基板检查用夹具及其中的连接电极部的电极结构的制作方法

专利名称：基板检查用夹具及其中的连接电极部的电极结构的制作方法
技术领域：
本发明涉及检查受检基板时使用的基板检査用夹具及基板检查用夹具中的连接电极 部的电极结构，特别是涉及可以降低基板检查用夹具的触杆与基板检查用夹具的电极部 的接触电阻的基板检査用夹具的电极结构以及具有该电极结构的检查夹具。
本发明不限于印刷电路布线基板，例如可以适用于软电缆基板、多层布线基板、液 晶显示器或等离子体显示器用的电极板、以及半导体组件用的插件基板、软片载体或半 导体晶片等各种基板上的电气布线的检査，本说明书中，把这种种布线基板统称为"基 板"。
背景技术：
以往，设置在电路基板上的布线图形必须正确地把电信号传递到装载于该电路基板 上的IC等半导体或电阻器等电气、电子零部件，所以要对安装电气、电子零部件之前的
印刷电路布线基板、液晶面板或等离子体显示器面板上形成了布线图形的电路布线基板 或者半导体晶片等的基板上形成的布线图形测定设置在成为检査对象的布线图形上的检
査点之间的电阻值，判定其是否良好。
在这种判定检查中，实施检査布线图形的断线和短路的检査方法。在这样的导通或 短路的检查中，将每个测定端子分别靠接在设置在成为检査对象的布线图形的两处的检 査点上，在其测定端子间流过规定大小的测定用电流，由此来测定其测定端子间的电压 值，比较该电压值与预定的阈值，从而进行良好与否的判定。
但是，用这种方法使用的基板检查用夹具，在测定用电流的供给和电压的测定时共 用靠接在布线图形的两处的各检査点上的每个测定端子的情况下，测定端子与检查点之 间的接触电阻就会影响测定电压，电阻值的测定精度就会下降，检测结果的可靠性降低。
特别是，近年来设置在电路基板上的布线图形的微细化程度提高，布线图形的电阻 值减小，上述的接触电阻对该测定值的影响就成了大的问题。
为了解决这种接触电阻的问题，提出了专利文献2展示的触杆的方案。该触杆具有 可略垂直地接触测定对象的电极的略直线状的接触部，由沿该接触部的长度方向延伸的 一部分与该接触部的其他部分具有不同热膨胀率的材料构成。按照这样的构成，由于构
成为双金属，所以在规定的环境温度下使接触部略垂直地接触测定对象的电极，如果在 该状态下进行过度激励，从该测定对象的电极传递的环境温度的热就使该接触部向由热膨胀率小的材料构成的部分弯曲。
但是，即便使用这样的触杆，也仅仅能够使其垂直接触电极部，而从所谓接触稳定 性的观点来考虑的话，还不能说有充分的接触稳定性和接触电阻值低的连接。
专利文献l:特開平6-66832号公报
专利文献2:特開2005-345129号公报

发明内容
鉴于上述的现实情况，本发明的目的在于提供一种基板检査用夹具的电极结构以及 具有这种电极结构的检查夹具，这种电极结构能够降低基板检查用夹具的触杆与基板检 查用夹具的电极部的接触电阻。
权利要求1记载的发明提供一种基板检查用夹具，为检査受检基板的电气特性而实 现基板检査装置主体与设置在该受检基板的布线图形上的多个基板受检点之间的电气导 通，其特征在于所述基板检查用夹具具有触杆群、支持所述触杆群的触杆支持体和连接 在所述基板检查装置主体上的连接电极体；该触杆群由导电性的棒状的触杆构成，该触 杆的两端具有实现电气导通的端部， 一方端部压接一个所述基板受检点；该连接电极体 具备连接电极部，该连接电极部面对所述触杆群的各个触杆的另一方端部；在连接所述 触杆群的所述另一方端部与所述连接电极体时，各个所述另一方端部的近旁的侧周面的 至少一部分接触与其相面对的所述连接电极部的一部分，由此而成为电气导通状态。
权利要求2的发明提供一种权利要求1记载的基板检查用夹具，其特征在于所述连 接电极部具有收容与其相面对的所述触杆的所述另一方端部的结构，且所述触杆与所述 连接电极部的导通状态取决于至少该触杆的另一方端部与该连接电极部的内部侧表面的 接触。
权利要求3的发明提供一种权利要求1或2记载的基板检査用夹具，其特征在于所 述连接电极部是能够使与其相面对的所述触杆的所述另一方端部的至少一部分动配合的 形状。 '
权利要求4的发明提供一种权利要求1或3任一项记载的基板检査用夹具，其特征 在于所述连接电极部被形成为筒状。
权利要求5的发明提供一种权利要求1或4任一项记载的基板检査用夹具，其特征 在于所述连接电极部相对所述触杆的长轴倾斜或弯曲而形成。
