一种可连续化生产的加热反应炉的制作方法

文档序号:8119689阅读:339来源:国知局
专利名称:一种可连续化生产的加热反应炉的制作方法
技术领域
本发明涉及一种反应炉,尤其是一种可连续化生产的加热反应炉。
技术背景目前,普通反应炉难以实现连续生产,且功能单一,效率不高,或结构复 杂,生产成本高。如韩国大田広域市汉沃克有限公司的朴根燮、南承宰、李喆鲁、白秉峻发明并于2002年5月17日申请专利的"化合物半导体制造用的水 平反应炉"(申请号02119870,公开号1386898,
公开日2002年12月25 日),它是一种可以形成大面积均匀薄膜的化合物半导体制造用水平反应炉,在 化合物半导体制造用水平反应炉中,含有密闭的容器形状的反应炉外壳和具有 几个容纳基板的基板容纳部分的上面,所述上面包括位于上述反应炉外壳内部的接受器、接受器加热装置、从该接受器的中央下部供给v族气体的v族气 体供应装置、向着上述接受器上面的中央,从上部供给m族原料及输送气体的 m族原料及输送气体供应装置以及把反应炉内的反应气排出反应炉外部的反应 气排出装置,它结构复杂,生产成本高,且功能单一,效率不高。 发明内容本发明的目的是提供一种既可实现连续反应、也可用作真空蒸馏炉、且效 率较高的可连续化生产的加热反应炉。本发明解决其技术问题所采用的技术方案是送料系统11与安装了加热器7的反应腔8相联接,反应腔8的另一端与产品收集系统相联接,控制系统分别 与送料系统11、反应腔8和产品收集系统相联接;所述送料系统11包括螺旋送 料器10、中间仓12和密封料斗仓13组成,密封料斗仓13的下部与中间仓12 的上部密封联接,中间仓12的下部与螺旋送料器10的内腔相联接;螺旋送料 器10的内腔与反应腔8相联接。也可在所述送料系统的螺旋送料器10、中间仓 12、或反应腔8上设置有介质输入口。所述产品收集系统由过渡仓4、产品收集仓5和存储仓15构成,过渡仓4的一端与反应腔8相联接,产品收集仓5的上 部与过渡仓4的下部相配合联接,产品收集仓5的下部与存储仓15相配合联接, 也可在存储仓15上设置介质气入口 6。也可在过渡仓4的上部设置有冷凝收集 器2。并可在过渡仓4与冷凝收集器2之间设置有安全泄压阀3。本发明所述的反应腔8由金属外套、旋转腔体及其旋转支撑架构成,旋转 腔体和旋转支撑架安装在金属外套内;反应腔8的金属外套内安装有加热器7。 所述加热器7可采用电阻丝、中频感应器、微波、等离子弧、或激光装置、或 其任意组合形式制成。所述反应腔8的旋转腔体可采用莫来石、石英材料、石 墨材料、或聚四氟乙烯材料、或其任意组合的材料制成,旋转腔体的两端分别 与螺旋送料器10和过渡仓4之间采用动态密封配合。所述反应腔(8)与产品收 集系统联接端的高度小于与送料系统(ll)联接端的高度,也可在反应腔8上设 置散热系统。也可在与过渡仓4相联接的冷凝收集器2连接管道上设置有真空 泵l。本发明的有益效果是本发明既可作为一种连续化生产的加热真空反应炉, 也可以用作真空蒸馏炉,且生产效率较高。它可应用于合金的冶炼。


图l是本发明的结构示意图。图中l-真空泵,2-冷凝收集器,3-安全泄压阀,4-过渡仓,5-产品收集 仓,6-介质气入口, 7-加热器,8-反应腔,9-密封装置,10-螺旋送料器,11-送料系统,12-中间仓,13-密封料斗仓,14-物料仓,15-存储仓。
具体实施方式
