专利名称：可消除静电的基板载具的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种承载基板的载具，特别是涉及一种可消除静电的基板载具。
背景技术：
在半导体工艺之中，每一片基板(或晶片)都会经过数道不同的工艺，以制作出各式各样的电子产品。举例来说，以液晶显示器(liquid crystal display，LCD)的制作而言，玻璃基板亦需要经过曝光、显影、沉积等等繁杂的流程，而这些繁杂的工艺步骤必须仰赖不同的机器完成之，因此，玻璃基板在制作的过程中，必须依据所进行的工艺，移动到不同的机器来进行不同的工艺步骤。
然而，玻璃基板放在无尘室中会产生带电不良的情形，尤其在传送的过程中，不论玻璃基板是放置于卡匣(cassette)中、移动的运送装置上(譬如真空机械人)，或是正在作业的机器中，玻璃基板皆会与周遭的环境产生摩擦，而产生静电放电(electrostatic discharge，ESD)效应。
在某些特定的机器，譬如ULVAC PVD机器，是先利用真空机械人手臂将玻璃基板传送至溅射室(sputter chamber)，之后再进行物理气相沉积，并于玻璃基板表面生成半导体以及保护层的薄膜。
请参阅图1，图1为现有机械人手臂(robot forklift)100的示意图。如图1所示，机械人手臂100包括支撑模块110、120，以及一连接模块130。连接模块130与机械人的本体连接，而支撑模块110、120与连接模块130相互连接，以通过支撑模块110、120与连接模块130之间的连接力，来提供支撑模块110、120一支撑力。因此，支撑模块110、120便可以用来承载玻璃基板150，以将玻璃基板150运送至不同的机器。
此外，一般来说，支撑模块110、120上亦设置有多个接触垫140。当支撑模块110、120运送玻璃基板150时，这些接触垫140会提供玻璃基板150多个接触面，以通过这些接触面，提供玻璃基板150承载时所需的支撑力，并且同时提供一摩擦力，以防止玻璃基板150与接触垫140之间发生 滑动。
然而，由于这些接触垫140会与玻璃基板1 50相互摩擦，因此玻璃基板150与接触垫140之间会开始累积静电电荷，当电荷累积到一定程度后，接触垫140与玻璃基板150之间便会发生前述的静电效应，因此，图1所示的区域160、170便会产生前述的静电效应。由于静电效应会改变区域160、170周遭的电场，如此便会使得玻璃基板150进行各项工艺时，因电场的不稳定而产生不必要的工艺误差。
发明内容
有鉴于此，本发明的主要目的之一在于提供一种可消除静电的基板载具，以解决现有技术中的问题。
本发明揭露一种用来承载一基板的载具，该载具包括一支撑模块以及一导电媒介。其中，该支撑模块具有至少一接触区域与该基板接触，以提供该基板一支撑力以承载该基板，因此上述的静电放电效应可能发生于该接触区域，一导电媒介电连接至该接触区域与一电压准位，以消除该接触区域与该基板之间的静电。
本发明另揭露一种使用一载具来承载一基板的方法，其包括使用该载具的一支撑模块上的至少一接触区域与该基板接触，以提供该基板一支撑力来承载该基板；以及将该接触区域电连接至一电压准位，以经由该电压准位消除该接触区域与该基板之间的静电。
本发明的机械人手臂具有导电媒介，以消除接触垫与玻璃基板之间所产生的静电，因此，原本工艺时所受到静电干扰的情况便可大幅改善，也因此可以提升液晶显示器的成品率。
图1为现有机械人手臂(robot forklift)的示意图。
图2为本发明机械人手臂(robot forklift)的示意图。
图3为图2所示的导电媒介的一实施例的示意图。
简单符号说明110、120、210、220支撑模块 140、240 接触垫150、250 玻璃基板 130、230 连接模块
160、170、260、270区域100、200机械人手臂280 导电媒介具体实施方式
请参阅图2，图2为本发明机械人手臂(robot forklift)200的示意图。如图2所示，机械人手臂200亦包括支撑模块210、220，以及一连接模块230。连接模块230与机械人的本体连接，而支撑模块210、220与连接模块230相互连接，以通过支撑模块210、220与连接模块230之间的连接力，来提供支撑模块210、220一支撑力。因此，支撑模块210、220便可以用来承载玻璃基板250，以将玻璃基板250运送至不同的机器。
