专利名称：搬运装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种搭载电子部件的带状的搬运装置，特别是涉及从对置地卷绕有带和保护片的卷筒，将带与保护片分离后进行搬运的搬运装置。
背景技术：
近年来，搭载电子部件的基板变得薄层化，伴随着使用范围的扩大，该尺寸也多样化，厚度为12.5μm至50μm，宽度自35mm至250mm。这样的基板从处理容易性以及高生产性出发，形成为长而且是薄膜状的带。该带由于是长尺寸形状，因此在曝光、清洗、蚀刻、检查、以及组装等的各处理工序间，虽然是在卷绕于卷筒的状态下进行处理，但在各处理工序中会在带的表面涂布抗蚀剂或电路用金属薄膜，或者安装电子部件。因此，在卷绕于卷筒的带之间，安装有与带大致相同形状的保护片，以防止带的表面附着异物，和防止安装于带的电子部件的导线变形、损伤等。
另一方面，各处理工序中的处理对象仅仅是带，保护片是不必要的。因此，在将带搬运至各处理工序的搬运装置中，从卷绕有带与保护片的供给卷筒，将带与保护片分离后送出，仅将带搬运至处理工序。然后，在将处理完毕的带卷绕到卷绕卷筒上时，再次使保护片夹装于带之间。
图5为第一现有技术的搬运装置的示意图。
作为第一现有技术，如图5所示，有搬运装置100，其包括供给卷筒101，其以在卷绕的带T1之间夹装有保护片S1的状态，卷绕有带T1与保护片S1；卷绕从该供给卷筒101送出的带T1的卷绕卷筒102；将从供给卷筒101送出的保护片S1与带T1分离、并卷绕该保护片S1的卷绕卷筒103；卷绕有保护片S2的供给卷筒104，该保护片S2用于夹装在卷绕于卷绕卷筒102的带T1之间；以及设于作为带T1的搬运系统的供给卷筒101与卷绕卷筒102之间的处理部105(例如专利文献1～3)。在该搬运装置100中，通过将带T1与保护片S1分离后进行搬运，能够在处理部105中仅处理带T1。
在搬运装置100中，在从供给卷筒101将保护片S1卷绕到卷绕卷筒103上时，要调整其张力。具体而言，(1)在专利文献1中，在供给卷筒101与保护片用的卷绕卷筒103之间设有压送滚子；(2)在专利文献2中，将电动机经由离合器连结于保护片用的卷绕卷筒103的驱动轴上。另外，为了调节在卷绕卷筒103侧卷绕的保护片S2的张力，(3)在专利文献3中，通过对保护片S2使用由弹簧产生的弹力，来将张力施加在带T1上。
图6为第二现有技术的搬运装置的示意图。
作为第二现有技术，如图6所示，有装置200，其包括卷绕有带T1与保护片S1的供给卷筒201；卷绕从该供给卷筒201送出的带T1与保护片S1的卷绕卷筒202；从供给卷筒201至卷绕卷筒202的带T1的搬运系统203；从供给卷筒201至卷绕卷筒202的保护片S1的搬运系统204；以及设于搬运系统203的检查装置205(例如，参照专利文献4)。在该装置200中，从供给卷筒送出的带T1与保护片S1由各自的搬运系统203、204分别搬运，从而在检查装置205中能够仅检查带T1。
特许第3663421号公报[专利文献2]特开2004-193259号公报[专利文献3]特开2005-93958号公报[专利文献4]特开2005-5586号公报但是在第一现有技术中，如图5所示，需要用于卷绕从供给卷筒101送出的保护片S1的专门的卷绕卷筒103，并且作为卷绕在该卷绕卷筒103上的保护片S1的张力调整装置，还需要压送滚子、离合器以及弹簧等，存在附带设备变多的问题。当在卷绕处理后的带T1时，为了在带T1之间夹装保护片S2，需要另外进行在卷绕卷筒102的附近设置保护片用的供给卷筒104的作业，因此存在作业效率差的问题。
另一方面，在第二现有技术中，如图6所示，由于从供给卷筒201送出的保护片S1直接卷绕在卷绕卷筒202上，因而不需要附带设备(图5中的卷绕卷筒103等)。但是，由于供给卷筒201、检查装置205、卷绕卷筒202在水平方向上并列，因而会有装置大型化、且需要有大的设置空间的问题。
并且，在装置200中，由于在检查装置205的上方配置有搬运系统204，因而存在附着于保护片S1的灰尘会飞散至检查装置205的作业区域的问题。
