专利名称：光学滤波器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种设置在摄像设备中的光学滤波器。
背景技术：
在以一般的摄像机、数字静像照相机等为代表的电子照相机的光学系统中，沿着光轴从被摄体侧起依次配设有耦合光学系统、红外线截止滤波器、光学低通滤波器、 CCD (Charge Coupled Device 电荷耦合器件)、MOS (Metal Oxide kmiconductor 金属氧化物半导体)等摄像元件(例如，参照专利文献1)。此外，这里所说的摄像元件具有对于比人眼能够视觉辨认的波长带宽的光线(可见光线)还宽的波长带宽的光线进行响应的灵敏度特性。因此，摄像元件除了可见光线之外，对于红外区(infrared region)、紫外区 (ultraviolet region)的光线也进行响应。人眼在暗处对400nm 620nm程度的范围的波长的光线进行响应，在明处对 420nm 700nm程度的范围的波长的光线进行响应。与此相对，例如在CXD中，对于400nm 700nm范围的波长的光线，高灵敏度地进行响应，而且对于小于400nm的波长的光线、超过 700nm的波长的光线也进行响应。因此，在下述的专利文献1所述的摄像设备中，除了作为摄像元件的C⑶之外还设置红外线截止滤波器，而使红外区的光线不会到达摄像元件，获得接近人眼的摄像图像。专利文献1 日本特开2000-209510号公报
发明内容
另外，在摄像设备中，除了一般的摄像机、数字静像照相机以外，还有监视照相机等的在与通常的摄影不同的其它用途中使用的摄像设备。例如，在监视照相机中，不仅是白天，而且还需要进行夜间的夜视(night vision) 下的监视摄影。在夜间等的夜视下的摄影中，是人眼看不到的状态下的摄影，因此在将通常的可见区(visible region)设为摄影带宽的照相机中无法进行夜视下的摄影。因此，当前使用红外区的光线来进行夜间等的夜视下的摄影，但是在上述专利文献1记载的摄像设备中，由于设置了截去红外区的光线的红外线截止滤波器，因此无法用于夜视下的摄影中。因此，为了解决上述课题，本发明的目的在于提供一种不仅在自然光进入的白天、 而且在夜间等的夜视下也能够使光透过的光学滤波器。为了达到上述目的，本发明的设置在摄像设备中的光学滤波器的特征在于，具备 透明基板；以及滤波器群，形成在所述透明基板上，在可见区和红外区这2个波长带宽中具有透过特性，所述滤波器群是组合第1滤波器和多个滤波器而构成的，其中，所述第1滤波器在可见区以及与可见区连续的红外区的预先设定的一个带宽中具有透过特性，所述多个滤波器在可见区以及与可见区分离的红外区的预先设定的另一带宽中具有透过特性，在可见区与红外区的另一带宽之间的带宽中具有隔断特性，在所述多个滤波器中，具有所述隔断特性的带宽分别为约150nm以下，并且，具有所述隔断特性的带宽重复。
根据本发明，能够在可见区以及所期望的红外区中具有透过特性，其结果，不仅在自然光进入的白天，而且在夜间等的夜视下也能够进行拍摄。另外，根据本发明，在所述多个滤波器中，具有所述隔断特性的带宽分别为约 150nm以下，并且，具有所述隔断特性的带宽重复，因此能够仅在可见区以及红外区的所期望的带宽中具有透过特性。另外，通过本发明中所说的第1滤波器与其它以往的一个滤波器的组合，能够在与可见区不同的红外区中具有透过特性，但是在这种情况下，除了可见区以外，在可见区附近的约900nm以下的带宽中不具有透过特性。然而，根据本发明，能够在可见区、以及与可见区分离的可见区附近的包含约900nm以下的带宽、或者仅在约900nm以下的带宽中具有透过特性。