权利要求6的发明提供一种权利要求1或5任一项记载的基板检査用夹具，其特征 在于所述连接电极部具有沿所述触杆的出入方向和直角方向滑动的滑移部。权利要求7的发明提供一种权利要求1记载的基板检査用夹具，其特征在于所述触 杆的另 一方端部相对所述触杆的长轴弯曲而形成。
权利要求8的发明提供一种权利要求1记载的基板检査用夹具，其特征在于所述触 杆支持体具有第一支持部和第二支持部，该第一支持部具有支持所述触杆的一方端部的 近旁的第一支持孔，该第二支持部具有支持所述触杆的另一方端部的近旁的第二支持孔; 所述第二支持部被配置得与所述电极体相靠接。
权利要求9的发明提供一种权利要求1记载的基板检查用夹具，其特征在于所述触 杆支持体具有第一支持部和第二支持部，该第一支持部具有支持所述触杆的一方端部的 近旁的第一支持 L，该第二支持部具有支持所述触杆的另一方端部的近旁的第二支持孔; 所述第二支持部被配置得与所述电极体具有规定间隔。
权利要求10的发明提供一种权利要求1记载的基板检査用夹具，其特征在于所述触 杆支持体具备沿该触杆的长轴方向滑动的保护部，以便在使所述触杆的另一方接触所述 连接电极部而使用时，该触杆突出来。
权利要求11的发明提供一种权利要求1记载的基板检查用夹具，其特征在于所述另 一方端部的近旁的范围是在所述连接时所述另一方端部的侧周面至少接触所述连接电极 部的范围。
权利要求12记载的发明提供一种连接电极部的电极结构，具有触杆和连接电极体， 为了用来检査受检基板的电气特性而实现基板检查装置主体与设置在该受检基板的布线 图形上的多个基板受检点之间的电气导通，该触杆的一端被压接在所述基板受检点上使 其导通接触，该连接电极体与该触杆导通接触并被连接到该基板检査装置主体上，该连 接电极部与该触杆的另一端导通接触，其特征在于所述连接电极部在连接所述触杆的另 一方端部与该连接电极体时，所述触杆的另一方端部的近旁的侧周面的至少一部分接触 与其相面对的所述连接电极部的一部分。
按照权利要求l记载的发明，提供一种基板检查用夹具，由于在连接触杆群的另一 方端部与连接电极体时，触杆的另一方端部的近旁的侧周面的至少一部分接触与其相面 对的连接电极部的一部分而成为电气导通状态，所以能够降低触杆与连接电极部的接触 电阻值，同时具有稳定的接触电阻值，而与使用次数无关。
按照权利要求2记载的发明，提供一种基板检査用夹具，由于触杆与连接电极部的 导通状态取决于至少触杆的另一方端部与连接电极部的内部侧表面的接触，所以触杆与 连接电极部的接触面积可以做大，更加能够降低接触电阻值，同时具有稳定的接触电阻 值，而与使用次数无关。按照权利要求3记载的发明，提供一种基板检查用夹具，由于连接电极部是能够使 触杆动配合的形状，所以能够防止触杆出入连接电极部时承担过大的负荷。
按照权利要求4记载的发明，提供一种基板检査用夹具，由于连接电极部形成为筒 状，所以能够均匀地做成触杆接触的接触面，不管与哪个筒部接触，接触电阻值都是稳 定的。
按照权利要求5记载的发明，提供一种基板检查用夹具，由于连接电极部相对所述 触杆的长轴倾斜或弯曲而形成，所以触杆出入连接电极部时，触杆擦着连接电极部的内 部侧表面与其相接触，能够降低触杆与连接电极部的接触电阻值，同时具有稳定的接触 电阻值，而与使用次数无关。
按照权利要求6记载的发明，提供一种基板检査用夹具，由于连接电极部具有沿触 杆的出入方向和直角方向滑动的滑移部，所以在将触杆收容到连接电极部内时，能够确 实地使触杆与连接电极部接触，能够降低触杆与连接电极部的接触电阻值，同时具有稳 定的接触电阻值，而与使用次数无关。
按照权利要求7记载的发明，提供一种基板检査用夹具，由于触杆的另一方相对触 杆的长轴弯曲而形成，所以触杆出入连接电极部时，触杆擦着连接电极部的内部侧表面 而与其相接触，能够降低触杆与连接电极部的接触电阻值，同时具有稳定的接触电阻值， 而与使用次数无关。
按照权利要求8记载的发明，提供一种基板检査用夹具，由于触杆支持体由两个部 件构成， 一方支持部与连接电极体靠接，所以能够确实地将触杆导入连接电极部。
