专利名称：掩模框架搬运装置以及曝光装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种印刷电路板等的曝光装置以及使用于曝光装置的掩模框架搬运装置，特别涉及一种掩模框架的操作性优良的曝光装置以及使用于曝光装置的掩模框架搬运装置。
背景技术：
近年来，印刷电路板等的基板被高精度化和高密度化，而且，为了提高生产性，使用连续进行搬入、整合、曝光、搬出的所谓自动曝光装置而形成电路图形。
以该自动曝光装置为代表的曝光装置，预先在基板上涂敷抗蚀剂等特殊的感光性树脂，并通过搬运机(handler)等搬入装置，将基板承载于承载台的规定位置上，进行与形成了规定图形的掩模的相面对位置的整合作业，通过该掩模，使包含规定波长的紫外线的光照射在基板上而进行曝光作业，从而在基板上曝光形成规定的图形。
图7表示现有的曝光装置的概略结构的立体图。
如图7所示，现有的曝光装置80具有光源81，照射包含规定波长的紫外线的光；反射镜84a，将从该光源81照射的光向规定方向反射；复眼透镜(fly-eye lens)83，调整从该反射镜84a照射的光的照度分布；反射镜84b，将来自该复眼透镜83的光向规定方向反射；抛物面镜87，使来自该反射镜的光成为平行光向掩模及基板W一侧反射；承载台82，承载基板W；以及掩模框架86，其保持面对基板W而设置的掩模。装置整体设置在壳体88内。
掩模保持在透光板上并安装于掩模框架86的下面一侧。
为了使掩模与基板W整合并面对，掩模框架86设置于规定的位置上。该掩模框架86由剖面为L字形的导引件85等保持，并且在上述规定位置通过气动机构等而被固定于上述导引件85。
由于掩模是在基板W上曝光而形成规定图形的部件，因此需要根据基板W的种类而进行更换。并且，若尘埃等附着于掩模上，则对曝光图形有影响，所以需要对掩模做清洁及检查维护等。
然而，由于掩模框架86与承载台82面对设置，所以在原位置对掩模框架86做检查维护等的情况下，作业性较差。
所以，以往，从保持掩模框架86的导引件85拉出掩模框架86，并移动至其它的作业台而进行掩模的更换与维护。
另一方面，曝光装置伴随着基板的高精度化及高密度化而需要进行迅速且有效的曝光处理，因此装置有复杂化及逐年大型化的倾向。因此，曝光装置内部并无多余的空间。
特开2003-186209号公报(图1)然而，近年来，随着基板的多品种、少量化，更换掩模的频率增加，同时由于基板的高精度化、高密度化，需要做严格的品质管理，随之，装置的检查维护的重要性也增大。因此，希望设计出一种空间效率高、而且掩模更换等准备工作及维护作业性好的曝光装置。
实际上，除了掩模的更换及清洁作业之外，抗蚀剂因曝光中的高热而变质，基板粘在掩模上而无法搬出的情况，或者是除去残留在承载台上的剩余的抗蚀剂的情况等，需要维护承载台及掩模部的频率也会增加，而且在该维护中，装置要停止动作，因此要求有效且迅速地进行作业。
发明内容
所以，本发明的目的在于提供一种掩模框架搬运装置及曝光装置，其结构紧凑(compact)，且易于将掩模框架从承载台上移动至便于作业的位置上，而有效地进行准备作业，并可进行检查维护作业。
为了解决上述问题，本发明之一的掩模框架搬运装置，即，在壳体内，用于通过掩模在基板上进行整合作业及曝光作业的曝光装置，并搬运掩模框架，所述掩模框架保持与承载上述基板的承载台面对配置的上述掩模，上述掩模框架搬运装置具备支撑上述掩模框架的支撑框架；输送辊子，设于该支撑框架上，并且将上述掩模框架向预先设定的移动方向搬运；导引框架，具有整合为该输送辊子的搬运高度的导引辊子，并且沿着上述移动方向与上述支撑框架相邻；以及安装机构，将上述导引框架收容于上述壳体的内侧，并且安装成能够沿上述移动方向朝上述壳体外侧自由伸出。
