远距光谱仪的连接结构的制作方法

文档序号:7943066阅读:243来源:国知局
专利名称:远距光谱仪的连接结构的制作方法
技术领域
本发明是关于一种远距光谱仪的连接技术,特别是关于一种能够将安装于反应室 内的通用串行总线(universal serial bus, USB)接口的光谱仪连接到光学模块控制器的 远距光谱仪的连接结构,以将光谱仪产生的数据稳定地传输至光学模块控制器。
背景技术
一般来说,当多个光谱仪应用于需要大尺寸设备的制程(如液晶显示器生产线) 中所使用的单个EPD控制器时,为了减少连接反应室观察端口(chamber view port)至EPD 控制器的光纤的长度,光谱仪安装于反应室观察端口附近。然而,光谱仪是通过RS-232或者USB接口方法传输数据。特别地,由于USB接口 方法使用有效长度约为5米的电缆,当与EPD控制器间隔10至15米的光谱仪连接至一般 USB电缆时,当从安装在反应室观察端口的光谱仪传输数据时可能发生通信错误。为了解决数据通信错误,USB信号应被放大使得数据可在没有噪声的情况下传输 到远距离。但是,由于公知技术中尚未揭示此类技术特征,因此提供本发明以解决上述问 题。

发明内容
技术问题为解决上述及/或其它问题,本发明的一方面提供一种远距光谱仪的连接结构, 其能够通过USB服务器将EPD控制器连接至以USB接口形式安装于反应室内的远距光谱 仪,以克服由USB电缆的有效长度产生的限制并且将光谱仪产生的数据稳定地传输至EPD 控制器。技术方案本发明的上述和/或其它方面可以藉由提供如下远距光谱仪的连接结构来实现, 该远距光谱仪的连接结构包括邻近设置于大尺寸制造设备内的反应室观察端口安装且连 接至单个EPD控制器的多个光谱仪,其特征在于此多个光谱仪分别连接至设置于多个通道 的多个USB设备服务器(USB device servers,UDQ,设置于各通道的各UDS连接至单个交 换集线器(switching hub),并且交换集线器连接至EPD控制器。此外,为了通过具有独立IP地址的TCP/IP通信将光谱仪的数据传输至EPD控制 器,UDS可藉由USB电缆连接至光谱仪以及藉由UTP(LAN)电缆连接至交换集线器,并且交 换集线器可藉由UTP(LAN)电缆连接至EPD控制器。进一步地,EPD控制器可包括USB 2LAN转换器,或者PCI Express Giga LAN。有益效果根据本发明,远距光谱仪的连接结构能够通过USB服务器将EPD控制器连接至以 USB接口形式安装在反应室中的远距光谱仪,以克服由USB电缆的有效长度产生的限制并 且将光谱仪产生的数据稳定地传输至EPD控制器,藉此提高对制程反应室发射的等离子发射的监测效率。


为让本发明的上述和其它目的、特征和优点能更明显易懂,下文特举较佳实施例, 并配合所附图式详细说明如下。图1是根据本发明实施例的远距光谱仪的连接结构的方块图。“主要元件符号说明”10:EPD 控制器20 :USB 电缆30 :UTP(LAN)电缆40:交换集线器Bl 光谱仪CHl CHn :USB设备服务器
具体实施例方式将参照附图详细描述本发明的示范性实施例,其范例绘示于附图中。图1是根据本发明实施例的远距光谱仪的连接结构的方块图。参照图1,根据本发明实施例的远距光谱仪的连接结构配置为将邻近设置于大尺 寸制造设备内的反应室观察端口的多个光谱仪Bi、B2、…、连接至单个EPD控制器10, 藉此在没有损耗的情况下传输多个光谱仪Bi、B2、-,Bn的数据至EPD控制器10。为此,多个光谱仪Β1、Β2、...、&ι与多个UDS CHI、CH2、...、CHn是1 1匹配,并 且分别藉由USB电缆20连接。同时,分别连接至光谱仪Bi、B2、...、&ι的各自通道的UDS CHl、CH2、...、CHn,通 过UTP (LAN)电缆30连接至单个交换集线器40,而交换集线器40连接至包括USB 2 LAN转 换器或者PCI Express Giga LAN的EPD控制器10。结果,UDS CH1、CH2、…、CHn通过USB电缆20接收从光谱仪Bi、B2、...、&ι传输 的数据,然后通过UTP (LAN)电缆30传输数据至交换集线器40。因此,交换集线器40能够 根据选择性交换操作,通过UTP (LAN)电缆30迅速地传输EPD控制器10所接收到的数据。这时,具有各自独立IP地址的UDS,通过TCP/IP通信与光谱仪Bi、B2、…、&ι进
行通信。当光谱仪B1、B2、-,Bn的数据通过TCP/IP通信传输至交换集线器40后,可以根 据交换集线器40的交换操作,在没有损耗的情况下快速地传输EPD控制器10所需的光谱 仪B1、B2、…、&ι的数据。上述描述是关于本发明的示范性实施例,意图是示意性的,且不应解释为限制本 发明。本发明的许多替换、润饰及变化是本领域技术人员显而易见的。
权利要求
1.一种远距光谱仪的连接结构,包括邻近设置于大尺寸制造设备内的反应室观察端 口并连接至单个EPD控制器的多个光谱仪,其特征在于所述多个光谱仪分别连接至设置于 多个通道的多个USB设备服务器(USD),设置于各所述通道的各所述USB设备服务器(USD) 连接至单个交换集线器,并且所述交换集线器连接至所述EPD控制器。
2.如权利要求1所述的远距光谱仪的连接结构,其中,为了通过具有独立IP地址的 TCP/IP通信传输所述光谱仪的数据至所述EPD控制器,所述USB设备服务器藉由USB电缆连接至所述光谱仪,并藉由UTP(LAN)电缆连接至所 述交换集线器,并且所述交换集线器藉由UTP(LAN)电缆连接至所述EPD控制器。
3.如权利要求2所述的远距光谱仪的连接结构,其中,所述EPD控制器包括USB2LAN 转换器或者 PCI Express Giga LAN。
全文摘要
一种远距光谱仪的连接结构,该远距光谱仪的连接结构可通过USB服务器将EPD控制器连接至以USB接口形式安装于反应室中的远距光谱仪,以克服由USB电缆的有效长度产生的限制,并且将光谱仪产生的数据稳定地传输至EPD控制器,藉此提高制程反应室发射的等离子发射的监测效率。
文档编号H04B10/00GK102067482SQ200880129902
公开日2011年5月18日 申请日期2008年9月8日 优先权日2008年6月20日
发明者尹硕敏, 李东锡, 李淳钟, 禹奉周, 金学权 申请人:塞米西斯科株式会社
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