按照权利要求9记载的发明，提供一种基板检査用夹具，由于触杆支持体由两个部 件构成， 一方支持部与连接电极体具有预定间隔，所以触杆在由该预定间隔形成的空间 内能够弯曲，在使触杆出入连接电极部时，触杆擦着连接电极部的内部侧表面而与其相 接触，能够降低触杆与连接电极部的接触电阻值，同时具有稳定的接触电阻值，而与使 用次数无关。
按照权利要求10记载的发明，提供一种基板检査用夹具，由于触杆支持体具有保护 触杆的保护部，所以使用或未使用触杆时能够有效地保护触杆，能够延长触杆的使用寿 命。
按照权利要求ll记载的发明，提供一种基板检査用夹具，由于另一方端部的近旁的 范围是在所述连接时所述另一方端部的侧周面至少接触所述连接电极部的范围，所以可 以把触杆与连接电极部的接触面积做大，能够降低触杆与连接电极部的接触电阻值，同 时具有稳定的接触电阻值，而与使用次数无关。按照权利要求12记载的发明，提供一种基板检査用夹具的连接电极部，由于在连接
触杆的另一方端部与连接电极体时，触杆的另一方端部的近旁的侧周面的至少一部分接 触与其相面对的连接电极部的一部分，所以能够降低触杆与连接电极部的接触电阻值，
同时具有稳定的接触电阻值，而与使用次数无关。


图1表示使用本发明的基板检查用夹具时的概略构成。
图2表示本发明的基板检査用夹具的概略构成，表示的是触杆、触杆支持体和连接 电极体的位置结构。
图3表示触杆的一种实施方式，(a)表示的是棒状构件，(b)表示的是棒状构件和 筒状构件，(c)表示的是棒状构件、筒状构件和绝缘部。
图4表示该保护部的动作，图4(a)表示的是基板检查用夹具未使用时的状态，图 4 (b)表示的是基板检查用夹具使用时的状态。
图5 (a) (d)分别表示连接电极部的实施方式。
图6表示触杆的其他实施方式。
图7表示正在使用本发明的基板检查用夹具的状态。
图8表示连接电极体具有的滑移部的实施方式。
图9表示本发明的触杆和触杆支持体的其他实施方式。
图10表示本发明的触杆和触杆支持体的另外的其他实施方式。
图11表示本发明中所实施的基板检査用夹具的实施方式。
图12表示测定本发明的基板检査用夹具与具有原来的电极结构的基板检查夹具的包 含接触电阻的触杆的电阻的结果。 符号的说明 1……基板检查用夹具 1'……基板检査用夹具(其他实施方式) 2……触杆 2A……收容部 3……触杆支持体 31……第一支持部 32……第二支持部 4……连接电极体41……连接电极部
具体实施例方式
以下，说明实施本发明的最佳方式。
图1表示使用本发明的基板检査用夹具时的概略构成。该图1中，表示多个触杆101、 将这些触杆101固定为多针状的支持体102、具有支承该支持体102同时接触触杆101 而实现导通的连接电极部的连接电极体103、处理检测到的电信号的检查信号处理部104 以及连接检査用触杆101和检查信号处理部104的电线105。触杆101是接触形成在受检 基板上的布线图形的各检查点的端子，连接电极体103进行触杆101与检查信号处理部 104的节距变换，并将它们电气连接起来。
连接电极体103在支持体102的配置侧具有电气连接到触杆101的连接电极部106。 本发明致力改进该连接电极部106，从而能够降低与触杆101的连接电阻值同时提供具有 稳定性的连接电阻值。
本发明的实施方式的基板检査用夹具1具有触杆2、触杆支持体3和连接电极体4(参 照图2)。连接电极体4被连接在上述的检査信号处理部104上，但在该图2上省略了。
触杆2具有可弯性和导电性，被形成为针状或长条等的棒状。该触杆2的一方压接 在受检基板的检査点上，而另一方与后述的连接电极部接触。因此，触杆2把来自检査 信号处理部104的电信号发送到检查点上同时能够把来自检査点的电信号发送到检査信 号处理部104。
该触杆2由于具有可弯性，所以在后述的触杆支持体3的内部形成的空间中，该触 杆2就能够相对于触杆2的长轴方向在直角方向上弯曲(皱縮)。因此，在使用该触杆2 的情况下，承受来自受检基板的检査点或连接电极部的荷重而弯曲，这种弯曲就会对各 接触部产生顶压力。
只要触杆2形成为上述的形状，就不特别限定，但是也可以像图3所示实施方式那 样来形成。
如图3 (a)所示，该图3所示的触杆2被形成为两个前端呈尖细形状的细长的棒状 构件21。尖细形状既可以呈图3 (a)所示的尖锐形状，也可以呈球状。
该棒状构件21例如可以是不锈钢、铍青铜(BeCu)或鸨(W)，但是并不特别限定， 只要是导电物质就可以。