这样，通过具有输送辊子的结构，由设于支撑框架的输送辊子所支撑的掩模框架通过该输送辊子朝规定方向被导引，所以掩模框架向预先设定的移动方向被输送出去。
并且，通过安装机构，将导引辊子整合为输送辊子的搬运高度，并且将导引辊子设置成沿着输送辊子的移动方向邻接于支撑框架，由输送辊子送出的掩模框架被引导和传送给导引辊子。
因此，掩模框架被搬运并承载在向壳体外伸出的导引框架的导引辊子上。
而且，安装机构被设置成，在不做搬运时，将导引框架收容于壳体内，在搬运时，使导引框架从收容于壳体内的状态向壳体的外侧伸出。
并且，本发明之二为在本发明之一所述的掩模框架搬运装置中，用于使上述掩模框架旋转的旋转支轴以及支撑上述旋转支轴的轴承部中的任一方设于上述掩模框架与移动方向平行的框架边两侧的规定位置，而另一方则设于在上述掩模框架支撑于上述导引框架的状态下与上述框架边面对的位置上，上述旋转支轴及上述轴承部构成旋转机构，上述导引辊子设置于比上述旋转支轴更靠近上述移动方向的下游侧的位置。
这样，通过可使掩模框架的规定位置与导引框架上的规定位置相面对的结构，掩模框架由设于导引框架上的导引辊子所搬运并承载的状态下，分别设于掩模框架的规定位置和与该位置相面对的导引框架上的旋转支轴及轴承部彼此枢轴支撑而构成旋转机构，并使掩模框架成为可旋转的状态。
并且，在该状态下，导引框架的结构为，在比旋转机构的旋转支轴更靠近移动方向上游侧的位置不具备导引辊子。即，掩模框架在比旋转支轴更靠近移动方向的下游侧的位置，由导引辊子所支撑着，而在比旋转支轴更靠近上游侧的位置则无导引辊子支撑。
因此，通过这样配置导引辊子，当掩模框架的前侧相对于移动方向向上方旋转时，相对于该旋转方向，导引辊子不会妨碍其旋转。
而且，本发明之三为在本发明之二所述的掩模框架搬运装置中，上述旋转机构中，上述轴承部设于上述掩模框架的框架边，并且，上述旋转支轴设置在与上述导引框架的框架边相面对的位置上，而且，旋转止动件设于上述旋转支轴附近，该旋转止动件抵接于旋转的所述掩模框架的平坦面上，并将该掩模框架卡定。
这样，当掩模框架在旋转支轴及轴承被枢轴支撑的状态下旋转时，在向竖立方向旋转的掩模框架的平坦面抵接于旋转止动件的状态下，掩模框架被卡定。
本发明之四为在本发明之一～三任一项所述的掩模框架搬运装置中，其具备中间框架，该中间框架具有中间辊子，所述中间辊子在上述导引框架与上述支撑框架之间整合为上述输送辊子的搬运高度，并支撑上述掩模框架的下面，上述中间框架可从上述掩模框架的下面退避。
这样，通过将中间辊子在上述导引框架与上述支撑框架之间整合为上述输送辊子的高度，使掩模框架通过中间辊子从输送辊子传送至导引辊子。
并且，在分别设于掩模框架及导引框架的轴承部与旋转支轴被枢轴支撑的状态下，中间辊子位于支撑掩模框架后侧的位置。因此，掩模框架在被承载于导引辊子上的状态下由中间辊子稳定地保持，而且，另一方面，通过中间辊子从掩模框架下面退避，可使掩模框架旋转。
本发明之五为在本发明之一～四任一项所述的掩模框架搬运装置中，上述安装机构为双开式保护门，该保护门在沿着上述壳体的位置遮蔽和开放上述支撑框架及上述承载台之间的空间，上述导引框架是设于上述保护门上的部件。