与机械人手臂100相同，本发明机械人手臂200的支撑模块210、220上亦设置有多个接触垫240。当支撑模块210、220运送玻璃基板250时，这些接触垫240会提供玻璃基板250多个接触面，以通过这些接触面，提供玻璃基板250承载时所需的支撑力，并且同时提供一摩擦力，以防止玻璃基板250与接触垫240之间发生滑动。
于本实施例之中，支撑模块210、220上面另具有一导电媒介280，导电媒介280一端电连接至前述的接触垫240，而另一端电连接至接地端；因此，于区域260、270中，原本由于接触垫240与玻璃基板250相互摩擦而产生的静电荷便会经由导电媒介280导流至接地端，如此便可以有效地消除前述的静电效应。
请参阅图3，图3为图2所示的导电媒介280的一实施例的示意图。如图3所示，导电媒介280为一树枝状的铜箔导线，其中每一个分叉接触支撑模块210、220上的接触垫240，而铜箔导线的另一端电连接至接地端，因此，静电荷便可以通过接地端的低电压导出。而图3所示的树枝状的铜箔导线280仅仅只为本发明的一优选实施例，换句话说，导电媒介280亦可具有不同的形状，或是利用其它的导电物质制作而成，如此的相对应变化，亦属本发明的范畴。
然而，为了确实地将接触垫240与玻璃基板250之间的静电荷导至接地端，于本发明的优选实施例中，本发明改良了一些元件，以达到消除静电荷的最佳化，举例来说，接触垫240采用微导电材料制作而成，如此，区域260、270的静电荷便可顺利地通过可导电的接触垫240以及导电媒介280导出；接触垫240亦可采用其它的材料，前述的微导电材料仅仅作为本发明的优选实施例，而非本发明的限制。
此外，如图2以及图3所示，导电媒介280通过一背胶平贴于支撑模块210、220上，因此，为了整体结构的最佳化，并且为了避免导电媒介280影响到原本欲进行的工艺，于本发明的优选实施例中，背胶采用耐高温的背胶，以免背胶挥发出不必要的气体而影响工艺；并且，铜箔的厚度也尽可能的薄，以使铜箔对工艺的影响达到最低，举例来说，铜箔的厚度可为0.1mm；然而，前述的耐高温背胶，0.1mm的铜箔厚度亦仅作为本发明的优选实施例，设计者可随着欲进行的工艺以及成本的考虑而选择不同的材料以及厚度，如此的相对应变化亦不违背本发明的精神。
上述皆利用液晶屏幕的工艺加以说明，然而，本发明亦可利用于各种不同电子产品的工艺；换句话说，本发明的机械人手臂不限于用来承载玻璃基板，本发明的机械人手臂实可利用来承载并且运送各种基板，或是晶片。
此外，本发明亦不限于实施于前述的机械人手臂；在实际应用上，所有用来承载基板的载具，皆可利用本发明的方法将附着于基板的静电消除，如此的相对应变化亦属本发明的范畴。
相较于现有技术，本发明的机械人手臂具有导电媒介，以消除接触垫与玻璃基板之间所产生的静电，因此，原本工艺时所受到静电干扰的情况便可大幅改善，也因此可以提升液晶屏幕的成品率。
以上所述仅为本发明的优选实施例，凡依本发明权利要求所做的均等变化与修饰，皆应属本发明的涵盖范围。
权利要求
1.一种用来承载基板的载具，其包括支撑模块，其具有至少一接触区域与该基板接触，用来提供该基板支撑力以承载该基板；以及导电媒介，电连接至该接触区域与电压准位，以经由该电压准位消除该接触区域与该基板之间的静电。
2.如权利要求1所述的载具，其中该支撑模块包括多个接触垫，每一接触垫提供一接触区域来与该基板接触。
3.如权利要求2所述的载具，其中该多个接触垫以微导电材料制作而成。
4.如权利要求1所述的载具，其中该导电媒介包含金属薄膜，连接于该接触区域。
5.如权利要求4所述的载具，其中该金属薄膜为铜箔。
6.如权利要求5所述的载具，其中该铜箔平贴于该支撑模块上。
7.如权利要求6所述的载具，其中该铜箔与该支撑模块利用背胶相互黏接。
8.如权利要求7所述的载具，其中该背胶为耐高温背胶。
9.如权利要求1所述的载具，其中该基板为玻璃基板。
10.如权利要求1所述的载具，其中该电压准位为接地电位。
全文摘要
一种用来承载一基板的载具包括一支撑模块，其具有至少一接触区域与该基板接触，用来提供该基板一支撑力以承载该基板；以及一导电媒介，电连接至该接触区域与一电压准位，以消除该接触区域与该基板之间的静电。
文档编号H05F3/00GK101071785SQ200610080368
公开日2007年11月14日 申请日期2006年5月11日 优先权日2006年5月11日
发明者刘懿承, 王信雄, 黄铭岗 申请人:中华映管股份有限公司