而且，在装置200的搬运系统203中，在供给卷筒201与检查装置205之间，在检查装置205与卷绕卷筒202之间等，使带T1松弛以调整其张力，另一方面在搬运系统204中，由于仅在卷绕卷筒202的近前调整保护片S1的张力，因此难以使带T1的移动与保护片S1的移动同步。因此具有卷绕卷筒202上的带T1与保护片S1的卷绕的平衡会恶化的问题。
发明内容
因此，本发明的课题在于提供一种搬运装置，其解决上述问题，不设置附带设备且使装置比现有技术更小型，并且，防止了灰尘飞散到处理台的作业区域中。另外，提供一种能够以良好的平衡来卷绕带与保护片的搬运装置。
为了解决该等问题，第一观点的搬运装置，将带状的工件搬运至沿铅直方向设置的处理台，并且该搬运装置以处理台为界配置于一侧，所述搬运装置包括供给卷筒，其送出所卷绕的工件和与该工件对置地卷绕的保护片；卷绕卷筒，其设于供给卷筒的下方，卷绕从供给卷筒送出的工件；工件搬运单元，其将工件从供给卷筒经由处理台搬运至卷绕卷筒；以及保护片搬运单元，其以供给卷筒为基点向与处理台不同的方向迂回，将保护片从供给卷筒搬运至卷绕卷筒。
根据这样的结构，从供给卷筒送出的工件通过工件搬运单元由处理台对表面进行处理，并同时被搬运至卷绕卷筒。并且，从供给卷筒送出的保护片通过保护片搬运单元被搬运至卷绕卷筒。即，从供给卷筒送出的工件和保护片通过各自的搬运单元搬运后，以再次合在一起的状态卷绕在卷绕卷筒上。因此，可不需要用于卷绕保护片的专门的卷筒。
并且，由于在供给卷筒的下方设置卷绕卷筒，因此与现有技术相比，工件搬运系统在水平方向上的长度变短，从而能够使装置小型化。
而且，保护片搬运单元由于设置成从供给卷筒至卷绕卷筒向与处理台不同的方向迂回，因此即使在灰尘附着于保护片的情况下，也能够防止灰尘飞散到处理台的作业区域中。
第二观点的搬运装置中，保护片搬运单元具有保护片张力调整单元，该保护片张力调整单元由以下部分构成引导从供给卷筒送出的保护片的第一滚子；将保护片导向卷绕卷筒的第二滚子；以及调整第一滚子与第二滚子之间的保护片的张力的第一充气容器。
根据这样的结构，通过保护片张力调整单元来调整带的张力，从而能够在稳定的张力下搬运保护片。
第三观点的搬运装置中，从供给卷筒经由处理台搬运至卷绕卷筒的工件、和从供给卷筒搬运至卷绕卷筒的保护片，经由供给卷筒和卷绕卷筒构成闭环。
根据这样的结构，可以不需要用于卷绕保护片的专门的卷筒。
在第四观点中，所述搬运装置还包括第一检测器，其检测从处理台向卷绕卷筒搬运的工件在宽度方向上的位置；以及第二检测器，其检测从供给卷筒向卷绕卷筒搬运的保护片在宽度方向上的位置，根据第一检测器与第二检测器的结果，使卷绕到卷绕卷筒的工件与保护片在宽度方向上一致。
根据这样的结构，能够在使带T的宽度方向与保护片S的宽度方向正确地对齐的状态下，将两者卷绕到卷绕卷筒上。
在第五观点中，工件搬运单元包括第一张力调整单元，其设于供给卷筒与处理台之间，用于调整供给至处理部的工件的张力；以及第二张力调整单元，其设于处理台与卷绕卷筒之间，用于调整卷绕到卷绕卷筒的工件的张力，第一张力调整单元具有引导从供给卷筒送出的带的第三滚子；向处理台侧引导带的第四滚子；以及调整第三滚子与第四滚子之间的带的张力的第二充气容器，第二张力调整单元具有引导来自处理台侧的带的第五滚子；将带导向卷绕卷筒的第六滚子；以及调整第五滚子与第六滚子之间的带的张力的第三充气容器。
根据这样的结构，通过第一张力调整单元和第二张力调整单元来调整张力，从而能够以稳定的张力搬运带。
根据本发明的搬运装置具有以下的优良效果。
(1) 由于构成为能够将从供给卷筒送出的工件与保护片以再次合在一起的状态卷绕到卷绕卷筒上，因此不需要保护片专用的卷绕卷筒等附带设备。
(2) 由于在供给卷筒的下方设置卷绕卷筒，因此与现有技术相比，能够使装置小型化。
(3) 保护片搬运单元通过向与处理台不同的方向迂回，即使在灰尘附着于保护片的情况下，也可防止灰尘飞散到处理台的作业区域中。
(4) 能够将保护片与工件以在宽度方向上一致的方式卷绕到卷绕卷筒上。
