技术总结
本发明建立一种微机械声换能器组件和一种相应的制造方法。微机械声换能器组件设有衬底(S)，该衬底具有正面(V)和背面(R)和带有空腔边缘区域(KR)的空腔(K)；在所述正面(V)上弹性悬挂的至少一个压电的振动梁(Z1‑Z6)，该振动梁在所述空腔(K)上延伸；和偏转限界装置(E1‑E3)，所述偏转限界装置设置在所述振动梁(Z1‑Z6)中的每个振动梁的端部边缘区域(ST1‑ST6)上并且如此构型，使得所述偏转限界装置使相应的所述端部边缘区域(ST1‑ST6)与所述空腔边缘区域(KR)或者另一振动梁(Z1‑Z6)的对置的端部边缘区域(ST1‑ST6)处于相互作用中，以便将相应的所述振动梁(Z1‑Z6)的偏转限制在极限偏转内。
技术研发人员：A·曼苏尔;D·潘特尔;F·普尔科;K·德塞尔;T·布克;T·诺尔特曼
受保护的技术使用者：罗伯特·博世有限公司
技术研发日：2018.01.05
技术公布日：2018.07.13