在所述结构中，所述滤波器群也可以是交替地层叠多个由高折射率材料构成的第 1薄膜和由低折射率材料构成的第2薄膜而成的，在所述高折射率材料中使用Ti02、Nb205或者Ta2O5，在所述低折射率材料中使用S^2或者MgF2。此外，在高折射率材料中使用了 Ti02、Nb2O5或者Ta2O5、并在低折射率材料中使用了 S^2或者MgF2的具有隔断特性的光学滤波器的情况下，其隔断带宽的宽度基本上是 250nm左右，难以变更。这关系到根据光学材料的折射率来决定隔断带的宽度。因此，使用这些光学材料，在可见区和红外区这2个带宽中具有透过特性的光学滤波器的情况下，红外区的透过带宽会超过约900nm，无法任意地设定红外区的透过带宽的上升波长。然而，根据本结构，具备所述透明基板和所述滤波器群，所述滤波器群组合所述第 1滤波器和所述多个滤波而构成、且交替地层叠多个由所述高折射率材料构成的第1薄膜和由所述低折射率材料构成的第2薄膜而成，在所述高折射率材料中使用Ti02、Nb2O5或者 Ta2O5，在所述低折射率材料中使用S^2或者MgF2，在所述多个滤波器中，具有所述隔断特性的带宽分别为150nm以下，并且，具有所述隔断特性的带宽重复，因此能够在可见区、以及与可见区分离的可见区附近的包含约900nm以下的带宽、或者仅在约900nm以下的带宽中具有透过特性。其结果，不仅在自然光进入的白天，而且在夜间等的夜视下也能够使用于夜间摄影的红外线照明的LED灯的光的波长透过。在所述结构中，所述滤波器群也可以是交替地层叠多个由高折射率材料构成的第 1薄膜和由低折射率材料构成的第2薄膜而成的，在所述多个滤波器各自中，所述第1薄膜的层叠合计的光学膜厚与第2薄膜的层叠合计的光学膜厚的光学膜厚比被设定为大致 1 0. 5 至大致 1 0. 75。在这种情况下，能够将所述多个滤波器各自的具有隔断特性的带宽设为约150nm 以下，能够仅在可见区以及红外区的期望的带宽中具有透过特性。其结果，能够在可见区、 以及与可见区分离的可见区附近的包含约900nm以下的带宽、或者仅在约900nm以下的带宽中具有透过特性。在所述结构中，所述滤波器群也可以是交替地层叠多个由高折射率材料构成的第 1薄膜和由低折射率材料构成的第2薄膜而成的，在所述多个滤波器各自中，所述第1薄膜的层叠合计的光学膜厚与第2薄膜的层叠合计的光学膜厚的光学膜厚比被设定为大致 0. 45 1 至大致 0. 7:1。在这种情况下，能够将所述多个滤波器各自的具有隔断特性的带宽设为约150nm以下，能够仅在可见区以及红外区的期望的带宽中具有透过特性。其结果，能够在可见区、 以及与可见区分离的可见区附近的包含约900nm以下的带宽、或者仅在约900nm以下的带宽中具有透过特性。在所述结构中，所述滤波器群的具有透过特性带宽也可以是可见区以及约 800nm 约 lOOOnm。在这种情况下，通过所述第1滤波器和所述多个滤波器的组合，来实现通常通过组合2个滤波器不可能实现的仅可见区和该可见区附近的近红外区的约800nm 约IOOOnm 的带宽中的透过。因此，能够应对用于夜间摄影的红外线照明的LED灯的主要的中心波长 (例如约840nm、约950nm等)，能够可靠地进行这些波长带宽外的不需要的近红外光、远红外光的隔断。其结果，能够实现使用了 LED灯等LED光源的在红外区中的透过，适用于夜间等的夜视下的拍摄。在所述结构中，所述多个滤波器也可以是具有所述隔断特性的带宽被设定在约 600nm 约750nm之间的第2滤波器、和具有所述隔断特性的带宽被设定在约700nm 约 900nm之间的第3滤波器。在这种情况下，不使该邻接的近红外的光(例如，到光量的中心波长为约840nm的 LED灯15的中心波长的加减部分为止)从人眼的灵敏度特性(中的明处)中的响应部分进行波动，能够在2个透过带宽之间的具有隔断特性的带宽中设透过率为3%以下。