为了使该棒状构件21接触后述的连接电极部的接触面积均匀地承受负荷，最好将该 构件形成为圆筒或圆柱状，但是对此并不特别限定。不特别限定棒状构件21的长度或粗细，要进行适当地设定，使其适合形成在受检基 板上的布线图形的节距或受检基板的大小。
图3 (b)上，表示了把棒状构件21收容在筒状构件22内的状态。该筒状构件22 具有可弯性和导电性，棒状构件21被插入到该筒状构件22中，图3 (b)上，比较筒状 构件22的一端22a与另一端22b时，从一端22a突出的棒状构件21的长度被设定得比 从另一端22b突出的棒状构件21的长度长。
上述的情况下， 一端22a与连接电极部接触，另一端22b与受检基板的检査点接触。 使这样配置的长度变化就能够增大棒状构件21接触连接电极部的接触面积，而且由于棒 状构件21从另一端22b突出的长度被设定得更短，所以在触杆接触凸瘤之类的检查点时， 筒状构件22能够起到防止棒状构件21过分穿入检査点的挡块作用，同时能够稳定地接 触球状的凸瘤之类的检査点。另外，能够实现棒状构件21和筒状构件22对检查点的接 触，而不取决于棒状构件21的前端形状的加工性。
如上所述，该另一端22b侧的棒状构件21的突出量可以设定得比一端22a短，同时 也可以如上述说明的那样设定为穿入检査点的量(长度)。
该筒状构件22可以将棒状构件21收容在内部，而且只要是能够成为与棒状构件21 导通状态的大小，就不特别限定。
筒状构件22与棒状构件21相互电气连接，因此，在将棒状构件21插入到筒状构件 22内的状态下(图3 (b)所示的状态)，通过实施整体电镀金或非电镀金来形成。
作为其他方法，可以在筒状构件22的内部设置多个突状部(未图示)，从而使筒状 构件22具有挤压棒状构件21的固定结构，由此，筒状构件22就能够接触棒状构件21而 实现电气导通。
图3 (c)的棒状构件21与筒状构件22被一体化，并在筒状构件22的表周面上设置 有绝缘部23。如图3 (c)所示，形成该绝缘部23的地方被形成在触杆2的一端和另一 端以外的地方。由该绝缘部23和筒状构件22形成的台阶24就被用作在将触杆2配置在 后述的触杆支持体3上时的靠止部。
在触杆2弯曲时，即使该绝缘部23与邻接的触杆2接触，也可以防止短路。
该绝缘部23可以使用聚氨酯，但是并不作特别限定。
在上述说明中，说明了使用棒状构件21、筒状构件22和绝缘部23构成触杆2的情 况，但是也可以用由棒状构件21和绝缘部23构成的触杆，不把触杆的结构限定于这些 构成。
在本说明书中，把被收容在连接电极部41内的触杆2的一部分记为符号2A进行了说明，触杆2的该收容部2A为不形成绝缘部23的触杆2的一端，例如，是从触杆2的 前端到台阶24的触杆2的部分(长度L的部分)。该部分L不必完全被收容在连接电极 部内，但是最好收容尽可能多的部分。
按照收容在连接电极部内的长度适宜地设定该部分的长度L，但是为了达到充分稳定 的接触状态(导通状态)，该部分的长度L最好为约2 5mm。
触杆2的该部分相当于触杆另一方端部，该部分的侧周面的至少一部分要与连接电 极部41相接触。
触杆支持体3支持由多个触杆2构成的触杆群，如图2所示，为了支持住多个触杆2， 该触杆支持体3具有第一支持部31和第二支持部32。
图2所示的触杆支持体3把第一支持部31配置在纸面的纵深侧，而将第二支持部32 配置在纸面的面前侧，第一支持部31把触杆2的前端导向检查点，第二支持部32把触 杆2的另一端导向连接电极部。
第一支持部31具有用来把预定的触杆2导向预定的检査点的第一支持孔33，该第一 支持孔33的直径大于触杆2的棒状构件21或筒状构件22的外径，而小于绝缘部23的 直径。由于这样形成第一支持孔33，所以能够防止触杆2从第一支持部31的第一支持孔 33中脱出来。
第二支持部32具有用来把预定的触杆2导向预定的连接电极部的第二支持孔34，该 第二支持孔34的直径大于触杆2的棒状构件21或筒状构件22的外径，而小于绝缘部23 的直径。由于这样形成第二支持孔34，所以能够防止触杆2从第二支持部32的第二支持 孔34中脱出来。
由于这样形成第一支持孔33和第二支持孔34，所以能够防止触杆2脱离该触杆支持体3。
