Icp光源输出功率调节电路的制作方法

文档序号:8203215阅读:486来源:国知局
专利名称:Icp光源输出功率调节电路的制作方法
技术领域
本发明涉及一种输出功率调节电路,特别涉及一种ICP光源的输出功率调节电路。
背景技术
ICP光源(即电感耦合等离子体电源)作为原子发射光谱仪的激发光源,其是原子 发射光谱仪的重要部件之一。所谓电感耦合等离子体,就是在输出线圈中施加交变的高频 电压,从而在线圈中产生交变的高频电磁场,该电磁场使得线圈内石英炬管中的工作气体 中的电子和离子加速运动形成涡流,在电子和离子高速运动的过程中,会与工作气体分子 发生碰撞,使得温度急剧升高,升高的温度又会使更多的工作气体的分子电离而产生更多 的电子和离子,使温度进一步升高,进而形成可以自持的等离子体焰炬。等离子体焰炬是靠 电感线圈耦合的能量来维持,电感线圈相当于变压器的初级,等离子体焰炬中的涡流相当 于变压器的次级,这就是电感耦合等离子体的名称来源。由于等离子体焰炬的温度非常高 ( 一般高于6000K),可以使大多数元素得到激发,使从基态获得能量跃迁到激发态,在向回 跃迁的时候,发出该元素的特征谱线。因此电感耦合等离子体是一种非常优秀的激发光源, 广泛应用作为原子发射光谱仪的激发光源。该光源作为原子发射光谱仪的激发光源,具有 激发能力强、检出限低、灵敏度高、线性范围宽、基体效应小等特点。 现有的ICP光源一般包括高频信号源、推动放大级电路、功率放大级电路,推动放 大级电路、功率放大级电路对信号源的射频信号进行放大,经过输出匹配单元输出到电感 耦合等离子体的负载线圈用以产生等离子体。目前国内的ICP光源所使用的射频等离子体 发生器,多数采用手动调节光源输出功率的方法,调节缓慢,自动化程度低,调节精度差,故
障率高。

发明内容
针对上述现有技术的不足,本发明要解决的技术问题是提供一种由数模转换器和 场效应管组成的调节电路,该电路可采用软件控制数模转换器的输出值,从而达到控制功 率推动级的输出信号幅度,并最终达到控制光源输出功率的目的。
为解决上述技术问题,本发明采用如下技术方案 —种ICP光源输出功率调节电路,其包括一数模转换器和一场效应管,所述数模 转换器的输出端通过一负反馈放大电路与所述场效应管的栅极连接。 优选的,所述负反馈放大路包括一放大器,所述数模转换器的输出端与所述放大 器的反向输入端连接,所述放大器的反向输入端通过一电阻和一电容与所述放大器的输出 端连接,所述电阻、电容并联,所述放大器的正向输入端接地,所述放大器的输出端与一电 阻连接。 优选的,所述电阻为可调电阻。 上述技术方案具有如下有益效果在该方案中数模转换器的输入端可与计算机、单片机等装置连接,将数字信号转换为模拟输出电压,再经负反馈放大电路与场效应管的 栅极连接,由于场效应管导通电阻Ron的分压作用,使其控制输入功率推动级信号输出的 幅度,进一步控制最后功率输出的大小,这样即可通过计算机的软件来达到控制光源的输 出功率的目的,提高了控制调节的精度以及自动化程度。 上述说明仅是本发明技术方案的概述,为了能够更清楚了解本发明的技术手段, 并可依照说明书的内容予以实施,以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。 本发明的具体实施方式
由以下实施例及其附图详细给出。


图1为本发明实施例的电路图。
具体实施例方式
下面结合附图,对本发明的实施例进行详细的介绍。 如图1所示,该ICP光源输出功率调节电路包括一数模转换器DAC和一场效应管 Q7,数模转换器DAC的输出端通过一负反馈放大电路与场效应管Q7的栅极连接,负反馈放 大路包括一放大器IC1数模转换器DAC的输出端与一放大器IC1的反向输入端连接,放大 器IC1的反向输入端通过一电阻R58和一电容Cl与放大器IC1的输出端连接,电阻R58、 电容C1并联,放大器IC1的正向输入端接地,放大器IC1的输出端与一电阻R56连接。电 阻R58为可调电阻,通过调节电阻R58可设定。放大器IC1的输出端还连接有电容104和 一电阻R57,该电容104、电阻R57并联接地。电阻R56和场效应管Q7之间还设有一接地电 容C46。 该电路在使用时,数模转换器DAC的输入端可与计算机、单片机等装置连接,将数 字信号转换为模拟输出电压,再经负反馈放大电路与场效应管Q7的栅极连接,由于场效应 管Q7导通电阻Ron的分压作用,使其控制输入功率推动级信号输出的幅度,进一步控制最 后功率输出的大小,这样即可通过计算机的软件来达到控制光源的输出功率的目的,提高 了控制调节的精度以及自动化程度。 以上对本发明实施例所提供的一种ICP光源输出功率调节电路进行了详细介绍, 对于本领域的一般技术人员,依据本发明实施例的思想,在具体实施方式
及应用范围上均 会有改变之处,综上所述,本说明书内容不应理解为对本发明的限制,凡依本发明设计思想 所做的任何改变都在本发明的保护范围之内。
权利要求
一种ICP光源输出功率调节电路,其特征在于,其包括一数模转换器(DAC)和一场效应管(Q7),所述数模转换器(DAC)的输出端通过一负反馈放大电路与所述场效应管(Q7)的栅极连接。
2. 根据权利要求1所述的ICP光源输出功率调节电路,其特征在于所述负反馈放大 路包括一放大器(ICl),所述数模转换器(DAC)的输出端与所述放大器(IC1)的反向输入 端连接,所述放大器(IC1)的反向输入端通过一电阻(R58)和一电容(CI)与所述放大器 (IC1)的输出端连接,所述电阻(R58)、电容(CI)并联,所述放大器(IC1)的正向输入端接 地,所述放大器(IC1)的输出端与一电阻(R56)连接。
3. 根据权利要求2所述的ICP光源输出功率调节电路,其特征在于所述电阻(R58)为 可调电阻。
全文摘要
本发明公开了一种ICP光源输出功率调节电路,其包括一数模转换器和一场效应管,所述数模转换器的输出端通过一负反馈放大电路与所述场效应管的栅极连接。在该方案中数模转换器将数字信号转换为模拟输出电压,再经负反馈放大电路与场效应管的栅极连接,由于场效应管导通电阻Ron的分压作用,使其控制输入功率推动级信号输出的幅度,进一步控制最后功率输出的大小,这样即可通过计算机的软件来达到控制光源的输出功率的目的,提高了控制调节的精度以及自动化程度。
文档编号H05B41/38GK101707849SQ200910232138
公开日2010年5月12日 申请日期2009年12月2日 优先权日2009年12月2日
发明者张树龙, 胡晓斌 申请人:江苏天瑞仪器股份有限公司
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