此外，具体地说，在所述第2滤波器的具有所述隔断特性的带宽设定在约650nm 约750nm之间、所述第3滤波器的具有所述隔断特性的带宽设定在约750nm 约900nm之间的情况下，能够高效地拍摄光量的中心波长为约950nm的LED灯的光。在所述结构中，在所述滤波器群中，也可以在折射率变化的位置处包括调整层。在这种情况下，由于在所述滤波器群中包含所述调整层，因此能够抑制波动的产生，特别是能够抑制想透过的波长区域中的波动的产生，还能够抑制急剧变化的透过率的
变化量。在所述结构中，红外区中的透过宽度也可以是约65nm 约200nm。在这种情况下，能够将红外区中的透过宽度设定为短的所期望的宽度，具体地说， 能够仅使用于夜间摄影的红外线照明的LED灯的光的波长(约IOOnm左右的照射波长宽度)透过，能够高效地拍摄从LED灯照射并由被摄体所反射的光。另外，为了达到上述目的，本发明的设置在摄像设备中的光学滤波器的特征在于， 具备透明基板；以及滤波器群，形成在所述透明基板上，在可见区和红外区这2个波长带宽中具有透过特性，所述滤波器群是组合第1滤波器和多个滤波器而构成的，并且，交替地层叠多个由高折射率材料构成的第1薄膜和由低折射率材料构成的第2薄膜而成，其中，所述第1滤波器在可见区以及与可见区连续的红外区的预先设定的一个带宽中具有透过特性，所述多个滤波器在可见区以及与可见区分离的红外区的预先设定的另一带宽中具有透过特性，在可见区与红外区的另一带宽之间的带宽中具有隔断特性，在所述多个滤波器各自中，所述第1薄膜的层叠合计的光学膜厚与第2薄膜的层叠合计的光学膜厚的光学膜厚比被设定为大致1 0.5至大致1 0.75，并且，具有所述隔断特性的带宽重复。根据本发明，在所述多个滤波器各自中，所述第1薄膜的层叠合计的光学膜厚与第2薄膜的层叠合计的光学膜厚的光学膜厚比被设定为大致1 0.5至大致1 0.75，并且，具有所述隔断特性的带宽重复，因此能够仅在可见区以及红外区的所期望的带宽中具有透过特性。或者，为了达到上述目的，本发明的设置在摄像设备中的光学滤波器的特征在于， 具备透明基板；以及滤波器群，形成在所述透明基板上，在可见区和红外区这2个波长带宽中具有透过特性，所述滤波器群是组合第1滤波器和多个滤波器而构成的，并且，交替地层叠多个由高折射率材料构成的第1薄膜和由低折射率材料构成的第2薄膜而成，其中，所述第1滤波器在可见区以及与可见区连续的红外区的预先设定的一个带宽中具有透过特性，所述多个滤波器在可见区以及与可见区分离的红外区的预先设定的另一带宽中具有透过特性，在可见区与红外区的另一带宽之间的带宽中具有隔断特性，在所述多个滤波器各自中，所述第1薄膜的层叠合计的光学膜厚与第2薄膜的层叠合计的光学膜厚的光学膜厚比被设定为大致0.45 1至大致0.7 1，并且，具有所述隔断特性的带宽重复。根据本发明，在所述多个滤波器中，在所述多个滤波器各自中，所述第1薄膜的层叠合计的光学膜厚与第2薄膜的层叠合计的光学膜厚的光学膜厚比被设定为大致0.45 1至大致0.7 1， 并且，具有所述隔断特性的带宽重复，因此能够仅在可见区以及红外区的所期望的带宽中具有透过特性。如上所述，根据本发明，能够在可见区以及所期望的红外区中具有透过特性，其结果，不仅在自然光进入的白天，而且在夜间等的夜视下也能够进行拍摄。另外，通过本发明中所说的第1滤波器与其它以往的一个滤波器的组合，能够在与可见区不同的红外区中具有透过特性，但是在这种情况下，除了可见区以外，在可见区附近的包含约900nm以下的带宽、或者仅在约900nm以下的带宽中不具有透过特性。然而，根据本发明，能够将所述多个滤波器各自的具有隔断特性的带宽设为约150nm以下，能够仅在可见区以及红外区的所期望的带宽中具有透过特性。其结果，能够在可见区、以及与可见区分离的可见区附近的包含约900nm以下的带宽、或者仅在约900nm以下的带宽中具有透过特性。根据本发明，能够提供一种不仅在自然光进入的白天、而且在夜间等的夜视下也能够拍摄的光学滤波器以及摄像设备。