(5) 由于保护片搬运单元具有保护片张力调整单元，工件搬运单元具有第一、第二张力调整单元，因此能够使工件与保护片的张力稳定，从而能够以良好的平衡卷绕工件与保护片。
图1为表示本实施方式的搬运装置与曝光装置的整体立体图。
图2为表示本实施方式的搬运装置与曝光装置的一部分的示意图。
图3为表示本实施方式的搬运机构中的导引滚子41c的放大剖面图。
图4a至图4c为本实施方式的变形例的搬运装置及曝光装置的一部分的示意图。
图5为第一现有技术的搬运装置的示意图。
图6为第二现有技术的搬运装置的示意图。
标号说明2供给卷筒；3带搬运系统；4保护片搬运系统；5卷绕卷筒；3 1第一张力调整单元；31a第二充气容器；31b、31c导引滚子；32台导引滚子；33第二张力调整单元；33a第三充气容器；33b、33c导引滚子；41第三张力调整单元；41a第一充气容器；41b、41c导引滚子；51a、51b第一、第二传感器；A搬运装置；E曝光装置；S保护片；T带。
具体实施例方式
以下，参照
本发明的最佳实施方式。
图1为表示本实施方式的搬运装置与曝光装置的整体立体图，图2为表示本实施方式的搬运装置与曝光装置的示意图。
如图1所示，本实施方式的搬运装置A是仅将送出的带T(工件)与保护片S中的带T搬运至曝光装置E(处理部)的曝光台14(处理台)的装置。首先，对带T、保护片S以及曝光装置E依次进行说明。
<带T、保护片S的结构>
带T为薄膜状的基板，其经过曝光、清洗、蚀刻、以及检查等各处理工序而成为搭载电子部件的基板。这里，是作为在曝光工序中挂在曝光装置E上的带进行说明，但挂有带T的处理工序并不限于此。该带T例如具有宽度250mm、厚度25μm、以及长度200m的尺寸，有时在宽度方向两侧沿长度方向设有以预定间隔形成的多个穿孔f。
另外，保护片S是由保护带T的表面的薄纸等形成的片体，其夹装于卷绕在卷筒上的带T之间。该保护片S形成为与带T大致相同的形状。
<曝光装置E的结构>
曝光装置E为将掩模M的图案曝光在由搬运单位A以一块为一个单位逐块搬运的带T上的装置。该曝光装置E包括光源系统11；保持配置于该光源系统的光轴上的掩模M的掩模保持框12；与该掩模保持框12隔开预定距离配置的投影光学系统13；以及配置于从该投影光学系统13送来的照射光的光路上的曝光台14。而且曝光装置E包括用于在曝光之前使带T与掩模M的匹配标记(未图示)的位置对准的摄像装置15；对所拍摄的匹配标记进行图像处理的图像处理装置16；以及装置控制装置17。
光源系统11向掩模M照射包含预定波长的紫外线的光。光源系统11由以下部分构成灯11a；设置成覆盖该灯11a的下表面侧的椭圆面镜11b；改变由该椭圆面镜11b所反射的照射光的方向的反射镜11c；以及调整由该反射镜11c所反射的照射光的照度分布的透镜11d。
掩模保持框12为在使掩模M沿铅直方向立起的状态下保持掩模M的支承框，其设置成与投影光学系统13对置。掩模保持框12具有用于使掩模M沿与投影光学系统13的入射光轴正交的垂直方向移动的驱动机构。在掩模M上绘有投影到带T上的相当于一块份的电路图案，并且，在预定位置设置有进行与带T的对位的匹配标记、识别掩模本身的识别标记等。
投影光学系统13具有入射侧凸透镜13a和出射侧凸透镜13b，所述入射侧凸透镜13a和出射侧凸透镜13b设置成使入射光和出射光的光轴与透镜中心一致。根据该投影光学系统13，入射的照射光透过入射侧凸透镜13a和出射侧凸透镜13b并从出射侧凸透镜13b射出，并照射在带T上。而且，在本实施方式中是使用投影光学系统13，但适用于本发明的光学系统并不特别限定。
曝光台14定位于与投影光学系统13相隔预定距离的位置上，台面14a沿铅直方向配置，从而台面14a与来自投影光学系统13的照射光的光轴正交。通过这样的配置，可使搬运系统与光学系统的安装位置在水平方向上的长度变短，从而使得搬运装置A小型化。
并且，曝光台14连接于未图示的真空泵的配管，其构成为吸附并固定带T。在曝光台14上，带T被逐块搬运，在带T与掩模M的对位完毕之后，进行曝光。
