体芯片生产用化学品在线加热器，其特征在于，所述进料口和出料口分别设置在所述化学品加热输送管道的两端，且所述进料口和出料口设置有环形卡槽。
【文档编号】H05B3/02GK205430635SQ201521076783
【公开日】2016年8月3日
【申请日】2015年12月21日
【发明人】陈景韶
【申请人】上海提牛机电设备有限公司