第一支持部31和第二支持部32经支柱35被配置得有预定间隔。因此，在第一支持 部31和第二支持部32之间由支柱35形成空间，触杆2能够在该空间内弯曲。 该支柱35形成的空间的长度由使用者进行适宜地设定。
图2中，用两片板件来形成第一支持部31，将这些板件做成用来形成第一支持孔33 的板件和形成用来固定在支柱35上的螺孔的板件。这些板件的数量不做特别限定，只要 至少具有上述的功能， 一片或者两片以上都可以。
图2中，用三片板件来形成第二支持部32，将这些板件做成用来形成第二支持孔34 的板件和形成用来固定在支柱35上的螺孔的板件。这些板件的数量不做特别限定，只要 至少具有上述的功能， 一片或者两片以上都可以。第二支持部32最好由多片板件形成，同时这些板件最好对于触杆2在直角方向(图 2中的左右方向)上分别错开预定长度。
这样，缓缓地错开配置多片板件就倾斜地形成第二支持孔34。因此，在把触杆2支 持在触杆支持体3上时，触杆2就轻轻地弯曲，就会产生与板件的接触阻力，就能稳定 地支持住触杆2。
为了在使触杆2接触连接电极部而使用时触杆2突出来，在靠近触杆2的连接电极 部一侧处，第二支持部32设置有沿触杆2的长轴方向滑动的保护部36。
如图2所示，该保护部36被配置在第二支持部32靠近连接电极部的一侧，同时为 了能够沿触杆2的长轴方向滑动而设置有弹簧机构37。
该保护部36由规定厚度的板件形成，在基板检査夹具未使用时，保护触杆2的前端 部(与连接电极部接触的部分)。
例如，图4中，就表示有该保护部的动作，图4 (a)所表示的是基板检査用夹具未 使用时的状态，图4 (b)所表示的是基板检查用夹具使用时的状态。
用图4 (a)表示基板检査用夹具的触杆2与触杆支持体3未连接在连接电极体4上 的状态，在该状态下，保护部36保护着触杆2向连接电极部接触的端部。在图面上，虽 然示出了触杆2的前端部稍稍突出来的状态，但是也可以被收容在保护部36的内部。
图4 (b)所表示的是基板检查用夹具的触杆2与触杆支持体3连接在连接电极体4 上的状态，该图4 (b)上省略了连接电极体4。在该状态下，保护部36滑动，触杆2突 出来，该突出来的触杆2就与连接电极部接触。
这种情况下，保护部36靠在第二支持部32的下端上，同时弹簧机构37的弹簧产生 弹力。保护部36有返回到图4 (a)所示的位置的趋势，但是，在图4 (b)的状态下， 连接电极体4与保护部36、保护部36与第二支持部32分别靠接的状态。
图2中，设置有两个进行触杆支持体3与后述的连接电极体4对位的突状部38。
连接电极体4支承触杆支持体3，同时，具备将触杆2的一部分收容在内部的连接电 极部41。
该连接电极部41形成为从连接电极体4的表面向连接电极体4的内部延伸的孔状， 以便将触杆2收容在内部。由于连接电极部41这样形成为延伸至连接电极体4的内部的 孔状，所以能够确实地把触杆2的一部分收容在连接电极部41的内部。这种情况下，触 杆2的一部分在连接电极部41的内部侧表面上形成电极部，所以触杆2的一部分能够与 内部侧表面接触。
连接电极部41被连接在导线42上，该导线42与上述的检查信号处理部相连接。连接电极部41最好做成能够使触杆2动配合的形状，由于连接电极部41能够使触 杆2动配合，所以在将触杆2收容在连接电极部41内部或者从连接电极部41中取出来 的情况下，能够降低触杆2与连接电极部41的摩擦阻力，能够简单地拔取出来。
连接电极部41把触杆2的一部分收容在其内部，将连接电极部41的内部侧表面作 为电极部。因此，可以把连接电极部41形成为导电性的筒状。这种情况下，筒状的连接 电极部41把触杆2收容在内部，同时其筒状的内部侧表面起电极部的作用。
另外，该连接电极部41配置筒(管)，并与连接电极体4的表面齐成一个面。这样 进行配置，连接电极部41就与连接电极体4的表面平齐，在第二支持部32或保护部36 与连接电极体4靠接的情况下，就能够配置得对连接电极体4的表面呈直角，在触杆2 在使用中被压接而弯曲时，对哪一个触杆2都能够负荷均匀的荷重。
由于对应于使用时或未使用时触杆2入出连接电极部41内，所以为了确实地使触杆 2与连接电极部41接触，触杆2的长度方向和连接电极部41的长度方向最好交叉(相对 交叉)配置或形成。