图1是与本实施方式有关的摄像设备的概要结构图。图2是表示与本实施方式有关的光学滤波器的结构的概要结构图。图3是表示与本实施方式有关的光学滤波器的透过特性的概要图。图4是表示与本实施方式有关的第1滤波器的透过特性的概要图。图5是表示与本实施方式有关的第2滤波器的透过特性的概要图。图6是表示与本实施方式有关的第3滤波器的透过特性的概要图。图7是表示与本实施例有关的光学滤波器的透过特性的图。图8是表示与本实施例2有关的光学滤波器的透过特性的图。图9是表示与本实施例3有关的光学滤波器的透过特性的图。图10是表示与本实施例4有关的光学滤波器的透过特性的图。附图标记说明1 摄像设备；11 光轴；12 透镜；13 光学滤波器；14 摄像元件；15 =LED灯；2 晶体板(quartz plate) ；21 一个主面；22 另一主面；3 滤波器群；31 第1薄膜；32 第2 薄膜；33 第1滤波器；34 调整层；35 第2滤波器；36 第3滤波器。
具体实施例方式下面，参照
本发明的实施方式。如图1所示，在与本实施方式有关的摄像设备1中，沿着光轴11，从外部的被摄体侧起依次至少配设有作为从外部入射光的耦合光学系统的透镜12、光学滤波器13、CCD、 CMOS等摄像元件14。此外，在该摄像设备1中设置有LED灯15，夜间通过将LED灯15照向被摄体，辅助夜间的摄影。在本实施方式中，从LED灯照射峰值波长为850nm的光。如图1、2所示，在光学滤波器13中，设置有作为透明基板的晶体板2、形成在该晶体板2的一个主面21上且在可见区和红外区这2个波长带宽中具有透过特性的滤波器群3、以及形成在晶体板2的另一主面22上的AR涂层(省略图示)。此外，滤波器群3与顶截止滤波器相对应，但是在红外区中具有透过特性，因此实际上是与顶截止滤波器不同的滤波器。如图2所示，滤波器群3是交替地层叠多个由高折射率材料构成的第1薄膜31、和由低折射率材料构成的第2薄膜32而成的滤波器群。因此，从晶体板2的一个主面21侧起数数时，第奇数个层由第1薄膜31构成，第偶数个层由第2薄膜32构成。此外，在本实施方式中，在第1薄膜中使用TiO2，在第2薄膜中使用SiO2，滤波器群3由从晶体板2的一个主面21侧起依次以序数词定义的多个层构成，在本实施方式中由1层、2层、3层…49层构成。这些1层、2层、3层…49层各自的层是层叠第1薄膜31和第2薄膜32而构成的。 并且，根据所层叠的第1薄膜31和第2薄膜32的光学膜厚不同，1层、2层、3层…49层各自的厚度会不同。此外，这里所说的光学膜厚是通过下述的式1来求出的。式 1Nd = λ /4 (Nd 光学膜厚，d 物理膜厚，N 折射率，λ 中心波长)关于该滤波器群3的制造方法，通过公知的真空蒸镀装置(省略图示)，对晶体板 2的一个主面21交替地真空蒸镀T^2和SiO2,形成如图2所示的滤波器群3。此外，通过一边监视膜厚一边进行蒸镀动作，在刚好达到规定的膜厚时关闭设置在蒸镀源(省略图示) 附近的闸门(shutter)(省略图示)等而停止蒸镀物质(Ti02、SiO2)的蒸镀，由此进行第1 薄膜31以及第2薄膜32的膜厚调整。