本发明的送料系统11与安装了加热器7的反应腔8相联接,反应腔8的另 一端与产品收集系统相联接,控制系统分别与送料系统11、反应腔8和产品收 集系统相联接;所述送料系统11包括螺旋送料器10、中间仓12和密封料斗仓 13组成,所述密封料斗仓13可采用两个密封料斗仓并联,也可在密封料斗仓 13的上部安装物料仓14;密封料斗仓13的下部与中间仓12的上部密封联接,中间仓12的下部与螺旋送料器10的内腔相联接;螺旋送料器10的内腔与反应腔8相联接。也可在所述送料系统的螺旋送料器10、中间仓12、或反应腔8上 设置有介质输入口,以便于加入介质料。所述产品收集系统由过渡仓4、产品收 集仓5和存储仓15构成,过渡仓4的一端与反应腔8相联接,产品收集仓5的 上部与过渡仓4的下部相配合联接,产品收集仓5的下部与存储仓15相配合联 接,固态或液态产物先进入产品收集仓5,再进入由l至多个带密封装置和保温 装置组成的可充填介质气体的存储仓15,也可在存储仓15上设置介质气入口 6, 以便于通过设置的介质气入口 6向存储仓15内加入介质气,使存储仓15内储 存的物质与介质气进行反应或对存储仓15内储存的物质进行处理。也可在过渡 仓4的上部设置有冷凝收集器2,所述冷凝收集器2上设有1个、或2个以上的 冷凝收集器,每个冷凝收集器可同时或分开单独使用,以方便对产品进行蒸馏、 冷凝处理,也还可在过渡仓4与冷凝收集器2之间设置安全泄压阀3,以防止各 种安全事故发生。也可在与过渡仓4相联接的冷凝收集器2连接管道上设置真 空泵l,它可实现较高的真空度。本发明所述的反应腔8可由金属外套、旋转腔体及其旋转支撑架构成,所 述反应腔(8)与产品收集系统联接端的高度小于与送料系统(11)联接端的高度, 即反应腔8可按一定倾斜角度安装,以便于物料向下运动;旋转腔体和旋转支 撑架安装在金属外套内;反应腔8的金属外套内安装有加热器7。所述加热器7 可采用电阻丝、中频感应器、微波、等离子弧、或激光装置、或其任意组合形 式制成,加热器7可制成预热段、反应段、蒸馏段3个功能段。所述反应腔8 的旋转腔体可采用莫来石、石英材料、石墨材料、或聚四氟乙烯材料单独制成、 或分段将上述材料任意形式制成,腔内壁可制为光滑面,也可制成带肋的不规 则面,腔内中心可根据需要,可安装拨料板混料;旋转腔体可在0-90度之间调 整,旋转腔体旋转速度可根据需要调整。旋转腔体的两端分别与螺旋送料器10 和过渡仓4之间采用动态密封配合,既可采用机械密封,也可采用盘根密封、0 型圈密封、或上述几种形式组合式密封、或其它组合式密封。也可在反应腔8上设置散热系统,以增强散热效果。所述控制系统可由计算机、电控柜及自动 控制装置构成,通过计算机、电控柜及自动控制系统构成的控制系统可实现连 续化生产。具体工作原理简要说明如下如物料由甲乙两个物料仓14分别进入密封料斗仓13,再通过控制仓门进入中间仓12进行布料,通过控制流量送入螺旋送料 器10,经螺旋送料器10给反应腔8供料,物料在旋转的有一定倾斜角度的反应 腔8内进行搅拌加热并进行相应的反应,同时物料在重力的作用下流向过渡仓4, 高温反应产生的气体由真空泵1抽入冷凝收集器2进行蒸馏、冷凝和除尘,可 对废气进行处理和再利用,如物料蒸汽可进入冷凝收集器2进行回收,固态、 或液物料则由产品收集仓5进行收集。冷凝收集器2和产品收集仓5可由多套 组成,以提高效率。本发明可作为一种连续化生产的加热真空反应炉,也可以 用作真空蒸馏炉;它主要是应用于合金的冶炼。参阅图l。
权利要求