摄像装置15为用于取得带T的定位标记与掩模M的定位标记的单元，其由半反射镜和CCD摄像机等构成。该摄像装置15在曝光时退避，配置在离开光路的位置上。
图像处理装置16将从摄像装置15输入的定位标记的图像数据输出至装置控制装置17。
并且，装置控制装置17根据来自图像处理装置16的图像数据，来控制带搬运系统3的导引滚子31c、台导引滚子32、32以及导引滚子33b，以使带T与掩模M的标记的位置匹配。而且，装置控制装置17还控制掩模保持框12的掩模M的驱动机构。并且，装置控制装置17在保护片S与带T卷绕到卷绕卷筒5上时，控制保护片搬运系统4的导引滚子41c，以使两者在宽度方向不会错开。
<搬运装置A的结构>
接着，对搬运装置A的结构进行说明。以下，以图2所示的搬运装置A的状态为基准，来定义上下左右的方向进行说明。
如图1和图2所示，搬运装置A包括供给卷筒2、搬运带T的带搬运系统3(带搬运单元)、搬运保护片S的保护片搬运系统4(保护片搬运单元)以及卷绕卷筒5。
《供给卷筒2》在供给卷筒2上，卷绕有带T，并且与该带T对置地卷绕有保护片S。该供给卷筒2例如是直径为600mm的卷筒。该供给卷筒2通过由电动机等驱动未图示的驱动轴，而向顺时针方向旋转。由此，从供给卷筒2送出的带T与保护片S经由不同的搬运系统(带搬运系统3、保护片搬运系统4)到达卷绕卷筒5。
《带搬运系统3》如图2所示，带搬运系统3为将带T从供给卷筒2搬运至卷绕卷筒5的系统，曝光装置E配置于其中途。在该带搬运系统3中具有设于供给卷筒2与搬运装置A之间的第一张力调整单元31；将带T引导向曝光装置E的曝光台14的一对台导引滚子32、32；以及设于曝光装置E与卷绕卷筒5之间的第二张力调整单元33。
第一张力调整单元31配置于供给卷筒2的右斜下方，其由一对导引滚子31b、31c(第三滚子、第四滚子)以及配置于它们之间的、调整带T的张力的第二充气容器31a所构成。第二充气容器31a形成为盒子状，其通过使卷挂于导引滚子31b、31c上的带T由于自重而在其内部松弛成U字形，来调整输送至曝光装置E的带T的张力。由此不会在带T上产生过度的负荷或松弛。
导引滚子31c可以是能够沿轴向移动的结构，以使带T以正确的姿态输送至曝光台14。
台导引滚子32、32配置于曝光台14的上方和下方，用于将带T引导向曝光装置E的曝光台14的台面14a。即，在该台导引滚子32、32之间的带T的搬运方向沿着台面14a而成为铅直方向。而且，配置于上方的台导引滚子32配置于导引滚子31c的右斜下方。关于台导引滚子32、32，必须将正确的带T送至台导引滚子32、32，必须使在台导引滚子32、32与带T之间不会因产生滑动而使进给量产生偏差。因此，台导引滚子32、32最好是真空抽吸带T的结构。并且，台导引滚子32、32最好使滚子本身由ABS等树脂制成，以便吸收微小振动。
如图2所示，第二张力调整单元33配置于第一张力调整单元3 1的下方，由一对导引滚子33b、33c(第五滚子、第六滚子)以及设于它们之间的、调整带T的张力的第三充气容器33a所构成。第三充气容器33a形成为盒子状，其通过使卷挂于导引滚子33b、33c的带T由于自重而在其内部松弛成U字形，来调整搬运至卷绕卷筒5的带T的张力。由此，不会在带T上产生过度的负荷或松弛。而且，上游侧的导引滚子33b配置在下侧的台导引滚子32的左斜上方。
导引滚子33b可以为能够沿轴向移动的结构，以便将带T以正确的姿态输送至曝光台14。通过使导引滚子31b与上述的导引滚子31c成对地沿轴向移动，能够修正带T的宽度方向的偏差量，或修正带T的倾斜度(姿态)。
《保护片搬运系统4》保护片搬运系统4设置成从供给卷筒2起，朝向与带搬运系统3拉出的方向不同的方向(左方向)并且向下方拉出。即使灰尘附着在保护片S上，也能够防止该灰尘飞散至设于带搬运系统3的曝光装置E的曝光台14上。
该保护片搬运系统4为将保护片S从供给卷筒2搬运至卷绕卷筒5的系统，其具有第三张力调整单元41。
