专利名称：高能量分辨率固体阵列检测器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于多晶X射线衍射仪的高性能检测器。
背景技术：
X射线衍射仪作为物质结构分析的仪器在物理、化学、化工、地质、矿物、冶金、建材、陶瓷、高分子材料、药物、医学、农业...等许多领域里得到广泛的应用。
X射线衍射仪需要用射线检测器来完成衍射强度的测量。传统的检测器分为正比计数器，闪烁计数器和固体检测器。大多数检测器因使用滤波片或晶体单色器等物理的单色化手段而导致了对所探测的X射线强度的衰减。
实用新型内容针对上述存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种高能量分辨率固体阵列检测器，可以避免使用滤波片或晶体单色器等物理的单色化手段，同时大大提高使衍射线的接受强度。
为实现上述目的，本实用新型一种高能量分辨率固体阵列检测器包括晶元片、初级放大器电路、脉冲多道分析处理系统和信号处理系统，所述晶元片上刻蚀有若干条间距相等的长方型Si-PIN片阵列，所述Si-PIN片将探测信号传输给初级放大器电路放大整形，再经脉冲多道分析处理系统分析处理后传输给信号处理系统；其中，所述晶元片通过一高压电源供电，该高压电源由所述信号处理系统控制。
进一步地，所述晶元片旁设置有多级电制冷器件和热传导材料。
进一步地，所述信号处理系统为设置有信号处理软件的计算机。
本实用新型通过采用阵列的Si-PIN器件及相应的脉冲多道分析处理系统，再通过软件的处理，达到了提高多晶X射线衍射仪整体图谱的强度和分辨力的目的。采用高能量分辨率Si的PIN器件作为检测器阵列的单元检测器，每个单元的能量分辨率均优于300eV，因而使用本实用新型技术的高能量分辨率固体阵列检测器和扫描数据采集技术建立多晶X射线衍射仪的衍射数据采集系统可以免用滤波片或晶体单色器等物理的单色化手段，而且可以使衍射线的接收强度增强n倍。
附图为本实用新型结构示意图。
具体实施方式
采用高能量分辨率固体检测器是最好的选择，可以避免因使用滤波片或晶体单色器等物理的单色化手段而导致的X射线强度的衰减，可以成倍地或几倍地提高样品的可测量的衍射强度。但是，如何提高接收到的衍射强度仍然是增强衍射仪的检出灵敏度的关键。由于衍射仪是采用扫描方式进行测量的，虽然为获得样品的一套衍射图数据的总时间很长(一般需几分钟至几十分钟)，但是对于每一个采数步而言，可以享有的测量时间是很短的(等于总测量时间除以数据总个数)。因此，在扫描时使用集成在一起的并排的多个以至几十个固体检测器阵列进行数据采集，是提高衍射线接收强度的有效办法在扫描时，检测器阵列中的每一个检测器单元依次对每一个采数步的衍射强度进行测量，通过软件把各检测器单元在相同衍射角的采数步内获得的衍射强度数据叠加起来，从而使每一采数步的测量强度n倍于使用一个检测器时所获得的测量强度(n为构成阵列的单元总数)。
如附图所示，本实用新型包括晶元片1、初级放大器电路2、脉冲多道分析处理系统3和信号处理系统4，晶元片1上刻蚀有若干条间距相等的长方型Si-PIN片阵列，Si-PIN片将探测信号传输给初级放大器电路2放大整形，再经脉冲多道分析处理系统3分析处理后传输给信号处理系统4，由于晶元片1在探测过程中温度会升高，为了降低晶元片1的温度，在晶元片1旁还设置有多级电制冷器件和热传导材料6；其中，晶元片1通过一高压电源5供电，高压电源5由信号处理系统4控制，信号处理系统4为设置有信号处理软件的计算机。
权利要求1.一种高能量分辨率固体阵列检测器，其特征在于，包括晶元片、初级放大器电路和信号处理系统，所述晶元片上刻蚀有若干条间距相等的长方型Si-PIN片阵列，所述Si-PIN片将探测信号传输给初级放大器电路放大整形后传输给信号处理系统；其中，所述晶元片通过一高压电源供电，该高压电源由所述信号处理系统控制。
2.根据权利要求1所述的一种高能量分辨率固体阵列检测器，其特]征在于，所述晶元片旁设置有多级电制冷器件和热传导材料。
专利摘要本实用新型公开了一种高能量分辨率固体阵列检测器，包括晶元片、初级放大器电路、脉冲多道分析处理系统和信号处理系统，所述晶元片上刻蚀有若干条间距相等的长方型Si－PIN片阵列，所述Si－PIN片将探测信号传输给初级放大器电路放大整形，再经脉冲多道分析处理系统分析处理后传输给信号处理系统；其中，所述晶元片通过一高压电源供电，该高压电源由所述信号处理系统控制。本实用新型通过采用阵列的Si－PIN器件及相应的脉冲多道分析处理系统，再通过软件的处理，达到了提高多晶X射线衍射仪整体图谱的强度和分辨力的目的。
文档编号H05K7/20GK2901302SQ20052012212
公开日2007年5月16日 申请日期2005年9月27日 优先权日2005年9月27日
发明者付献, 江超华 申请人:北京普析通用仪器有限责任公司