声学器件的制作方法

文档序号:13671582阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种声学器件,其特征在于,包括:

微机械声学换能器元件(15;215;415);

声学衰减区域(40;240;540);以及

声学匹配区域(32;132;232;432;532;233;533),被布置在所述声学换能器元件(15;215;415)和所述声学衰减区域(40;240;340;540)之间。

2.根据权利要求1所述的器件,其特征在于,所述声学换能器元件(15;215;415)被形成在第一衬底(25;125;225;325;425;525)中,所述第一衬底容纳定界膜(16)的腔(19)。

3.根据权利要求2所述的器件,其特征在于,还包括半导体材料的第二衬底(30;130;230;330;430;530),所述第二衬底集成电子电路并且被布置在所述声学换能器元件(15;215;415)和所述声学衰减区域(40;240;340;540)之间。

4.根据权利要求3所述的器件,其特征在于,所述声学匹配区域(132;232;432;532)被布置在所述声学换能器元件(215;415)和所述第二衬底(130;230;430;530)之间。

5.根据权利要求4所述的器件,其特征在于,所述声学匹配区域(132;232)被形成在所述声学换能器元件(215)的所述第一衬底(125;225)中。

6.根据权利要求4所述的器件,其特征在于,所述声学匹配区域(432;532)被形成在半导体材料本体中,所述半导体材料本体被布置在所述第一衬底(425;525)和所述第二衬底(430;530)之间。

7.根据权利要求5或6所述的器件,其特征在于,所述声学匹配区域包括第一声学匹配区域(232;532),所述器件还包括被布置在所述第二衬底(30)和所述声学衰减区域(240;540)之间的第二声学匹配区域。

8.根据权利要求7所述的器件,其特征在于,所述第二声学匹配区域被形成在所述第二衬底(230)中。

9.根据权利要求4所述的器件,其特征在于,所述声学匹配区域(32;233;332;532)被布置在所述第二衬底(30;230;330;530)和所述声学衰减区域(40;240;340;540)之间。

10.根据权利要求9所述的器件,其特征在于,所述声学匹配区域(32;233)被形成在所述第二衬底(30;230)中。

11.根据权利要求9所述的器件,其特征在于,所述声学匹配区域(332;533)被形成在半导体材料本体中,所述半导体材料本体被布置在所述第二衬底(330;530)和所述声学衰减区域(340;540)之间。

12.根据权利要求10所述的器件,其特征在于,在半导体材料本体中形成有第二声学匹配区域(533),所述半导体材料本体被布置在所述第二衬底(530)和所述声学衰减区域(540)之间。

13.根据权利要求7所述的器件,其特征在于,所述声学匹配区域(32;132;232;432;532;233;533)包括可变的阻抗层。

14.根据权利要求13所述的器件,其特征在于,所述第一声学匹配区域(32;132;232;432;532;233;533)具有第一界面(32A;132A;232A;432A;532A;233A;533A)以及第二界面(32B;132B;232B;432B;532B;233B;533B),所述第一界面带有在所述声学换能器元件(15;215;415)和所述第二衬底(30;1310;230;230;330;430;530)之间选择的第一元件,所述第二界面具有带有在所述第二衬底(30;1310;230;230;330;430;530)和所述声学衰减区域(40;240;340;540)之间选择的第二元件,所述第一元件具有第一阻抗以及所述第二元件具有第二阻抗,以及所述声学匹配区域(32;132;232;432;532;233;533)具有匹配所述第一阻抗的、在所述第一界面的附近的第三阻抗和匹配所述第二阻抗的、在所述第二界面的附近的具有第四阻抗。

15.根据权利要求14所述的器件,其特征在于,所述声学匹配区域(32;132;232;432;532;233;533)是多孔硅。

16.根据权利要求15所述的器件,其特征在于,所述声学匹配区域(32;132;232;432;532;233;533)具有多个孔,其中所述孔的尺寸在所述第一界面(32A;132A;232A;432A;532A;233A;533A)和所述第二界面(32B;132B;232B;432B;532B;233B;533B)是可变的。

17.根据权利要求1所述的器件,其特征在于,所述器件被形成为用于医疗使用的超声换能器(CMUT;PMUT)。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1