另外，如图2所示，上述滤波器群3是组合如下部分而构成的第1滤波器33，在可见区以及与可见区连续的红外区的预先设定的一个带宽中具有透过特性；多个滤波器， 在可见区以及与可见区分离的红外区的预先设定的另一带宽中具有透过特性，在可见区与红外区的另一带宽之间的带宽中具有隔断特性；以及调整层34，配置在折射率变化的位置处。此外，本实施方式中的调整层34的折射率变化的位置是多个滤波器与晶体板2的界面， 调整层34存在于多个滤波器与晶体板2之间。如图3所示，具有该滤波器群3的透过特性的带宽(也称作透过带宽)是可见区 (在本实施例中为约420nm 约650nm)和靠近可见区的近红外区的近红外带宽(在本实施方式中为约SOOnm 约900nm的约IOOnm)。此外，滤波器群3的透过带宽与隔断带宽中的临界值(上限值和下限值)分别如附加“约”那样，并非是分别被严格限定的值。
接着，分别详细说明滤波器群3的第1滤波器33和多个滤波器。第1滤波器33在与可见区连续的红外区的预先设定的一个带宽(在本实施方式中为约380nm 约900nm)中具有透过特性。具体地说，如图4所示，第1滤波器33在约 380nm 约900nm中具有透过特性，在小于约380nm和超过约900nm时具有隔断特性。该第1滤波器33的第1薄膜31以及第2薄膜32被设计成如下。此外，第1滤波器33的透过带宽和隔断带宽中的临界值(上限值和下限值)如分别附加“约”那样，没有分别被严格限定。在第1薄膜31中使用作为高折射率材料的TiO2，在第2薄膜32中使用作为低折射率材料的Si02。第1滤波器33中的第1薄膜31的层叠合计的光学膜厚、与第2薄膜32 的层叠合计的光学膜厚的光学膜厚比被设定为大致1 1。此外，这里所说的光学膜厚比如附加“大致”那样，没有被严格地限定于1 1。在多个滤波器中，具有隔断特性的带宽分别为约IOOnm以下，并且，具有隔断特性的带宽重复。在本实施方式中，多个滤波器由具有隔断特性的带宽设定在约650nm 约 740nm之间的第2滤波器35、以及具有隔断特性的带宽设定在约700nm 约SOOnm之间的第3滤波器36构成。另外，如图2所示，在第2滤波器35上层叠了第3滤波器36。此外， 在与本实施方式有关的多个滤波器中，具有隔断特性的带宽分别为约IOOnm以下，但这是优选例，不限于此，只要是约150nm以下即可。此外，第2滤波器35、第3滤波器36的透过带宽和隔断带宽中的临界值(上限值和下限值)如分别附加“约”那样，没有分别被严格限定。第2滤波器35在可见区以及与可见区分离的红外区的预先设定的另一带宽(在本实施方式中超过约740nm)中具有透过特性，在可见区与红外区的另一带宽之间的带宽 (在本实施方式中为约650nm 约740nm)中具有隔断特性。具体地说，如图5所示，第2 滤波器35在约380nm 约650nm和超过约740nm时具有透过特性，在小于约380nm和约 650nm 约740nm中具有隔断特性。该第2滤波器35的第1薄膜31以及第2薄膜32被设计成如下。在第2滤波器35的第1薄膜31中使用作为高折射率材料的TiO2，在第2薄膜32 中使用作为低折射率材料的Si02。在第2滤波器35的多个第1薄膜31之中，位于第2滤波器35的最上层(图2所示的左侧)的第1薄膜31的物理膜厚被设定成其它第1薄膜31 的约一半。另外，第2滤波器35中的第1薄膜31的层叠合计的光学膜厚、与第2薄膜32 的层叠合计的光学膜厚的光学膜厚比被设定为大致1.000 0.500至大致1.000 0.750。 具体地说，在本实施方式中，第1薄膜31的层叠合计的光学膜厚与第2薄膜32的层叠合计的光学膜厚的光学膜厚比被设定为大致1.000 0.538。此外，这里所说的光学膜厚比如附加“大致”那样，没有被严格地限定。第3滤波器36在可见区以及与可见区分离的红外区的预先设定的另一带宽(在本实施方式中超过约800nm)中具有透过特性，在可见区与红外区的另一带宽之间的带宽 (在本实施方式中为约700nm 约SOOnm)中具有隔断特性。具体地说，如图6所示，第3 滤波器36在小于约380nm和约420nm 约700nm和超过约800nm时具有透过特性，在约 380nm 约420nm和约700nm 约800nm时具有隔断特性。该第3滤波器36的第1薄膜 31以及第2薄膜32被设计成如下。