1、一种可连续化生产的加热反应炉,其特征是送料系统(11)与安装了加热器(7)的反应腔(8)相联接,反应腔(8)的另一端与产品收集系统相联接,控制系统分别与送料系统(11)、反应腔(8)和产品收集系统相联接,所述送料系统(11)包括螺旋送料器(10)、中间仓(12)和密封料斗仓(13)组成,密封料斗仓(13)的下部与中间仓(12)的上部密封联接,中间仓(12)的下部与螺旋送料器(10)的内腔相联接;螺旋送料器(10)的内腔与反应腔(8)相联接。
2、 根据权利要求1所述的一种可连续化生产的加热反应炉,其特征是 所述送料系统的螺旋送料器(IO)、中间仓(12)、或反应腔(8)上设置有介质输 入口。
3、 根据权利要求1所述的一种可连续化生产的加热反应炉,其特征是 所述产品收集系统由过渡仓(4)、产品收集仓(5)和存储仓(15)构成,过渡仓(4) 的一端与反应腔(8)相联接,产品收集仓(5)的上部与过渡仓(4)的下部相配合 联接,产品收集仓(5)的下部与存储仓(15)相配合联接;或在存储仓(15)上设 置介质气入口(6)。
4、 根据权利要求1所述的一种可连续化生产的加热反应炉,其特征是 过渡仓(4)的上部设置有冷凝收集器(2)。
5、 根据权利要求4所述的一种可连续化生产的加热反应炉,其特征是 在过渡仓(4)与冷凝收集器(2)之间设置有安全泄压阀(3)。
6、 根据权利要求1所述的一种可连续化生产的加热反应炉,其特征是 所述反应腔(8)由金属外套、旋转腔体及其旋转支撑架构成,旋转腔体和旋转 支撑架安装在金属外套内;反应腔(8)的金属外套内安装有加热器(7)。
7、 根据权利要求7所述的一种可连续化生产的加热反应炉,其特征是 所述加热器(7)采用电阻丝、中频感应器、微波、等离子弧、或激光装置、或 其任意组合形式制成。
8、 根据权利要求7所述的一种可连续化生产的加热反应炉,其特征是所述反应腔(8)的旋转腔体采用莫来石、石英材料、石墨材料、或聚四氟乙烯 材料、或其任意组合的材料制成,旋转腔体的两端分别与螺旋送料器(10)和过 渡仓(4)之间采用动态密封配合。
9、 根据权利要求1所述的一种可连续化生产的加热反应炉,其特征是 所述反应腔(8)与产品收集系统联接端的高度小于与送料系统(11)联接端的高 度,或在反应腔(8)上设置散热系统。
10、 根据权利要求1所述的一种可连续化生产的加热反应炉,其特征是 与过渡仓(4)相联接的冷凝收集器(2)连接管道上设置有真空泵(1)。
全文摘要
一种可连续化生产的加热反应炉。它主要是解决现有普通反应炉难以实现连续生产,且功能单一,效率不高,或结构复杂,生产成本高等技术问题。其技术方案要点是送料系统(11)与安装了加热器(7)的反应腔(8)相联接,反应腔(8)的另一端与产品收集系统相联接,控制系统分别与送料系统(11)、反应腔(8)和产品收集系统相联接,所述送料系统(11)包括螺旋送料器(10)、中间仓(12)和密封料斗仓(13)组成,密封料斗仓(13)的下部与中间仓(12)的上部密封联接,中间仓(12)的下部与螺旋送料器(10)的内腔相联接;螺旋送料器(10)的内腔与反应腔(8)相联接。它既可作为一种可连续生产的加热真空反应炉,也可以用作真空蒸馏炉,且生产效率较高。它可应用于合金的冶炼。
文档编号C30B25/14GK101265572SQ20081003111
公开日2008年9月17日 申请日期2008年4月18日 优先权日2008年4月18日
发明者科 刘, 邹爱华 申请人:刘 科;邹爱华
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