石墨烯振膜、振膜制作方法及包括该振膜的传声器的制造方法
【专利摘要】本发明提出一种石墨烯材料传声器振膜及制作该振膜的方法，包括具有突起结构的金属镍环，以及与该金属镍环的具有突起结构的一面结合为一体的石墨烯薄膜，其中突起结构突出石墨烯薄膜，该振膜结构由以下方式得到:提供一金属镍片，在该金属镍片的一个表面上的外周沿部分设置多个突起结构，在金属镍片的具有突起结构的表面上生长石墨烯薄膜，突起结构突出薄膜表面，利用刻蚀的方式将金属镍片的中间部分去除，得到具有突起结构的金属镍环，金属镍环与石墨烯薄膜结合为一体，由此制得石墨烯振膜，进一步提出一种包括该石墨烯材料振膜的电容传声器，本发明的石墨烯材料振膜结构牢固，并使具有该石墨烯振膜的传声器的灵敏度、频率响应、瞬态响应等电声特性均得到较大提升。
【专利说明】
石墨烯振膜、振膜制作方法及包括该振膜的传声器
技术领域
[0001]本发明属于传声器零部件领域，特别涉及一种石墨烯振膜、振膜制作方法及包括该振膜的传声器。
【背景技术】
[0002]传声器包括电容式、动圈式、压电式等，其中电容式传声器以其较为优秀的电声特性得到了广泛的应用，而振膜作为电容式传声器的重要组件对传声器性能有重要影响。现有技术中的传声器振膜其材料通常选用具有金属镀层的高分子材料、金属等，受到材料限制，传声器性能有时依然无法满足日益严苛的使用需要。
【发明内容】
[0003]为了克服现有技术的不足，本发明提出一种石墨烯材料的传声器振膜、振膜的制作方法及包括该振膜的传声器，通过本发明制得的石墨烯振膜结构牢固，工艺简单，节省开销，并使具有该石墨烯振膜的传声器的灵敏度、频率响应、瞬态响应等电声特性均得到较大提升。
[0004]提供一种石墨烯材料传声器振膜，包括具有突起结构的金属镍环，以及与该金属镍环的具有突起结构的一面结合为一体的石墨烯薄膜，其中突起结构突出石墨烯薄膜，该振膜结构由以下方式得到:提供一金属镍片，在该金属镍片的一个表面上的外周沿部分设置多个突起结构，在金属镍片的具有突起结构的表面上生长石墨烯薄膜，突起结构突出薄膜表面，利用刻蚀的方式将金属镍片的中间部分去除，得到具有突起结构的金属镍环，金属镍环与石墨烯薄膜结合为一体，由此制得石墨烯振膜。其中突起结构为与镍片一体成型或是采用焊接手段与镍片结合的金属物;振膜形状包括圆形、方形、长方形、椭圆形、跑道形。
[0005]还提出一种石墨烯材料传声器振膜的制作方法，制作流程包括提供一金属镍片，在该金属镍片的一个表面上的外周沿部分设置多个突起结构，在金属镍片的具有突起结构的表面上生长石墨烯薄膜，突起结构突出薄膜表面，利用刻蚀的方式将金属镍片的中间部分去除，得到具有突起结构的金属镍环，金属镍环与石墨稀薄膜结合为一体，由此制得石墨烯振膜;其中突起结构为与镍片一体成型或是采用焊接手段与镍片结合的金属物。
[0006]还提出一种电容式传声器，包括外壳，夕卜壳内由上至下封装有上述的石墨稀材料传声器振膜、绝缘环、具有通孔的背极板，其中，绝缘环与所述石墨烯材料传声器振膜抵接，具有通孔的背极板与绝缘环抵接，通孔与外壳围成的声腔相连。其中绝缘环与镍环的不具有突起结构的面相抵接。该电容式传声器为驻极体式或纯电容式。
【附图说明】
[0007]图1为本发明的石墨烯材料振膜的制作流程图
[0008]图2为本发明的石墨烯材料振膜的俯视图
[0009]图3为本发明的包含石墨烯材料振膜的传声器的剖面图
【具体实施方式】