通过这样的结构，保护门位于前面板的内侧，以使异物等根本不会进入承载台及下部构造物，并覆盖承载台与支撑框架的间隙。因此，在保护门关闭状态下将导引框架收容于壳体内，而且在保护门打开的状态下使导引框架从壳体伸出。
本发明之六为具有本发明之一～五任一项所述的掩模框架搬运装置的曝光装置，即，在壳体内，通过保持在掩模框架上的掩模，对承载于承载台上的基板进行整合作业及曝光作业。
通过在曝光装置中配备掩模框架搬运装置，曝光装置具备了将掩模框架从接近作业性差的承载台的位置向曝光装置的外部搬运的功能。
本发明的效果的是根据本发明之一，可以提供一种使用于曝光装置的掩模框架搬运装置，其将掩模框架从承载台的上方移动并可在曝光装置的外侧承载于导引框架上，因此，可进行有效的掩模更换及检查维护作业。
根据本发明之二，可以提供一种掩模框架搬运装置，其通过将掩模框架反转，而使操作人员可自由地正对着掩模框架的表面，因此可进行更有效的掩模更换及检查维护作业。
根据本发明之三，可以提供一种掩模框架搬运装置，其由于具有旋转止动器，因而可以将掩模框架的掩模保持面固定于正对着操作人员的位置上，并可进行有效的掩模更换及检查维护作业。
根据本发明之四，可以提供一种掩模框架搬运装置，由于具有包括中间辊子的可退避的中间框架，因此可稳定地搬运掩模框架，并且，在掩模框架旋转时，可使妨碍该旋转的中间辊子退避，因此可将掩模框架反转而进行有效的掩模更换及检查维护作业。
根据本发明之五，可以提供一种掩模框架搬运装置，由于在曝光装置中利用必要的保护门而设置具有上述导引辊子的导引框架，因此，可有效地活用曝光装置内的空间，空间效率高，曝光装置整体不会大型化，可进行有效的掩模更换及检查维护作业。
根据本发明之六，可以提供一种掩模框架搬运装置，其可进行简单、有效且迅速的掩模更换及检查维护作业。
图1为表示本实施方式的曝光装置的整体结构的立体图。
图2为表示本实施方式的掩模框架搬运装置结构的局部放大图。
图3为用于表示本实施方式的掩模框架搬运装置的旋转切换部13的结构的说明图，图3(a-1)为表示可搬运的位置的立体图，图3(a-2)表示其剖面图，图3(b-1)为表示可旋转的位置的立体图，图3(b-2)表示其剖面图。
图4表示用于说明本实施方式的掩模框架搬运装置的作用的图，表示搬运前的状态，图(a)为平面图，而图(b)为正视图。
图5表示用于说明本实施方式的掩模框架搬运装置的作用的图，表示搬运中的状态，图(a)为平面图，而图(b)为正视图。
图6表示用于说明本实施方式的掩模框架搬运装置的作用的图，表示转动掩模框架的情况，图(a)为平面图，而图(b)为正视图。
图7为表示现有的曝光装置的概略结构的立体图。
标号说明1、曝光装置2、掩模框架搬运装置 3、支撑框架4、掩模框架5、输送辊子 5a、端面用辊子5b、下面用辊子 6、保护门8、导引框架9、导引辊子9a、端面导引件 10、夹持器12、轴承部 12a、托架12b、轴承13、旋转切换部 14、操作杆 14a、圆柱部14b、把手部14c、抵接面 15、旋转支轴15a、弹性挡环 16、保持器 16a、倾斜面18、螺旋弹簧 19、支架 20、固定用螺母25、中间辊子 26、中间框架 28、汽缸30、旋转止动件 32、搬运止动件 40、承载台51、光源 53、复眼透镜 54、反射镜55、反射镜 56、抛物面镜 W、工件(基板)G、透光板具体实施方式
以下，首先参照
本发明的实施方式。
