专利名称：一种实现集群设备软件通信的方法及装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及电子通信技术领域，尤其涉及一种实现集群设备软件通信的 方法及装置。
背景技术：
半导体制造业中的群集设备是由多个硅片处理模块和一个基于机械手的 硅片传输模块组成的一个综合设备。由于群集设备中的各个功能模块分布不 集中，为了使群集设备有效工作，分布式的功能模块中的控制器需要由一个 内部模块通信网连接起来，并且由一个集中控制器来协调，而这个集中控制 器就是集群设备控制器。由于各个模块控制器的功能是通过软件来实现控制的，所以在集群设备 控制器的应用层也需要通过软件来协调多个模块控制软件，进而实现对各个 功能模块的控制。由此可见，为了使集群设备控制软件能监视和协调多个分 布复杂的模块控制软件来实现先进工艺的控制，需要大量消息和服务来满足 集群设备控制软件和模块控制软件之间的通信。现有的集群设备控制软件和模块控制软件之间的通信采用实时监视通信 技术，并使用同步通信方式，这种通信方式在发出请求后要占用通信通道， 等到请求被响应后再释放通道。例如，当集群设备控制软件发送一个请求到 模块控制软件，发送方会占用部分通信通道来等待接收方的回复。这种通信 方式对于急需获得响应的请求是必要的，并能保证及时获得信息，可以满足 基本消息和服务的传递。
正是由于同步通信的长时间占用通道的特点，它不利于数据量大的通 信，尤其不利于集群设备控制软件对模块控制软件进行实时监视的需求，因 为在实时监视中对通道占用时间很长，需要不断的获得信息和返回信息，而 这种通信量是极大的，在它通信时其他数据是不能传递的。因此会造成其他 通信的不畅通和阻塞，最终导致集群设备控制软件对多个模块控制软件的协 调和控制能力下降，严重时可能导致硬件损坏。因此，现有的通信方法既不能很好的满足集群设备控制软件和模块控制 软件之间进行大量的消息和服务通信传递的需要，又不能满足进行实时监视 的通信要求。发明内容本发明的目的是提供一种的实现集群设备软件通信方法及装置，通过该 方法可以实现集群设备控制软件和模块控制软件之间的多个复杂的消息和服 务的传递，并且又可以满足集群控制软件对多个复杂的模块控制器进行实时 监视和协调的要求。本发明的目的是通过以下技术方案实现的 一种实现集群设备软件通信的方法，包括集群设备控制软件发出订阅请求信息到模块控制软件，所述的订阅请求 信息包括模块控制软件向集群设备控制软件上报订阅请求信息指示的模块属 性值的策略信息；模块控制软件根据接收到的订阅请求信息中的策略信息，向集群设备控 制软件上报其订阅的模块属性值。 所述的上才艮;f莫块属性值具体包括模块控制软件查阅订阅请求策略信息指示的模块属性值，并在该模块属 性值发生改变时，向集群设备控制软件上报该模块属性最新值；和， 模块控制软件定时查阅订阅请求策略信息指示的模块属性值，并在该模 块属性值发生改变时，向集群设备控制软件上报该模块属性值的更新数据 包。所述的集群设备软件通信方法还包括集群设备控制软件发出读取请求信息到模块控帝j软件，所述的读取请求 信息包括模块控制软件向集群设备控制软件上报该读取请求信息指示的模块 属性最新值的指示信息；模块控制软件根据接收到的读取请求信息，向集群设备控制软件上报该 读取请求信息指示的模块属性最新值。所述的集群设备软件通信方法还包括集群设备控制软件发出写入请求信息到模块控制软件，所述的写入请求 信息包括模块控制软件设置该写入请求信息指示的模块属性值的指示信息；模块控制软件根据接收到的写入请求信息，改变该写入请求信息所指示 的模块属性值。所述的通信方法的实现基于包括TCP/IP协议。一种实现集群设备软件通信的装置，包括订阅请求发送单元和订阅请 求处理单元，其中，订阅请求单元用于向模块控制软件发出订阅请求信息，所述的请求信息 承载该信息为包括模块控制软件向集群设备控制软件发送模块属性最新值的 策略信息；订阅请求处理单元用于根据接收到的订阅请求信息，定时查询对应模块 属性值，并在对应模块属性值发生改变时，发送对应模块属性值的更新数据 包给集群设备软控制件。所述的订阅请求处理单元处理订阅请求信息的具体过程包括查阅订阅请求策略信息指示的模块属性值，并在该模块属性值发生改变