在第3滤波器36的第1薄膜31中使用作为高折射率材料的TiO2，在第2薄膜32 中使用作为低折射率材料的Si02。在第3滤波器36的多个第1薄膜31之中，位于第3滤波器36的最下层(图2所示的右侧)的第1薄膜31的物理膜厚被设定为其它第1薄膜31 的约一半。另外，第3滤波器36中的第1薄膜31的层叠合计的光学膜厚、与第2薄膜32 的层叠合计的光学膜厚的光学膜厚比被设定为大致1.000 0.500至大致1.000 0.750。 具体地说，在本实施方式中，第1薄膜31的层叠合计的光学膜厚与第2薄膜32的层叠合计的光学膜厚的光学膜厚比被设定为大致1 0340。此外，这里所说的光学膜厚比如附加 “大致”那样，没有被严格地限定。在上述第2滤波器35和第3滤波器36中，将位于第2滤波器35的最上层(图2 所示的左侧)的第1薄膜31、与位于第3滤波器36的最下层(图2所示的右侧)的第1薄膜31进行层叠而形成一个第1薄膜31。通过上述的结构，在与本实施方式有关的光学滤波器13中能够得到如图3所示的透过特性。接着，实际地测定与本实施方式有关的光学滤波器13的波长特性，并将该测定结果、结构作为实施例而表示在图7、表1中。[实施例]在本实施例中，使用大气中的折射率为1. 54的晶体板2作为透明基板。另外，使用大气中的折射率为2. 30的TW2作为第1薄膜31，使用大气中的折射率为1. 46的SW2作为第2薄膜32。另外，滤波器群3由49层构成，通过上述的滤波器群3的制造方法，在进行了最优化的状态下形成第1薄膜31以及第2薄膜32而构成滤波器群3，得到如图7所示的透过特性。此外，在本实施例中，使光线的入射角为0度，S卩，使光线垂直入射。[表 1]
层蒸镀物质光学膜厚中心波长(nm)1SiO21. 47700. 002TiO20. 39700. 003SiO20. 16700. 004TiO20. 82700. 005SiO20. 14700. 006TiO21. 49700. 007SiO21. 30700. 008TiO21. 43700. 00
权利要求
1.一种光学滤波器，设置在摄像设备中，该光学滤波器的特征在于，具备 透明基板；以及滤波器群，形成在所述透明基板上，在可见区和红外区这2个波长带宽中具有透过特性，所述滤波器群是组合第1滤波器和多个滤波器而构成的，其中，所述第1滤波器在可见区以及与可见区连续的红外区的预先设定的一个带宽中具有透过特性，所述多个滤波器在可见区以及与可见区分离的红外区的预先设定的另一带宽中具有透过特性，在可见区与红外区的另一带宽之间的带宽中具有隔断特性，在所述多个滤波器中，具有所述隔断特性的带宽分别为约150nm以下，并且，具有所述隔断特性的带宽重复。
2.根据权利要求1所述的光学滤波器，其特征在于，所述滤波器群是交替地层叠多个由高折射率材料构成的第1薄膜和由低折射率材料构成的第2薄膜而成的，在所述高折射率材料中使用了 Ti02、Nb2O5或者Tii2O5， 在所述低折射率材料中使用了 S^2或者MgF2。
3.根据权利要求1或者2所述的光学滤波器，其特征在于，所述滤波器群是交替地层叠多个由高折射率材料构成的第1薄膜和由低折射率材料构成的第2薄膜而成的，在所述多个滤波器各自中，所述第1薄膜的层叠合计的光学膜厚与第2薄膜的层叠合计的光学膜厚的光学膜厚比被设定为大致1 0.5至大致1 0.75。