图1为表示本发明的实施方式的曝光装置的概略结构的立体图。如图1所示，曝光装置1在壳体58内具有光源51，照射包含规定波长的紫外线的光；反射镜54，将从该光源51照射的光向规定方向反射；复眼透镜53，调整来自该反射镜54的光的照度分布；反射镜55，将来自该复眼透镜53的光向规定方向反射；抛物面镜56，使来自该反射镜55的光成为平行光而向掩模及基板W一侧反射；承载台40，承载基板W；掩模框架4，其保持面对基板W而设置的掩模；以及掩模框架搬运装置2，向预先设定的移动方向搬运掩模框架4。
在此，在本实施方式中，虽然表示的是产生平行光的光源，但不限于此，本发明也可适用于在掩模框架正上方设置光源的散射光为光源的曝光装置。
并且，在覆盖装置整体的壳体58内，在前面板59形成有门，如果打开该门，双开式保护门(安装机构)6被设置成遮蔽掩模框架4与承载台40之间的空间。
接着，说明本发明的掩模框架搬运装置的结构。
图2为表示掩模框架搬运装置的结构的部分放大图。
如图2所示，掩模框架搬运装置2具备支撑掩模框架4的支撑框架3；设于该支撑框架3的输送辊子5；通过导引框架8而设置在保护门6上的导引辊子9；以及中间框架26，其具有设于输送辊子5及导引辊子9之间的中间辊子25。
掩模框架4具备在俯视时，其中央部呈大矩形状贯通的镜框状的框体；支撑于上述贯通部分的透光板G；以及该透光板G所具备的吸附装置等的保持机构(未图示)，由此，掩模框架4可装卸地保持形成有规定图形的掩模。
并且，掩模框架4在平行于输送方向的两端面具有轴承部12，该轴承部12具有托架12a及轴承12b。该轴承部12的轴承12b的位置配置于比输送方向的中央稍微更靠后侧。
另外，掩模以与承载台40的基板W面对的方式而被保持于掩模框架4的下面一侧(承载基板的承载台侧)。
支撑框架3具备框体，其中央部呈大矩形状贯通的镜框状；输送辊子5，为了将掩模框架4向预先设定的移动方向顺利地送出，而相对于输送方向设置在支撑框架3的两侧。
另外，在此，支撑框架3的输送辊子5具有端面用辊子5a和下面用辊子5b这两种辊子，所述端面用辊子5a限制掩模框架4的端面并决定输送方向，所述下面用辊子5b支撑掩模框架4的下面并决定输送高度。
端面用辊子5a沿掩模框架4的端面而设于支撑框架3的上面的两侧，并且，下面用辊子5b设于支撑框架3的呈镜框状贯通的内周面的侧面两侧。
支撑框架3在其上面及端面上具有夹持器(clamper)10。夹持器10，在搬运方向的两侧与搬运方向后侧的上面以及搬运方向前侧的端面，通过汽缸(cylinder)机构压紧臂(arm)而将掩模框架4紧固于支撑框架3上。该夹持器10是用于在曝光作业中对掩模框架4进行正确的定位和固定的部件。
并且，夹持器10具有夹持解除机构以及为了不成为搬运障碍而使臂脱开的旋转机构。
另外，相对于搬运方向，掩模框架4的后侧端面抵接于支撑框架3的内周端面而被保持着。
中间辊子25配置于输送辊子5及导引辊子9之间，并以整合于输送辊子5的搬运高度的状态配置于中间框架26上。并且，在此，在掩模框架4的移动中，中间辊子25为支撑掩模框架4的下面并可自由旋转的滚珠。
而且，该中间辊子25配置成，在搬运掩模框架4并移动至导引辊子9上的情况下，支撑掩模框架4的后端(相对于输送方向为上游测的端部)下面。因此，掩模框架4的前端侧由导引辊子9保持，后端侧由中间辊子25所保持。
在具备中间辊子25的中间框架26的后方，配置有汽缸28，该汽缸28可以使中间框架26从掩模框架4的下面朝向与掩模框架4的移动方向正交的方向退避。