作为该具体的例子，例如相对于触杆2的长轴倾斜或弯曲形成连接电极部41。 由于这样形成连接电极部41，在将触杆2收容在连接电极部41内部时，就能够擦着 连接电极部41内侧表面将其收容在内，能够确实地确立触杆2与连接电极部41的接触 状态。特别是，由于这样进行构成，就能够将内侧表面的电极部或触杆2的表面上形成 的氧化膜破坏掉。
图5表示连接电极部的一个实施方式。图5 (a)所示的连接电极部41沿平行于连接 电极体4的厚度方向来形成。即便在这种情况下，在如上述那样倾斜配置触杆2时，触 杆2也可以擦着连接电极部41内部侧表面与其接触。
图5 (b)表示相对于连接电极体4的表面倾斜一定角度形成连接电极部41的情况。 这种情况下，即使沿相对连接电极体4的表面大致直角方向来收容触杆2，也可以擦着连 接电极部41内部侧表面与其接触。
图5 (c)表示将连接电极部41形成为反 < 字形的情况。这种情况下，触杆2与图5 (b) —样擦着连接电极部41内部侧表面与其接触并收容在连接电极部41内部，同时由 于连接电极部41在〈字形的顶点部形成反方向倾斜，所以触杆2也能在该顶点部可靠地 与内部侧表面接触。
图5 (d)表示弯曲形成连接电极部41的情况。这种情况下，在收容触杆2时，触杆 2沿连接电极部41的内部侧表面弯曲，同时可以擦着连接电极部41内部侧表面与其接触。 另外，这种情况下，由于对触杆2的荷重比图5 (c)低，所以能够容易地插拔触杆2。连接电极部41的形状并不限定于图5所示的这些形状，可以设定得使连接电极部41 的收容方向与触杆2的入出方向交叉。由于这样形成连接电极部41，能够确实地使触杆 2接触连接电极部41的内侧表面，同时由于在收容时擦着内部侧表面将其收容在内，所 以接触电阻值低，同时能够实现触杆2与连接电极部41之间接触电阻值稳定性高的连接。
作为其他的具体例，如图6所示，相对于触杆2的长轴弯曲形成被收容在连接电极 部41内部的触杆2的前端2A。
由于这样弯曲形成触杆2的前端2A，在把触杆2的前端2A收容在连接电极部41内 时，就能够擦着连接电极部41内侧表面与其接触。
图6所示的该触杆2弯曲得其前端2A距触杆2的中心轴偏离宽度W。该宽度W最好 与连接电极部41的内径略同，这是因为该宽度W略同于连接电极部41的内径就能够确 实地接触内侧表面，同时可以减小弯曲量(宽)。
图7表示正在使用本发明的基板检査用夹具的状态。
该图7 (a)中，将多个触杆2的收容部2A收容在连接电极部41内部。虽然在图7
(a) 中未示出，但是在触杆2的收容部2A是弯曲的形状并且倾斜配置触杆2的情况下， 触杆2收容在连接电极部41内时，是擦着内部侧表面接触而将其收容在内。为方便起见， 图7中将触杆2置于连接电极部41的大致中央处。
在将触杆2收容到连接电极部41内时，最好使触杆支持体3或连接电极体4相对移 动，由此将触杆2的收容部2A确实地压接在连接电极部41的内部侧表面上。
图7 (b)上所表示的是使触杆支持体3和连接电极体4沿相对触杆2的长轴呈直角 方向移动，由此确实地使触杆2的收容部2A接触在连接电极部41的内部侧表面上。例 如，如图7 (b)所示，使连接电极体4向纸面左方向(图7 (b)的涂黑箭头方向)移动， 从而使触杆2的收容部2A确实地压接在连接电极部41的内部侧表面上。或者，使触杆 支持体3向纸面右方向(图7 (b)的镂空箭头方向)移动，从而使触杆2的收容部2A 确实地压接在连接电极部41的内部侧表面上。这样，设置使触杆支持体3和/或连接电 极体4沿与触杆2的入出方向呈直角的方向移动的滑移部，由此就能够使触杆2的收容 部2A更稳定地接触连接电极部41的内部侧表面。
图8表示连接电极体具有的滑移部的实施方式。该图8所示的滑移部具有构成连接 电极体4的三片第一板件43、第二板件44和第三板件45。连接电极部41贯通这三片板 件，第一板件43和第三板件45是固定板件，第二板件44构成移动机构。因此，如图8
(b) 所示，第二板件44移动，就从侧面顶压连接电极部41，连接电极部41就成为弯曲 形状而从侧面顶压接触触杆2的收容部2A。在该图8所示的连接电极体4中，使用三片板件，但是并不限于三片，也可以用更 多的板件来形成滑移部。
下面，说明触杆2和触杆支持体3的其他实施方式。