时，向集群设备控制软件上报该模块属性最新值；和，定时查阅订阅请求策略信息指示的模块属性值，并在该模块属性值发生 改变时，向集群设备控制软件上报该模块属性值的更新数据包。所述的通信装置还包括读取请求发送单元和读取请求处理单元，其中，所述的读取请求单元用于向模块控制软件发出读取请求信息，所述的读 取请求信息承载该请求信息包括模块控制软件读取信息所指示的模块属性的 最新值并把该属性值发送给集群设备控制软件的指示信息；所述的读取请求处理单元用于根据接收到的读取请求信息，读取对应模 块属性的最新值并把该属性值返回给集群设备控制软件。所述的通信装置还包括写入请求发送单元和写入请求处理单元，其中，写入请求单元用于向模块控制软件发出写入请求信息，所述的信息承载 该请求信息为包括模块控制软件设置写入请求信息指示的模块属性值的指示 信息；写入请求处理单元用于根据接收到的写入请求信息，改变对应模块属性值。所述的通信装置采用的通信协议包括TCP/IP协议。由上述本发明提供的技术方案可以看出，本发明可以通过集群设备控制 软件发送请求到模块控制软件来获取模块部件属性的信息，从而发出控制信 息来协调各个模块。同时，本发明的实现可以使大量的消息和服务在集群设 备控制软件和模块控制软件之间传递，又能很好的满足集群设备控制软件和 模块控制软件之间实现实时监视的通信需求。
图1为现有技术中实现同步通信的处理流程图2为本发明中实现异步通信的处理流程图；图3为本发明中实现写入服务的处理流程图；图4为本发明中实现订阅服务的处理流程图；图5为本发明实现集群设备软件通信的装置示意图；图6为本发明实现集群设备软件通信之实施例的处理流程图。
具体实施方式
本发明主要是通过集群设备控制软件发出请求信息到模块控制软件，请 求获取模块部件的属性信息，然后模块控制软件处理接收到的请求信息并返回处理信息给集群设备控制软件，以便集群设备控制软件发出指令信息。所 述的请求信息承栽该信息是获取模块属性最新值的策略信息，包括读取请求 信息、写入请求信息和订阅请求信息中的至少一项基于上述的技术方案，本发明提供了三种服务来满足不同的需求，具体 可以包括(一)集群设备控制軟件发送读取请求信息要求模块控制软件提供读取 服务，所述的读取服务方式除了能够实现现有技术中的同步通信以外，还包 括能够同时实现异步通信；其中，所述的同步通信，其处理过程如图1所示步骤11、集群设备控制软件发送读取请求信息给模块控制软件，所述请 求信息承载该信息是读取该请求信息所指示的模块属性值的指示信息；步骤12、模块控制软件接收并解释收到的请求信息为读取请求信息，根 据信息指示读取对应;^莫块部件属性值，发送给集群设备控制软件；步骤13、集群设备控制软件根据对应模块属性值更新模块部件对应的属 性值后，才释放通信通道，以便进行其他消息和服务的传递。由此可见，这种通信发出请求后占用通信通道，等到请求被响应后再释
放通道。这种方式对于急需获得响应的请求是必要的，它能保证及时获得信 息，但这种方式长时间占用通道不利于数据量大的通信。所述的异步通信，其处理过程如图2所示步骤21、集群设备控制軟件发送读取请求信息，所述请求信息承载该信 息是读取该请求信息所指示的模块属性值的策略指示信息；步骤22、模块控制软件接收并解释收到的请求信息为读取请求信息，根 据信息指示读取对应模块部件属性值，等待通道空闲时发送给集群设备控制 软件；步骤23、集群设备控制软件根据属性值更新数据包，更新模块部件对应 属性值。由此可见，这种通信发出请求后不用等待立即回复也不用占用通道，而 是等待回复的数据到达后根据数据编号来获得所需的信息。这种方式把通道 让给了急需获得信息的请求，但是也能获得自己所要的信息。这样就极大的 支持了通信量大的通信。