第三张力调整单元41(保护片张力调整单元)配置于供给卷筒2的左斜下方，其由一对导引滚子41b、41c(第一滚子、第二滚子)以及设于它们之间的、调整保护片S的张力的第一充气容器41a所构成。第一充气容器41a，形成为盒子状，其通过使卷挂于导引滚子41b、41c上的带T由于自重而在其内部松弛成U字形，来调整搬运至卷绕卷筒5的保护片S的张力。由此，不会在保护片S上产生过度的负荷或松弛。而且，在第一充气容器41a中，构成为能够使带T比在第二充气容器31a和第三充气容器33a松弛得更长。另外，上游侧的导引滚子41b设置在供给卷筒2的左斜下方，并且下游侧的导引滚子41c设置在卷绕卷筒5的左斜上方。而且，保护片搬运系统4除了第三张力调整单元41之外，还可具有多个导引滚子。
《导引滚子41c的结构》图3为表示第三张力调整单元41中的导引滚子41c的放大剖面图。
图3所示的导引滚子41c是这样的滚子将保护片S从第一充气容器41a向卷绕卷筒5输送(参照图2)，并且具有能够使保护片S沿箭头b所示的宽度方向(箭头a所示的轴向)移动的工件位置调整单元142。导引滚子41c包括用于搬运保护片S的可自由旋转的滚子本体141；通过滚珠丝杠144的旋转而沿轴向移动的螺母145；与该螺母145一体地移动的键轴146；与该键轴146一体地移动的支轴147；以及介于该支轴147与滚子本体141之间的轴承148。
工件位置调整单元142通过使滚子本体141的位置沿轴向(保护片S的宽度方向)移动，来调整处理部51中的保护片S的位置。该工件位置调整单元142包括电动机M1、滚珠丝杠144、螺母145、键轴146、以及支轴147。
在使滚子本体141旋转的同时，图3所示的电动机M1根据装置控制装置17的控制信号而正转和反转，以使滚子本体141沿箭头a所示的轴向(保护片S的宽度方向)移动。由此，卷挂于滚子本体141的保护片S沿箭头b所示的宽度方向移动。正转和反转量根据来自后述的检测带T在宽度方向上的位置的第一传感器51a、以及检测保护片S在宽度方向上的位置的第二传感器51b的位置信号而运算求出。
装置壳体143为保持电动机M1并贯穿有电动机轴M1a的部件，装置壳体143固定在适当的位置上。导引滚子41c通过该装置壳体143被保持在预定的位置上。
滚珠丝杠144连结于电动机M1的电动机轴M1a，并与电动机轴M1a一体地旋转。而且，在该滚珠丝杠144与电动机轴M1a之间，可以插设减速齿轮机构。
螺母145的中央部的内螺纹部螺合于滚珠丝杠144。螺母145的外周面安装于形成有键槽的圆筒状的键轴146内，通过该滚珠丝杠144的旋转，螺母145沿箭头a所示的轴向移动。
图3所示的键轴146安装于螺母145的外周部，并与螺母145一体地旋转，同时该键轴146沿箭头a所示的轴向移动。
支轴147紧固于键轴146的底面部，支轴147在与键轴146一起沿轴向移动的同时并旋转，支轴1 47的两端部由轴承1 48轴支承。
滚子本体141与轴承148一起沿箭头a所示的轴向移动，其卷绕保护片S，并且是在两端部具有突缘部的管筒形状。该滚子本体141，至少其滚子表面141a由合成树脂形成，以吸收微振动。
以上结构的导引滚子41c，通过电动机M1的旋转，而使由滚珠丝杠144、键轴146、支轴147以及轴承148构成的中介部件进行旋转运动和直进运动，由此来使滚子本体141沿轴向移动，从而能够调整保护片S的位置。具有能够这样沿轴向移动的滚子本体141的导引滚子41c，通过使滚子本体141的位置沿轴向移动，可使带T的宽度方向与保护片S的宽度方向正确地对齐。
而且，图3所示的导引滚子41c是通过电动机M1仅使支轴147直接旋转的结构，但其也可以是这样的结构通过别的电动机或者线性滑动机构等(未图示)使导引滚子41c整体沿轴向移动。
并且，上述的导引滚子31c和导引滚子33b也可以为与该导引滚子41c相同的结构。
《卷绕卷筒5》
卷绕卷筒5与供给卷筒2一起相对于曝光台14配置在水平方向上的一侧(曝光台14的左侧)，而且配置于供给卷筒2的下方。由此，能够缩短搬运装置A在水平方向上的长度尺寸，可使装置小型化。卷绕卷筒5通过由电动机等驱动未图示的驱动轴，而向顺时针方向旋转。由此，卷绕卷筒5交替地卷绕从带搬运系统3搬运的带T以及从保护片搬运系统4搬运的保护片S。