4.根据权利要求1或者2所述的光学滤波器，其特征在于，所述滤波器群是交替地层叠多个由高折射率材料构成的第1薄膜和由低折射率材料构成的第2薄膜而成的，在所述多个滤波器各自中，所述第1薄膜的层叠合计的光学膜厚与第2薄膜的层叠合计的光学膜厚的光学膜厚比被设定为大致0.45 1至大致0.7 1。
5.根据权利要求1 4中的任意一项所述的光学滤波器，其特征在于， 所述滤波器群的具有透过特性的带宽是可见区以及约SOOnm 约lOOOnm。
6.根据权利要求1 5中的任意一项所述的光学滤波器，其特征在于，所述多个滤波器是具有所述隔断特性的带宽被设定在约600nm 约750nm之间的第2 滤波器、和具有所述隔断特性的带宽被设定在约700nm 约900nm之间的第3滤波器。
7.根据权利要求1 6中的任意一项所述的光学滤波器，其特征在于， 在所述滤波器群中，在折射率变化的位置处包括调整层。
8.根据权利要求1 7中的任意一项所述的光学滤波器，其特征在于， 红外区中的透过宽度是约65nm 约200nm。
9.一种光学滤波器，设置在摄像设备中，该光学滤波器的特征在于，具备 透明基板；以及滤波器群，形成在所述透明基板上，在可见区和红外区这2个波长带宽中具有透过特性，所述滤波器群是组合第1滤波器和多个滤波器而构成的，并且，交替地层叠多个由高折射率材料构成的第1薄膜和由低折射率材料构成的第2薄膜而成，其中，所述第1滤波器在可见区以及与可见区连续的红外区的预先设定的一个带宽中具有透过特性，所述多个滤波器在可见区以及与可见区分离的红外区的预先设定的另一带宽中具有透过特性，在可见区与红外区的另一带宽之间的带宽中具有隔断特性，在所述多个滤波器各自中，所述第1薄膜的层叠合计的光学膜厚与第2薄膜的层叠合计的光学膜厚的光学膜厚比被设定为大致1 0.5至大致1 0.75，并且，具有所述隔断特性的带宽重复。
10. 一种光学滤波器，设置在摄像设备中，该光学滤波器的特征在于，具备 透明基板；以及滤波器群，形成在所述透明基板上，在可见区和红外区这2个波长带宽中具有透过特性，所述滤波器群是组合第1滤波器和多个滤波器而构成的，并且，交替地层叠多个由高折射率材料构成的第1薄膜和由低折射率材料构成的第2薄膜而成，其中，所述第1滤波器在可见区以及与可见区连续的红外区的预先设定的一个带宽中具有透过特性，所述多个滤波器在可见区以及与可见区分离的红外区的预先设定的另一带宽中具有透过特性，在可见区与红外区的另一带宽之间的带宽中具有隔断特性，在所述多个滤波器各自中，所述第1薄膜的层叠合计的光学膜厚与第2薄膜的层叠合计的光学膜厚的光学膜厚比被设定为大致0.45 1至大致0.7 1，并且，具有所述隔断特性的带宽重复。
全文摘要
在摄像设备(1)中设置的光学滤波器(13)中设置有晶体板(2)、以及形成在晶体板(2)上并在可见区与红外区这2个波长带宽中具有透过特性的滤波器群(3)。滤波器群(3)是将在可见区及与可见区连续的红外区的预先设定的一个带宽中具有透过特性的第1滤波器(33)、和在可见区及与可见区分离的红外区的预先设定的另一带宽中具有透过特性并在可见区与红外区的另一带宽之间的带宽中具有隔断特性的第2滤波器(35)以及第3滤波器(36)组合而构成的。在第2滤波器(35)以及第3滤波器(36)中，具有隔断特性的带宽分别为约150nm以下，并且，具有隔断特性的带宽重复。
文档编号H04N5/225GK102334049SQ20108000936
公开日2012年1月25日 申请日期2010年9月9日 优先权日2009年9月15日
发明者大西学 申请人:株式会社大真空