在导引框架8上使掩模框架4旋转时，为了使该中间辊子25不妨碍该旋转，可以利用汽缸28使中间辊子25后退，并从掩模框架4的下面退避。
保护门6配置成遮蔽承载台40与支撑框架3之间的间隙，其为可自由开闭的双开式门，在保护门6的上边缘位置设有导引框架8。
该保护门6，在关闭的状态(曝光装置工作时)下，起到防止异物等混入承载台40等的作用，在打开状态(维护作业中)下，起到操作人员可以在承载台40与支撑框架3之间的空间进行作业的门的作用。
并且，该保护门6还起到“安装机构”(本发明之一～之五)的作用，即，在不搬运掩模壳体4时，将导引框架8收容于壳体58内，而在搬运掩模壳体4时，使导引框架8向壳体58的外侧伸出。
即，该“安装机构”在保护门6关闭的状态下，将导引框架8收容在曝光装置1的内侧，在保护门6被打开并进行了90度旋转的状态下，将上述导引框架8向掩模框架4的移动方向导引，并使其沿着该移动方向，向壳体58的外侧伸出。
导引框架8具有导引辊子9，设于可支撑掩模框架4的下面的位置；端面导引件9a，在该导引辊子9上支撑掩模框架4时导引该掩模框架4的端面；与设于掩模框架4的轴承12b枢轴支撑的后述旋转支轴15等旋转机构相关的各机构。
导引辊子9配置成从导引框架8的侧面突出，以支撑掩模框架4的下面，且由圆筒状的辊子形成。并且，导引辊子9相对于旋转支轴15配置在移动方向的下游侧(导引框架8的前端侧)的两个部位，而相对于旋转支轴15在移动方向的上游侧未进行设置。
端面导引件9a例如配置在从导引框架8未向掩模框架4的方向突出的位置，中间隔着旋转支轴15在搬运方向上游侧和下游测都进行了配置，并且导引件9a具有限制掩模框架4的端面的可自由旋转的滚珠。
因此，在此，在掩模框架4被搬运和承载到导引框架8上的状态下，掩模框架4的下面由配置于掩模框架4的前端侧的导引辊子9和后端侧的中间辊子25保持。
而且，在本说明书中，所谓“导引辊子”是指支撑掩模框架4的下面的辊子。
接着，对使掩模框架4旋转的“旋转机构”进行说明。
如图2所示，旋转机构包括具有轴承12b的轴承部12以及具有旋转支轴15的旋转切换部13。
在本实施方式中，作为一例，旋转切换部13设置在导引框架8上，而轴承部12设置在掩模框架4上。
轴承部12，例如具有安装于掩模框架4上的托架12a与供旋转支轴15插入的轴承12b。另外，该轴承12b的外周面抵接于后述搬运止动器(stopper)32，而其内周面的导入部的直径被扩大而呈未图示的锥状，以便容易插入旋转支轴15。
在此，轴承部12在掩模框架4的长度方向(搬运方向)上，位于比中间位置更靠近后方的掩模框架4的上表面上，并设于搬运方向的两侧。把该轴承部12设于上述中间位置的后方是因为，在掩模框架4位于导引框架8上的情况下，在中间辊子25从掩模框架4下面退避时，掩模框架4尚未开始旋转，而且掩模框架4在由旋转止动器30支撑的位置被稳定地保持。并且，轴承部12配置于比掩模框架4的中间位置稍微靠后方的位置，以便操作人员能够容易地进行旋转操作。
在本实施方式中，掩模框架搬运装置2具有旋转止动器30。旋转止动器30例如以从导引框架8上突出的方式配置于旋转支轴15的附近，并且使卡定掩模框架4的框架面相对于旋转支轴15从垂直方向稍微向移动方向上游侧后退，以使掩模框架4倾斜规定角度而竖立。
而且，承载掩模框架4的面例如具有缓冲部件，且缓冲部件的位置抵接于掩模框架4的框架平面部分。并且，该旋转止动器30例如将一边的支架19向上方延伸，该延伸出的支架19具有掩模框架4的平坦面所支撑的部分，即缓冲部件。