(二)集群设备控制软件发送写入请求信息要求模块控制软件提供写入 服务，具体处理过程如图3:步骤31、集群设备控制软件发送写入请求信息，所述请求信息承载该信 息是设置写入请求信息所指示的模块属性的指示信息；步骤32、模块控制软件接收并解释收到的请求信息为写入请求信息，根 据信息指示改变对应模块属性值。由此可见，所述的写入服务请求发出后不用等待回复也不用占用通道， 这种方式不需要模块控制软件回复写入成功的信息，节省了通道的使用量。 把通道让给了急需获得信息的请求，但是也完成了写入任务。这样就减少了部分的通信量。而且满足了集群设的备控制软件和各个模块控制软件传递消 息和服务的需求。(三)集群设备控制软件发送订阅请求信息要求模块控制软件提供订阅服务；所述的订阅服务用于满足实时通信的需求，因为在实时通信中，对通道 占用时间是最长的，它要不断的获得信息和返回信息。而这种通信量是极大 的，在它通信时其他数据是不能传递的。因而对集群设备控制软件具有很大 的风险，因为在实时监视某一属性时，会造成其他通信的不畅通和阻塞，严 重时可能会导致硬件损坏。本发明在集群设备控制软件中使用订阅服务进行的实时监视主要用于监 视模块属性值数据的变化，然后根据获得的数据做出判断并发送相应的指 令。利用这一特点，可以把实时监视的工作量转移到集群设备控制软件和模 块控制软件中。具体处理过程如图4:步骤41、集群设备控制软件发送订阅请求信息，所述请求信息承载该信 息是发送订阅请求信息所指示的模块属性最新的值到集群设备控制软件的策 略信息；步骤42、模块控制软件接收并解释收到的请求信息为订阅服务信息；根 据信息指示定时查询对应^f莫块部件属性值；步骤43、模块控制软件在对应模块属性值发生改变时发送模块属性值更 新数据包给集群设备控制软件；步骤44、集群设备控制软件根据属性值更新数据包，更新对应模块属性值。由此可见，当集群设备控制软件需要监视某一模块中的某一属性值时， 它发送一个对此属性值的订阅请求。模块控制软件收到此请求后，发送属性 的最新的值到集群设备控制软件，然后在固定的时间间隔内比较此值的大 小，如果有变化模块控制软件会发送一个属性值的更新包到集群设备控制软 件。这一过程既满足了集群设备控制软件实时监视的目的，又减小了实时监
视的通信量。本发明还提供了 一种实现集群设备软件通信的装置，包括请求信息发送单元和请求信息接收单元，如图5所示 ( 一)请求信息发送单元请求信息发送单元用于向模块控制软件发送请求信息，所述的请求信息 承载该信息是获取模块属性的最新值的策略信息，包括读取请求信息、写入 请求信息和订阅请求信息中的至少一项。具体包括读取请求发送单元用于向模块控制软件发出读取请求信息，所述的信息 承载该信息包括模块控制软件读取该请求信息指示的模块属性最新值并发送 给集群设备控制软件的指示信息；写入请求发送单元用于向模块控制软件发出写入请求信息，所述的信息 承载该信息包括模块控制软件设置写入请求信息所指示的模块属性值的指示 信息；订阅请求发送单元用于向模块控制软件发出订阅请求信息，所述的信息 承载该信息包括模块控制软件向集群设备控制软件上报订阅请求信息指示的 模块属性值的策略信息。(二)请求信息处理单元请求信息处理单元根据接受到请求信息类型，分别处理集群设备控制软 件发送来的请求信息，并返回处理后的信息；包括读取请求处理单元、写入 请求处理单元和订阅请求处理单元。其中，读取请求处理单元用于根据接收到的读取请求信息，读取对应模块属性 的最新值并把该属性值返回给集群设备控制软件；写入请求处理单元用于根据接收到的写入请求信息改变对应模块属性值；订阅请求处理单元用于根据接收到的订阅请求信息，查阅订阅请求策略
