超声波器件、超声波探头以及超声波装置的制作方法

技术总结
本发明提供一种高收发敏感度的超声波器件、超声波探头以及超声波装置。超声波器件具备：基板，具有开口部以及包围所述开口部的隔壁；振动部，封闭所述开口部的一端侧；以及压电元件，设于所述振动部，当将所述开口部的开口宽度尺寸设为W，并将所述基板的厚度尺寸设为H时，W/H为0.66至0.92。

技术研发人员：大泽荣治;小岛力
受保护的技术使用者：精工爱普生株式会社
技术研发日：2017.12.27
技术公布日：2018.07.13