[0010]结合附图，对本发明的实施方式进行详细说明。附图1示出了本发明的石墨烯振膜的制作流程，即首先提供一金属镍片I，该金属镍片I的一个表面上的外周沿部分设置多个突起结构11，该突起结构11为与镍片I 一体成型或是采用焊接手段与镍片I结合的金属物，在金属镍片I的具有突起结构11的表面上生长石墨烯薄膜2，突起结构11突出薄膜2表面，利用刻蚀的方式将金属镍片I的中间部分去除，得到具有突起结构11的金属镍环I’，金属镍环I’与石墨烯薄膜2结合为一体，由此制得石墨烯振膜。其中，石墨烯薄膜2为单层结构或多层结构，在金属镍环I’上突起结构11的配合下，石墨烯振膜的结构得到加强，减少振膜振动时可能产生的失真。
[0011 ]附图2不出了本发明的包含有石墨稀振膜的电容传声器结构，包括外壳5，外壳5内由上至下封装有本发明的石墨烯振膜、绝缘环3、具有通孔的背极板4，其中绝缘环3与镍环I’的不具有突起结构11的面相抵接，具有通孔的背极板4与绝缘环3抵接，通孔与外壳5围成的声腔相连。
[0012]进一步，本发明的石墨烯振膜可用于驻极体电容式传声器(ECM)或纯电容式传声器，振膜形状根据需要可为圆形、方形、长方形、椭圆形、跑道形等。
【主权项】
1.一种石墨稀材料传声器振膜，包括具有突起结构的金属镍环，以及与该金属镍环的具有突起结构的一面结合为一体的石墨烯薄膜，其中突起结构突出石墨烯薄膜，该振膜结构由以下方式得到:提供一金属镍片，在该金属镍片的一个表面上的外周沿部分设置多个突起结构，在金属镍片的具有突起结构的表面上生长石墨烯薄膜，突起结构突出薄膜表面，利用刻蚀的方式将金属镍片的中间部分去除，得到具有突起结构的金属镍环，金属镍环与石墨稀薄膜结合为一体，由此制得石墨稀振膜。2.如权利要求1所述的传声器振膜，其中突起结构为与镍片一体成型或是采用焊接手段与镍片结合的金属物。3.如权利要求1、2之一所述的传声器振膜，振膜形状包括圆形、方形、长方形、椭圆形、跑道形。4.一种石墨烯材料传声器振膜的制作方法，制作流程包括提供一金属镍片，在该金属镍片的一个表面上的外周沿部分设置多个突起结构，在金属镍片的具有突起结构的表面上生长石墨烯薄膜，突起结构突出薄膜表面，利用刻蚀的方式将金属镍片的中间部分去除，得到具有突起结构的金属镍环，金属镍环与石墨稀薄膜结合为一体，由此制得石墨稀振膜。5.如权利要求4所述的制作方法，其中突起结构为与镍片一体成型或是采用焊接手段与镍片结合的金属物。6.—种电容式传声器，包括外壳，夕卜壳内由上至下封装有如权利要求1-3之一所述的石墨烯材料传声器振膜、绝缘环、具有通孔的背极板，其中，绝缘环与所述石墨烯材料传声器振膜抵接，具有通孔的背极板与绝缘环抵接，通孔与外壳围成的声腔相连。7.如权利要求6所述的电容式传声器，其中绝缘环与镍环的不具有突起结构的面相抵接。8.如权利要求6、7之一所述的电容式传声器，该电容式传声器为驻极体式或纯电容式。
【文档编号】H04R19/01GK106060722SQ201610592264
【公开日】2016年10月26日
【申请日】2016年7月25日 公开号201610592264.X, CN 106060722 A, CN 106060722A, CN 201610592264, CN-A-106060722, CN106060722 A, CN106060722A, CN201610592264, CN201610592264.X
【发明人】张德明
【申请人】北京塞宾科技有限公司