Hdi挠性电路板镀铜填孔工艺的制作方法

文档序号:8200770阅读:344来源:国知局
专利名称:Hdi挠性电路板镀铜填孔工艺的制作方法
技术领域
本发明涉及挠性电路板的制作工艺。
背景技术
现在挠性电路板刚刚兴起HDI (高密度互连)技术,为了追求更多的功能,需要在 更小的区域能布更多的线,以达到更好的设计效果,在HDI挠性电路板中大量采用盲孔,这 些盲孔直径约50um到125咖,深度约25um到50um,厚径比约为2 : 1至lj 5 : l,在盲孔电镀 制程中,一般采用小电流直流电镀,由于印制板表面的盲孔口区域是高电流密度区域,而盲 孔里是低电流密度区域,电镀铜时在高电路密度区域,铜沉积的就厚,在低电流密度区域, 铜沉积的就薄,铜不能很好的填镀盲孔,直流电镀盲孔电镀后再利用压合时胶的的流动来 填满盲?L以达到板面平整的目的,但是由于盲孔孔径较小,压合胶孔时,很难确保胶能填 满盲孔,造成可靠性测试时出现爆板,留有很大的隐患。

发明内容
本发明采用一种新的电镀工艺,很好的解决了以上问题,基本可以填满盲孔,而可 靠性测试又不会出现爆板的情况。为解决盲孔电镀铜问题,本工艺采用脉冲电镀方式,即按 照时间使电流在供电方式上忽而正镀忽而反镀,按照时间比例交替进行,高速周期转向脉 冲电流与电镀液及添加剂产生作用,将高电流密度区域极化,重新将电镀电流再分配到低 电流密度区域,其效果是在高电流密度的区域的铜镀层减少,但此种情况不会在低电流密 度区域出现,因此盲孔中的电镀铜层比表面铜层厚,因而逐渐使得盲孔内铜层厚度与板面 铜的厚度趋向于均等。


下面通过附图对本发明作出进一步描述 由于传统电镀采用直流小电流电镀(如图1为传统直流电流示意图),印制板特 别是盲孔口的电流密度较高,所得到的铜镀层较厚,而盲孔里由于电流密度低,所以盲孔内 的铜镀层较薄(如图2为直流电镀盲孔效果示意图)。而当采用脉冲电流电镀(如图3为 脉冲电流示意图),电流方向按照时间交替,正向电镀时间约是反向电镀时间的20倍,而反 向电流约是正向电流的2.5倍,当阴极上的印制板处于正向电流时,印制板阴极区高电流 密度附近金属离子以极快的速度被消耗,当消耗至阴极界面浓度为零或很低时,电沉积几 乎停止,而低电流密度区域由于金属离子消耗速度慢,其电沉积还能继续,当电流处于反向 时,电流与电镀液及添加剂产生作用,将高电流密度区域极化,重新将电镀电流再分配到低 电流密度区域,所以高电流密度区域镀铜层较少,而低电流密度区域镀铜层较厚,经过持续 的交替变换电流方向,逐渐使得盲孔内铜层厚度与板面铜的厚度趋向于均等(如图4为脉 冲电镀盲孔效果示意图)。
权利要求
应用于挠性电路板,并且采用脉冲电流电镀盲孔的镀铜填孔工艺。
全文摘要
HDI挠性电路板镀铜填孔工艺是为解决盲孔电镀铜问题,本工艺采用脉冲电镀方式,即按照时间使电流在供电方式上忽而正镀忽而反镀,按照时间比例交替进行,高速周期转向脉冲电流与电镀液及添加剂产生作用,将高电流密度区域极化,重新将电镀电流再分配到低电流密度区域,其效果是在高电流密度的区域的铜镀层减少,但此种情况不会在低电流密度区域出现,因此盲孔中的电镀铜层比表面铜层厚,因而逐渐使得盲孔内铜层厚度与板面铜的厚度趋向于均等。
文档编号H05K3/42GK101711095SQ200910106840
公开日2010年5月19日 申请日期2009年4月16日 优先权日2009年4月16日
发明者盛光松 申请人:深圳市精诚达电路有限公司
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