参照图3，说明旋转切换部。
图3为用于表示旋转切换部13的结构的说明图。图3(a-1)为表示可搬运的位置的立体图，图3(a-2)为其剖面图。并且，图3(b-1)为表示可旋转的位置的立体图，图3(b-2)为其剖面图。
旋转切换部13主要具备可将旋转支轴15压入的操作杆(lever)14；内置有螺旋弹簧的保持器16；以及将操作杆14等部件固定于导引框架8的支架19。
如图3(a-2)所示，操作杆14具有圆柱部14a与把手部14b，旋转支轴15压入圆柱部14a中，操作杆14通过该旋转支轴15可旋转地保持在保持器16上。
保持器16形成为圆筒形，保持器16在上述操作杆14的圆柱部14a侧的端面被斜向地切割，其截面呈三角形，其切口具有倾斜面16a。
在保持器16的内周面中央部从另一端面侧形成台阶部，螺旋弹簧18抵接于该台阶部并内插于保持器16。该螺旋弹簧18的另一端面抵接于弹性挡环15a，该弹性挡环15a嵌入设于上述旋转支轴15上的环形槽。
因此，螺旋弹簧18始终在使旋转支轴15从保持器16的端面突出的方向上施力。即，螺旋弹簧18由保持器16的台阶部及弹性挡环15a所夹持并被压缩，因此，通过弹性挡环15a产生使旋转支轴15从保持器16突出的方向的作用力。
而且，容置有旋转支轴15的位置(图3(a-2)的状态)，因为螺旋弹簧18产生的作用力而不稳定，虽然未图示，但是操作杆14在该位置可被锁定。
如上构成旋转机构，通过将操作杆14旋转180度，保持器16的倾斜面16a与形成于操作杆14的把手部14b根部侧的圆柱部14a的抵接面14c一面抵接，一面旋转，旋转支轴15可从保持器16进行插拔。
即，通过旋转操作杆14，使操作杆14的圆柱部14a的抵接面14c与保持器16的倾斜面16a的顶部侧抵接的情况下，旋转支轴15容置于保持器16，掩模框架4成为可搬运的状态(图3(a-1))，而在抵接面14c与上述倾斜面16a的底部抵接的情况下，旋转支轴15从保持器16的端面突出，构成旋转机构，因此，在枢轴支撑的位置上，掩模框架4成为可旋转的状态(图3(a-2))。
保持器16，例如经由支架19，利用固定用螺母20紧固在设于上述保护门6的导引框架8上。
另外，保持在上述保持器16中的旋转支轴15的中心的高度与设置在上述掩模框架4上的轴承12b的中心高度配置成一致。
在该支架19上，具有搬运止动器32。该搬运止动器32为平板状并与轴承12b的外周面抵接。因此，搬运止动器32的中央部分具有形状近似于轴承部12的轴承12b的外周面的、圆弧状的止动部，该搬运止动器32设于支撑旋转支轴15的支架19上。
搬运止动器32以与旋转切换部13的支架19重叠的方式与其密接固定着，在将掩模框架4搬运到导引辊子9上时，上述圆弧状的止动部抵接于轴承12b的外周面，并且在掩模框架4停止的位置上，轴承12b的中心与旋转支轴15的中心一致。
接着，说明上述结构的本实施方式的掩模框架搬运装置的作用。
图4表示解除保持于支撑框架3的掩模框架4的夹持，且保护门6为打开的状态，图5表示搬运掩模框架4的状态，图6表示转动掩模框架4的情况，(a)图为平面图，(b)图为示意地表示正视图的图。
如图4所示，首先，为了搬运掩模框架4，需要操作夹持用汽缸，解除夹持器10的夹紧，通过使夹持器10旋转90度，以解除夹持。并且，保护门6打开90度，将导引框架8置于掩模框架4的搬运方向上。