信息指示的模块属性值，并定时查询对应模块属性值，并在对应模块属性值 发生改变时，发送对应模块属性值更新数据包给集群设备软控制件。为了便于理解本发明的技术方案，下面以图6所示的实现集群设备软件通 信的流程图为实施例对本发明作进一步的说明。本实施例是基于TCP/IP协议，并且满足半导体集群设备控制软件的通信 要求。它的通信模式是服务器/客户模式，由客户端发出请求到服务器查询所 需要的信息，然后服务器处理接收到的请求并返回信息给客户端。在半导体 设备控制软件中，集群设备控制软件相当于客户端，模块控制软件相当于服 务器。集群设备控制软件发送请求到模块控制软件来获取模块部件的信息， 以此发出控制信息来协调各个模块。具体包括步骤60、在集群设备控制软件和模块控制软件之间建立通信连接；步骤61、集群设备控制软件发送读取服务请求A至模块控制软件，所述 的读取请求A承载该请求是读取模块属性值1的指示信息；步骤62、模块控制软件接收读取请求A，并根据请求指示信息读取模块 属性值1的属性值，并发送给集群设备控制软件；步骤63 、集群设备控制软件等待至收到模块控制软件回复的数据包后释 放通道，然后根据接收到的模块属性值信息更新对应的模块属性值；和，步骤64、集群设备控制软件发送写入服务请求至模块控制软件，所述的 写入请求承栽该请求是设置模块属性值2的指示信息；步骤65、模块控制软件接收写入服务请求，并根据请求指示信息改变模 块属性值2的属性值；和，步骤66、集群设备控制软件发送订阅服务请求至模块控制软件，所述的 订阅请求承栽该请求是实时监视模块属性值3的策略信息；步骤67、模块控制软件接收订阅服务请求，并根据请求信息定时查询模 块对应属性值3的属性，并在属性发生改变时发送属性值更新数据包给集群
设备控制软件；步骤68、集群设备控制软件根据接收到属性值更新数据包更新被实时监 控的模块属性值3;和，步骤69、集群设备控制软件发送读取服务请求B至模块控制软件，所述 的读取请求B承载该请求是读取模块属性值4的指示信息；步骤610、模块控制软件接收读取请求B，并根据请求指示信息读取模块 属性值4的属性值，在通信通道空闲时发送给集群设备控制软件；步骤611、集群设备控制软件解析收到的数据包，然后根据接收到的模 块属性值信息更新对应的通道4属性值；和，步骤612 、集群设备控制软件发送取消订阅服务请求至模块控制软件， 所述的取消订阅请求承栽该请求是取消实时监视模块属性值3的指示信息；步骤613、模块控制软件接收取消订阅服务请求，并根据请求指示信息 发送属性最新值给集群设备控制软件，并取消对属性值3的实时监视；步骤614、集群设备控制软件根据接收到属性值更新数据包更新被实时 监控的模块属性值3的属性值；通过上述步骤，可以实现在集群设备控制软件读取操作时，可以结合使 用同步和异步通信两种方法，节省了部分的通信资源，也在一定程度上也降 低了通道的通信压力。同时，集群设备控制软件实时监视模块中某一属性值 时不需要占用大量的通信资源，而是由模块控制软件来监视所要监视的对 象，在它发生变化时再发送更新数据到集群设备控制软件，这样就节省了大 量的通信资源，来保证其它通信的畅通。以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式
，但本发明的保护范围并不 局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可 轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明 的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。
权利要求
1. 一种实现集群设备软件通信的方法，其特征在于，包括集群设备控制软件发出订阅请求信息到模块控制软件，所述的订阅请求信息包括模块控制软件向集群设备控制软件上报订阅请求信息指示的模块属性值的策略信息；模块控制软件根据接收到的订阅请求信息中的策略信息，向集群设备控制软件上报其订阅的模块属性值。
2、 根据权利要求1所述的一种实现集群设备软件通信的方法，其特征在 于，所述的上才艮;f莫块属性值具体包括模块控制软件查阅订阅请求策略信息指示的模块属性值，并在该模块属 性值发生改变时，向集群设备控制软件上报该模块属性最新值；和，模块控制软件定时查阅订阅请求策略信息指示的模块属性值，并在该模 块属性值发生改变时，向集群设备控制软件上报该模块属性值的更新数据 包。