而且，卷绕于该卷绕卷筒5的带T与保护片S，由于分别由第二张力调整单元33和第三张力调整单元41将张力调整得很均匀，因此在卷绕卷筒5上的卷绕姿态接近正确的圆形。
即，通过这样使带T与保护片S经由供给卷筒2和卷绕卷筒5而构成闭环，就不需要现有技术的保护片专用的卷绕卷筒等。
在卷绕卷筒5的周围设有检测带T在宽度方向上的位置的第一传感器51a；和检测保护片S在宽度方向上的位置的第二传感器51b。卷绕于卷绕卷筒5上的带T与保护片S在宽度方向上有偏差是造成带T损伤的原因，并且在卷绕姿态的侧面容易产生高低差，从而使灰尘容易滞留。因此通过第一传感器51a和第二传感器51b来检测带T与保护片S在宽度方向上的位置。另外，通过使导引滚子41c沿滚子的轴向移动，来使带T的宽度方向与保护片S的宽度方向正确地对齐。
<曝光装置E和搬运装置A的动作>
接着，沿着带T和保护片S的搬运路径，对各装置的动作进行说明。首先，在搬运装置A上设置卷绕了带T和保护片S的供给卷筒2，并且设置空的卷绕卷筒5。然后，从供给卷筒2向带搬运系统3送出带T，并且向保护片搬运系统4送出保护片S。
从供给卷筒2送出的带T被搬运至右斜下方的第一张力调整单元31。带T在第一张力调整单元31中由导引滚子31b、31c将其搬运方向引导为向右。然后，带T在由第二充气容器31a调整其张力后搬运至曝光装置E。由此，在曝光装置E的上游侧能够防止由于自重等而引起的带T的张力不均衡。
在曝光装置E中，带T由台导引滚子32、32将搬运方向转换成铅直方向。在曝光装置E中，根据曝光光学系统的性能而存在可曝光的面积，因此带T每次以与该面积相当的块进行搬运，以便使其与曝光光学系统匹配。具体而言，通过个别地控制台导引滚子32、32等使它们旋转，来调整台导引滚子32、32保持带T的位置，从而使位置匹配。这里，由于带T既薄又宽，因此当搬运、停止每一曝光块时，其前进程度每次都会略微变化，因此产生无法使位置匹配的问题，这里通过用第一张力调整单元31来调整带T的张力，能够消除该问题。并且，当带T产生倾斜度(姿态)时，通过使导引滚子31c和导引滚子33b沿轴向移动，就能够进行调整。
然后，带T在曝光装置E的曝光台14上使其位置匹配了之后，被临时固定，并从投影光学系统13照射曝光光。由此结束带T的曝光工序。然后，经曝光处理后的带T被搬运至不影响下一次的带的曝光处理的位置上。
接着，带T由下侧的台导引滚子32与导引滚子33b引导，从而将搬运方向转换成左斜上方，然后被搬运至第二张力调整单元33。带T在第二张力调整单元33中由导引滚子33b、33c将其搬运方向引导成向左。然后，带T通过第三充气容器33a调整其张力，之后卷绕在卷绕卷筒5上。当带T卷绕到卷绕卷筒5上时，由第一传感器51a检测带T在宽度方向上的位置。
另一方面，从供给卷筒2送出的保护片S被搬运至左斜下方的第三张力调整单元41。保护片S在第三张力调整单元41中由导引滚子41b、41c将其搬运方向引导成向右。然后，保护片S通过第一充气容器41a调整其张力，之后其方向转换成向右斜下方，朝向卷绕卷筒5。在保护片S卷绕到卷绕卷筒5上时，由第二传感器51b检测保护片S在宽度方向上的位置。装置控制装置17将控制信号发送至导引滚子41c的电动机M1，以使保护片S的宽度方向与带T的宽度方向一致。通过导引滚子41c沿轴向的移动，保护片S也沿宽度方向移动。调整了宽度方向的位置的保护片S与带T一起被卷绕到卷绕卷筒5上，以使保护片S夹装在带T之间。
这样，带T与保护片S在均匀的张力下卷绕到卷绕卷筒5上。由此，可保持两者良好的卷绕平衡。
而且，由于在曝光处理中对带T的位置进行控制、或者是将保护片S夹装于带T之间，带T的张力会变得不均匀，但是在本实施方式中，由于用第二张力调整单元33调整带T的张力，因此能够稳定地进行带T的卷绕。由此，能够使卷绕姿态为圆形而不是椭圆形。并且，由于带T与保护片S是以在宽度方向上一致的方式被卷绕，因而卷绕姿态的侧面也是均匀的。
另外，当送出保护片S时，若在保护片S上施加较强的张力，会影响最重要的带T的送出量，从而无法稳定地卷绕曝光处理后的带T，但在本实施方式中，由于用第三张力调整单元41调整带T的张力，因而不会影响卷绕卷筒5的卷绕动作。