在此，掩模框架4由设于支撑框架3上的输送辊子5导引，以使其高度方向及宽度方向朝向规定的移动方向，因此，如果操作人员将掩模框架4的把手拉出，便可将掩模框架4朝规定的移动方向送出。
接着，如第5图所示，在掩模框架4的搬运中，由输送辊子5送出时，中间辊子25发挥着接收掩模框架4的作用。而且，该中间辊子25一面支撑掩模框架4的下面，一面发挥着将掩模框架4移送至设于保护门6上部的导引辊子9的作用。
如本图所示，通过适当地配置输送辊子5及导引辊子9等，在图5(a)中定位于与搬运方向正交的方向，在图5(b)中定位于搬运方向的高度方向。
图6表示将掩模框架4移动和承载到导引框架8上的状态。
如此，当掩模框架4移动到导引辊子9上时，掩模框架4处于由中间框架的中间辊子25和导引框架8的导引辊子9所支撑的状态。
与此同时，设置在掩模框架4上的轴承部12的轴承12b与设置在导引框架8上的搬运止动器32抵接，由此掩模框架4停止移动。在该位置，由于配置了搬运止动件32，以使设置在掩模框架4上的轴承部12与设置在导引框架8上的旋转支轴15相面对(参照图2及图3)，因此轴承12b与旋转支轴15的中心处于一致的状态。
而且，在本实施方式中，导引框架8具有端面导引件9a(参照图2)，而且在导引辊子9上对掩模框架4在宽度方向上的移动方向进行限制，因此，可导引设于掩模框架4的轴承部12与设于导引框架8的旋转支轴15的位置能够相互面对。
并且，操作人员确认上述轴承12b与旋转支轴15的中心一致后，将旋转切换部13的操作杆14旋转180度，当旋转支轴15从保持器16突出而插入轴承12b时，可用该旋转支轴15保持掩模框架4。
接着，操作人员在确认掩模框架4被稳定地保持后，例如，操作使中间辊子25退避的汽缸28，使妨碍掩模框架4旋转的中间辊子25从掩模框架4的下面退避(参照图2)。
这样，通过使中间辊子25从掩模框架4的下面退避，不支撑掩模框架4的后端侧，而使掩模框架4的前端向上方旋转，如图6(b)所示，便可以转动掩模框架4。并且，操作人员慢慢将掩模框架4的平坦面旋转，直到可以用旋转止动器30卡定的位置。
而且，在用旋转止动器30将掩模框架4卡定的位置，可以通过未图示的钩子等将掩模框架4锁定。
这样，通过反转掩模框架4并将其保持，操作人员能够正对着粘贴在掩模框架4的下面的掩模，因此可以容易地进行掩模的更换及掩模表面的清洁等维护作业。
并且，掩模框架4从承载台40上移动，保护门6也打开，所以，能够容易地进行承载台40的清洁工作。(参照图1)以上，对本发明的最佳实施方式进行了说明。然而，本发明并不限于上述的实施方式，在相同的技术思想的范围内可做适宜的变更而实施。
例如，在本实施方式中，虽然“输送辊子5”及“导引辊子9”使用圆筒形的辊子，但并不限于此，只要是多个针状或球式物体等可进行顺利地搬运及定位的部件，就可进行适当地变更。
并且，在本实施方式中，虽然安装机构为双开式保护门，但在本发明之一中并不限于此，例如也可以设置成由角铁等构件构成导引框架8，在该构件上具有导引辊子等的导引机构，并将其滑动式或旋转式地收容于壳体内，在搬运掩模框架时，将该导引机构拉出或旋转，并向壳体的外侧可以自由伸出。
具体而言，在滑动方式中，除了设置滑动机构并将其收容于上游侧以外，在搬运时，可通过定位销(knock pin)等的定位装置将导引框架在搬运方向进行配置，同时，在收容时将导引辊子卸下，在搬运方向上游侧设置保管处将其收容。并且，在旋转式中，通过铰链及连杆机构将导引框架安装于曝光装置的框架上，在收容时，以旋转而密合于曝光装置的框架上的方式而被收容。