图9表示触杆2和触杆支持体3的其他实施方式。在该实施方式中，所使用的触杆2 的收容部2A相对于触杆2的长轴弯曲(参照图6)。该触杆2的收容部2A是弯曲的，但 是在未使用时保护部36 (的通孔)就支持住触杆2的收容部2A，而将触杆2保持为直线 形状。在使用该实施方式的基板检查用夹具的情况下，向上顶保护部36，触杆2就从保 护部36突出来，此时由于触杆2的收容部2A是弯曲形成的，所以收容部2A就向预定方 向弯曲。
在把该基板检査用夹具安装在连接电极体4上的情况下，把保护部36与连接电极体 4的连接电极部41对齐位置，在巳经与连接电极体4接触的状态下，由于向上顶保护部 36，触杆2就被收容到连接电极部41内，同时触杆2的收容部2A擦着连接电极部41的 内侧表面与其相接触。
以下说明另外的其他实施方式。
图10表示触杆2和触杆支持体3的另外的其他实施方式。在该实施方式中，第二支 持部32或保护部36与连接电极体4之间形成空间S。
图10中，在触杆支持体3与连接电极体4之间形成空间S，触杆2的收容部2A被收 容到连接电极部41内时，就在该空间S内弯曲。这样，由于收容部2A能够在该空间S 内弯曲，就向被收容在连接电极部41内且与连接电极部41的内侧表面接触的地方的收 容部2A施以对应于其弯曲量的挤压。因此，收容部2A就稳定地接触在连接电极部41的 内侧表面上。
另外，在该实施方式中，使连接电极体4滑移(沿箭头方向移动)，从而使触杆2稳 定地接触连接电极部41。
以下说明本发明的基板检査用夹具的构成。
下面说明本发明的基板检査用夹具的实施方式。
图11表示本发明中实施的基板检查用夹具的实施方式。
该实施方式所表示的触杆2以钨为原材料，形成长30mm、直径90 u m的棒状构件21; 收容部2A的长度为2mm，形成绝缘部23。
连接电极部41是内径95 P m、外径125 n m的导电性的管，该管的内侧表面进行镀金 处理。
该图ll所示的实施方式中，连接电极体4由第一板件43、第二板件44、第三板件45和第四板件46构成，同时具有使第二板件44沿横方向移动的滑移部47。该第一板件 43和第三板件45是固定板件，第四板件46用作基板检査用夹具1'的基座。 连接电极部41贯通第一至第三板件。
滑移部47可以使第二板件44左右移动，该滑移部47具有左右一对螺钉机构，调整 左右螺钉机构就能够调整第二板件44的位置。 '
该图ll (a)中，在第二支持部32和保护部36之间形成有空间，该图是基板检査用 夹具l'未使用时的状态。
图ll (b)表示的是正在使用基板检査用夹具l'的状态。这时，第二支持部32和 保护部36靠接，同时触杆2的收容部2A被收容在连接电极部41内。然后，该触杆2的 收容部2A擦着连接电极部41的内侧表面而与其接触，从而能够确立导通状态。
在该基板检查用夹具1'中，左右具有滑移部47，触杆2的收容部2A被收容在连接 电极部41内之后，调整螺钉而使连接电极体4的第二板件44移动。此时，配合第二板 件44的移动，连接电极部41的第二板件44部分成为弯曲状态而将触杆2压接在连接电 极部41的内侧表面上。
该实施方式中，触杆2也倾斜而被触杆支持部3支持住，另外，由于连接电极体4 具有滑移部47，所以触杆2能够擦着连接电极部41的内侧表面被收容在其内，同时能够 与其稳定接触而确立导通状态。
图12表示本发明的基板检査用夹具与具有原来的电极结构的基板检査夹具的包含接 触电阻的触杆电阻的测定结果。该实验中，要安置基板检查用夹具成为使用时状态，把 一面实施了镀金的板作为受检基板，载置在触杆2的受检基板侧(收容部2A的相反一侧)， 并且压住该受检基板。此时，测定连接电极部41的导线42与受检基板之间的电阻值。 因此，该电阻值包含连接电极部41与触杆2的接触电阻和触杆2本身的电阻、触杆2与 受检基板的接触电阻。
图12中所示的"次数"代表压住基板的击压次数。
由图12可知，本发明的基板检查用夹具的这个电阻值处于420 570mQ的范围(变 化幅度O. 15Q)，相对于此，具有原来的连接电机的基板检査用夹具的这个电阻值处于 1.5 5.5Q的范围(变化幅度4Q)。本发明与原来的夹具相比，接触电阻值极低，同时 随着击压次数的增加，接触电阻值的波动也极小。
因此，使用本发明的夹具能够减小接触电阻值，同时，即使在将接触电阻值作为修正值 进行处理的情况下，也不会随着击压次数的增加而产生波动，所以，不必进行修正值的 修正，就能够极其稳定地使用。
