MEMS声换能器及电子设备的制作方法

文档序号:12925647阅读:来源:国知局
技术总结
一种MEMS声换能器,其设置有:半导体材料的衬底,具有背表面和相对于垂直方向相反的前表面;形成在衬底内的第一腔,其从背表面延伸到前表面;膜,其布置在上表面处,悬置在第一腔的上方并沿着其周界锚定到衬底;以及梳齿状电极布置,其包括耦接到膜的多个可移动电极以及耦接到衬底并面向相应的可移动电极以形成感测电容器的多个固定电极,其中作为入射声波压力波的结果的膜的变形引起感测电容器的电容变化。特别地,梳齿状电极布置相对于膜垂直地放置并且平行于膜延伸。

技术研发人员:M·佩尔勒蒂;I·瓦里斯科;L·拉玛格纳;S·阿多尔诺;G·加特瑞;C·瓦尔扎希纳;S·康蒂
受保护的技术使用者:意法半导体股份有限公司
文档号码:201621446151
技术研发日:2016.12.27
技术公布日:2017.11.14

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