而且，在本实施方式中，虽然具有中间辊子，但在本发明之一中，不具有中间辊子的结构也属于本发明的技术范围。
在该场合中，通过将设于旋转机构的旋转支轴以及导引辊子配置于适当的位置上，掩模框架可被保持于导引框架上。并且，在未设置中间辊子的情况下，将导引辊子设于比旋转支轴更靠搬运方向上游侧的位置，也可以使该导引辊子形成可从掩模框架的下面退避的结构。
而且，在旋转机构中，在本实施方式中，虽然操作人员操作操作杆而插入旋转支轴15，但也可以采用如下结构，即，预加载而使旋转支轴15预先突出，在掩模框架4被搬运的时候，旋转支轴15可自动地插入。
权利要求
1.一种掩模框架搬运装置，在壳体内，用于通过掩模在基板上进行整合作业及曝光作业的曝光装置，并搬运掩模框架，所述掩模框架保持与承载上述基板的承载台相对配置的上述掩模，其特征在于，具备支撑框架，支撑上述掩模框架；输送辊子，设于该支撑框架上，并且将上述掩模框架向预先设定的移动方向搬运；导引框架，具有整合为该输送辊子的搬运高度的导引辊子，沿着上述移动方向与上述支撑框架邻接设置；安装机构，将该导引框架收容于上述壳体的内侧，同时，安装成能够沿着上述移动方向朝上述壳体外侧自由伸出。
2.根据权利要求1所述的掩模框架搬运装置，其特征在于，用于使上述掩模框架旋转的旋转支轴以及支撑上述旋转支轴的轴承部的任一方设于上述掩模框架与移动方向平行的框架边两侧的规定位置，而另一方则设于在上述掩模框架支撑于上述导引框架的状态下与上述框架边相面对的位置上，上述旋转支轴及上述轴承部构成旋转机构；上述导引辊子设置在比上述旋转支轴更靠近上述移动方向的下游侧的位置。
3.根据权利要求2所述的掩模框架搬运装置，其特征在于，上述旋转机构中，上述轴承部设于上述掩模框架的框架边，并且，上述旋转支轴设置在与上述导引框架的框架边相面对的位置上，而且，旋转止动件设于上述旋转支轴附近，该旋转止动件抵接于旋转的所述掩模框架的平坦面上，并将该掩模框架卡定。
4.根据权利要求1～3任一项所述的掩模框架搬运装置，其特征在于，具备中间框架，该中间框架具有中间辊子，所述中间辊子在上述导引框架与上述支撑框架之间整合为上述输送辊子的搬运高度，并支撑上述掩模框架的下面，上述中间框架可从上述掩模框架的下面退避。
5.根据权利要求1～4任一项所述的掩模框架搬运装置，其特征在于，上述安装机构为双开式的保护门，其在沿着上述壳体的位置上遮蔽和开放上述支撑框架及上述承载台之间的空间，上述导引框架是设于上述保护门上的部件。
6.一种曝光装置，其特征在于，具有权利要求之1～5任一项所述的掩模框架搬运装置，在壳体内，通过保持在掩模框架的掩模，对承载于承载台上的基板进行整合作业及曝光作业。
全文摘要
一种可进行有效且迅速的检查维护作业的并使用于曝光装置的掩模框架搬运装置。在用于对基板进行曝光作业的曝光装置的掩模框架搬运装置中，具有支撑掩模框架(4)的支撑框架(3)；设于该支撑框架(3)并将掩模框架(4)向预先设定的移动方向搬运的输送辊子(5)；整合为该输送辊子(5)的搬运高度并与支撑框架(3)邻接设置的导引框架(8)；以及将该导引框架(8)收容于曝光装置的内侧，同时安装成能够沿移动方向朝装置外侧自由伸出的保护门(6)(安装机构)。
文档编号H05K3/00GK1704849SQ20051007609
公开日2005年12月7日 申请日期2005年5月31日 优先权日2004年6月1日
发明者水口信一郎, 船山昌彦, 伊势胜 申请人:株式会社Orc制作所