如上所述，本实施方式的搬运装置A可得到以下的效果。
在本实施方式的搬运装置A中，从供给卷筒2送出的带T与保护片S，在由各自的搬运系统(带搬运系统3、保护片搬运系统4)搬运后，以再次合在一起的状态卷绕到卷绕卷筒5上。由此，不需要现有技术中那样的附带设备。
在搬运装置A中，由于供给卷筒2和卷绕卷筒5相对于曝光台1 4配置于水平方向上的一侧，因此与将供给卷筒2和卷绕卷筒5沿水平方向设置的现有技术相比，能够缩小尺寸(水平方向上的长度)，能够使装置小型化。
在搬运装置A中，保护片搬运系统4从供给卷筒2起朝向与带搬运系统3拉出的方向不同的方向而且朝下方拉出，由此，即使灰尘附着于保护片S上，也能够防止该灰尘飞散至设于带搬运系统3的曝光台14的作业区域中。
带T在搬运至曝光装置E之前，由于通过第一张力调整单元31来调整张力，因此可进行高品质的曝光处理，从而能够稳定地制造出高品质的产品。并且，通过第二张力调整单元33与第三张力调整单元41而调整成张力均匀的带T与保护片S，卷绕在卷绕卷筒5上，因此在稳定的张力下能够使两者的卷绕保持良好的平衡。并且，能够使带T与保护片S以在宽度方向上完全一致的方式卷绕。
在搬运装置A中，由于分别设置了带搬运系统3和保护片搬运系统4，因此，即使保护片S在中途因事故而被切断等，也不会影响带T的搬运动作，因此可稳定地制造出高品质的产品。
以上，对本实施方式的搬运装置A进行了说明，但本发明不限于该实施方式，而能够以各种方式实施。
图4(a)至图4(c)为表示本实施方式的变形例的搬运装置和曝光装置的一部分的示意图。在实施方式中，在搬运装置A中构成为使供给卷筒2和卷绕卷筒5分别向顺时针方向旋转(参照图2)，但是各卷筒的旋转方向并无限定，也可以如图4(a)所示，在搬运装置A1中构成为使供给卷筒2A向顺时针方向旋转，而使卷绕卷筒5A向逆时针方向旋转。并且，也可以如图4(b)所示，在搬运装置A2中构成为使供给卷筒2B和卷绕卷筒5B都向逆时针方向旋转。此外，也可以如图4(c)所示，在搬运装置A3中构成为使供给卷筒2C向逆时针方向旋转，而使卷绕卷筒5C向顺时针方向旋转。
另外，在实施方式中，搬运带T的导引滚子31c和导引滚子33b、以及搬运保护片S的导引滚子41c能够沿滚子的轴向移动，但是也可以使其它所有滚子都能够沿轴向移动。
权利要求
1.一种搬运装置，其将带状的工件搬运至沿铅直方向设置的处理台，并且该搬运装置以上述处理台为界配置于一侧，其特征在于，所述搬运装置包括供给卷筒，其送出所卷绕的上述工件和与该工件对置地卷绕的保护片；卷绕卷筒，其设于上述供给卷筒的下方，卷绕从上述供给卷筒送出的上述工件；工件搬运单元，其将上述工件从上述供给卷筒经由上述处理台搬运至上述卷绕卷筒；以及保护片搬运单元，其以上述供给卷筒为基点向与上述处理台不同的方向迂回，将上述保护片从上述供给卷筒搬运至上述卷绕卷筒。
2.如权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，上述保护片搬运单元具有保护片张力调整单元，该保护片张力调整单元由以下部分构成引导从上述供给卷筒送出的上述保护片的第一滚子；将上述保护片导向上述卷绕卷筒的第二滚子；以及调整上述第一滚子与上述第二滚子之间的上述保护片的张力的第一充气容器。
3.如权利要求1或2所述的搬运装置，其特征在于，从上述供给卷筒经由上述处理台搬运至上述卷绕卷筒的上述工件、和从上述供给卷筒搬运至上述卷绕卷筒的上述保护片，经由上述供给卷筒和上述卷绕卷筒构成闭环。
4.如权利要求1或2所述的搬运装置，其特征在于，所述搬运装置还包括第一检测器，其检测从上述处理台向上述卷绕卷筒搬运的上述工件在宽度方向上的位置；以及第二检测器，其检测从上述供给卷筒向上述卷绕卷筒搬运的上述保护片在宽度方向上的位置，根据上述第一检测器与上述第二检测器的结果，使卷绕到上述卷绕卷筒的上述工件与保护片的宽度方向一致。