权利要求
1. 一种基板检查用夹具，为检查受检基板的电气特性而实现基板检查装置主体与设置在该受检基板的布线图形上的多个基板受检点之间的电气导通，其中，所述基板检查用夹具具有触杆群、支持所述触杆群的触杆支持体和连接在所述基板检查装置主体上的连接电极体；该触杆群由导电性的棒状的触杆构成，该触杆的两端具有实现电气导通的端部，一方端部压接至一个所述基板受检点；该连接电极体具备连接电极部，该连接电极部面对所述触杆群的各个触杆的另一方端部；在连接所述触杆群的所述另一方端部与所述连接电极体时，各个所述另一方端部的近旁的侧周面的至少一部分接触与其相面对的所述连接电极部的一部分，由此而成为电气导通状态。
2. 根据权利要求1所述的基板检査用夹具，其特征在于所述连接电极部具有收容与 其相面对的所述触杆的所述另一方端部的结构，且所述触杆与所述连接电极部的导通状 态通过至少该触杆的另一方端部与该连接电极部的内部侧表面的接触来实现。
3. 根据权利要求1或2所述的基板检查用夹具，其特征在于所述连接电极部是能够 与与其相面对的所述触杆的所述另一方端部的至少一部分动配合的形状。
4. 根据权利要求1或3任一项所述的基板检査用夹具，其特征在于所述连接电极部 被形成为筒状。
5. 根据权利要求1或4任一项所述的基板检査用夹具，其特征在于所述连接电极部 相对所述触杆的长轴倾斜或弯曲而形成。
6. 根据权利要求1或5任一项所述的基板检査用夹具，其特征在于所述连接电极部 具有沿与所述触杆的出入方向成直角方向滑动的滑移部。
7. 根据权利要求1所述的基板检查用夹具，其特征在于所述触杆的另一方端部相对 所述触杆的长轴弯曲而形成。
8. 根据权利要求1所述的基板检查用夹具，其特征在于所述触杆支持体具有第一支 持部和第二支持部，该第一支持部具有支持所述触杆的一方端部的近旁的第一支持孔， 该第二支持部具有支持所述触杆的另一方端部的近旁的第二支持孔；所述第二支持部被 配置得与所述电极体相靠接。
9. 根据权利要求1所述的基板检査用夹具，其特征在于所述触杆支持体具有第一支 持部和第二支持部，该第一支持部具有支持所述触杆的一方端部的近旁的第一支持孔，该第二支持部具有支持所述触杆的另一方端部的近旁的第二支持孔；所述第二支持部被 配置得与所述电极体具有规定间隔。
10. 根据权利要求1所述的基板检查用夹具，其特征在于所述触杆支持体具备沿该 触杆的长轴方向移动的保护部，以便在使所述触杆的另一方接触所述连接电极部而使用 时，该触杆突出来。
11. 根据权利要求l所述的基板检査用夹具，其特征在于所述另一方端部的近旁的 范围，是在所述连接时所述另一方端部的侧周面至少能接触所述连接电极部的范围。
12. —种连接电极部的电极结构，具有触杆和连接电极体，为了实现基板检查装置 主体与设置在该受检基板的布线图形上的多个基板受检点之间的电气导通而检査受检基板的电气特性，该触杆的一端被压接在所述基板受检点上使其导通接触，该连接电极体 与该触杆导通接触并被连接到该基板检查装置主体上，该连接电极部与该触杆的另一端 导通接触，其特征在于所述连接电极部在连接所述触杆的另一方端部与该连接电极体时， 所述触杆的另一方端部的近旁的侧周面的至少一部分接触与其相面对的所述连接电极部 的一部分。
全文摘要
提供一种基板检查用夹具，能够降低触杆与连接电极部的接触电阻值，同时具有稳定的接触电阻值而与使用次数无关。为检查受检基板的电气特性而实现基板检查装置主体与设置在受检基板的布线图形上的多个基板受检点之间的电气导通，该基板检查用夹具具有触杆群、支持触杆群的触杆支持体和连接在基板检查装置主体上的连接电极体；该触杆群由导电性的棒状的触杆构成，该触杆的两端具有实现电气导通的端部，一方端部压接一个基板受检点，该连接电极体具备连接电极部，该连接电极部面对触杆群的各个触杆的另一方端部设置；在连接触杆群的另一方端部与连接电极体时，各个另一方端部的近旁的侧周面的至少一部分接触与其相面对的连接电极部的一部分而成为电气导通状态。
文档编号H05K3/00GK101443669SQ200780017490
公开日2009年5月27日 申请日期2007年5月10日 优先权日2006年5月15日
发明者加藤穰, 山本正美, 沼田清 申请人:日本电产理德株式会社