3、 根据权利要求1所述的一种实现集群设备软件通信的方法，其特征在 于，所述的通信方法还包括集群设备控制软件发出读取请求信息到模块控制软件，所述的读取请求 信息包括模块控制软件向集群设备控制软件上报该读取请求信息指示的模块 属性最新值的指示信息；模块控制软件根据接收到的读取请求信息，向集群设备控制软件上报该 读取请求信息指示的模块属性最新值。
4、 根据权利要求1所述的一种实现集群设备软件通信的方法，其特征在 于，所述的通信方法还包括集群设备控制软件发出写入请求信息到模块控制软件，所述的写入请求信息包括模块控制软件设置该写入请求信息指示的模块属性值的指示信息；模块控制软件根据接收到的写入请求信息，改变该写入请求信息所指示 的模块属性值。
5、 根据权利要求1所述的一种实现集群设备软件通信的方法，其特征在 于，所述的通信方法的实现基于包括TCP/IP协议。
6、 一种实现集群设备软件通信的装置，其特征在于，包括订阅请求发 送单元和订阅请求处理单元，其中，订阅请求单元用于向模块控制软件发出订阅请求信息，所述的请求信息 承栽该信息为包括模块控制软件向集群设备控制软件发送模块属性最新值的 策略信息；订阅请求处理单元用于根据接收到的订阅请求信息，定时查询对应模块 属性值，并在对应模块属性值发生改变时，发送对应模块属性值的更新数据 包给集群设备软控制件。
7、 根据权利要求6所述的一种实现集群设备软件通信的装置，其特征在 于，所述的订阅请求处理单元处理订阅请求信息的具体过程包括查阅订阅请求策略信息指示的模块属性值，并在该模块属性值发生改变 时，向集群设备控制软件上报该模块属性最新值；和，定时查阅订阅请求策略信息指示的模块属性值，并在该模块属性值发生 改变时，向集群设备控制软件上报该模块属性值的更新数据包。
8、 根据权利要求6所述的一种实现集群设备软件通信的装置，其特征在 于，所述的通信装置还包括读取请求发送单元和读取请求处理单元，其 中，所述的读取请求单元用于向模块控制软件发出读取请求信息，所述的读 取请求信息承载该请求信息包括模块控制软件读取信息所指示的模块属性的 最新值并把该属性值发送给集群设备控制软件的指示信息；所述的读取请求处理单元用于根据接收到的读取请求信息，读取对应模 块属性的最新值并^fe该属性值返回给集群设备控制软件。
9、 根据权利要求6所述的一种实现集群设备软件通信的装置，其特征在 于，所述的通信装置还包括写入请求发送单元和写入请求处理单元，其 中，写入请求单元用于向模块控制软件发出写入请求信息，所述的信息承载 该请求信息为包括模块控制软件设置写入请求信息指示的模块属性值的指示 信息；写入请求处理单元用于根据接收到的写入请求信息，改变对应模块属性值。
10、 根据权利要求6所述的一种实现集群设备软件通信的装置，其特征 在于，所述的通信装置采用的通信协议包括TCP/IP协议。
全文摘要
本发明涉及一种实现集群设备软件通信的方法及装置，具体包括集群设备控制软件发出订阅请求信息到模块控制软件，模块控制软件根据接收到的订阅请求信息中的策略信息，定时查阅模块属性值，并在该模块属性值发生改变时，向集群设备控制软件上报其订阅的模块属性值，以便集群设备控制软件发出指令信息。因此，本发明的实现可以使集群设备控制软件在实时监视模块属性值时不需要占用大量的通信通道，从而使得大量的消息和服务在集群设备控制软件和模块控制软件之间传递，同时，又能很好的满足集群设备控制软件对模块控制软件进行实时监视的通信需求。
文档编号H04L12/28GK101212376SQ20061017154
公开日2008年7月2日 申请日期2006年12月30日 优先权日2006年12月30日
发明者李延晶 申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司