5.如权利要求3所述的搬运装置，其特征在于，所述搬运装置还包括第一检测器，其检测从上述处理台向上述卷绕卷筒搬运的上述工件在宽度方向上的位置；以及第二检测器，其检测从上述供给卷筒向上述卷绕卷筒搬运的上述保护片在宽度方向上的位置，根据上述第一检测器与上述第二检测器的结果，使卷绕到上述卷绕卷筒的上述工件与保护片的宽度方向一致。
6.如权利要求1或2所述的搬运装置，其特征在于，上述工件搬运单元包括第一张力调整单元，其设于上述供给卷筒与上述处理台之间，用于调整供给至上述处理部的上述工件的张力；以及第二张力调整单元，其设于上述处理部与上述卷绕卷筒之间，用于调整卷绕到上述卷绕卷筒的上述工件的张力，上述第一张力调整单元具有引导从上述供给卷筒送出的上述带的第三滚子；向上述处理台侧引导上述带的第四滚子；以及调整上述第三滚子与上述第四滚子之间的上述带的张力的第二充气容器，上述第二张力调整单元具有引导来自上述处理台侧的上述带的第五滚子；将上述带导向上述卷绕卷筒的第六滚子；以及调整上述第五滚子与上述第六滚子之间的上述带的张力的第三充气容器。
7.如权利要求3所述的搬运装置，其特征在于，上述工件搬运单元包括第一张力调整单元，其设于上述供给卷筒与上述处理台之间，用于调整供给至上述处理部的上述工件的张力；以及第二张力调整单元，其设于上述处理部与上述卷绕卷筒之间，用于调整卷绕到上述卷绕卷筒的上述工件的张力，上述第一张力调整单元具有引导从上述供给卷筒送出的上述带的第三滚子；向上述处理台侧引导上述带的第四滚子；以及调整上述第三滚子与上述第四滚子之间的上述带的张力的第二充气容器，上述第二张力调整单元具有引导来自上述处理台侧的上述带的第五滚子；将上述带导向上述卷绕卷筒的第六滚子；以及调整上述第五滚子与上述第六滚子之间的上述带的张力的第三充气容器。
8.如权利要求4所述的搬运装置，其特征在于，上述工件搬运单元包括第一张力调整单元，其设于上述供给卷筒与上述处理台之间，用于调整供给至上述处理部的上述工件的张力；以及第二张力调整单元，其设于上述处理部与上述卷绕卷筒之间，用于调整卷绕到上述卷绕卷筒的上述工件的张力，上述第一张力调整单元具有引导从上述供给卷筒送出的上述带的第三滚子；向上述处理台侧引导上述带的第四滚子；以及调整上述第三滚子与上述第四滚子之间的上述带的张力的第二充气容器，上述第二张力调整单元具有引导来自上述处理台侧的上述带的第五滚子；将上述带导向上述卷绕卷筒的第六滚子；以及调整上述第五滚子与上述第六滚子之间的上述带的张力的第三充气容器。
9.如权利要求5所述的搬运装置，其特征在于，上述工件搬运单元包括第一张力调整单元，其设于上述供给卷筒与上述处理台之间，用于调整供给至上述处理部的上述工件的张力；以及第二张力调整单元，其设于上述处理部与上述卷绕卷筒之间，用于调整卷绕到上述卷绕卷筒的上述工件的张力，上述第一张力调整单元具有引导从上述供给卷筒送出的上述带的第三滚子；向上述处理台侧引导上述带的第四滚子；以及调整上述第三滚子与上述第四滚子之间的上述带的张力的第二充气容器，上述第二张力调整单元具有引导来自上述处理台侧的上述带的第五滚子；将上述带导向上述卷绕卷筒的第六滚子；以及调整上述第五滚子与上述第六滚子之间的上述带的张力的第三充气容器。
全文摘要
本发明提供一种搬运装置，其使装置小型化，并防止了灰尘飞散到处理台的作业区域，能以良好的平衡来卷绕带与保护片。搬运装置(A)将带(T)搬运至沿铅直方向设置的曝光台(14)，并且该搬运装置(A)以曝光台(14)为界配置于一侧，所述搬运装置(A)包括供给卷筒(2)，其送出带(T)；卷绕卷筒(5)，其设于供给卷筒(2)的下方，卷绕带(T)；保护片搬运系统(4)，其经由曝光台(14)将带(T)从供给卷筒(2)搬运至卷绕卷筒(5)，在供给卷筒(2)上卷绕着与带(T)对置设置的保护片(S)，搬运装置(A)具有保护片搬运系统(4)，该保护片搬运系统(4)向与曝光台(14)不同的方向迂回，将保护片(S)从供给卷筒(2)搬运至卷绕卷筒(5)。
文档编号H05K3/00GK101093366SQ20071009106
公开日2007年12月26日 申请日期2007年4月6日 优先权日2006年6月20日
发明者佐藤仁 申请人:株式会社Orc制作所