专利名称：多晶硅铸锭炉测温视镜的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉的测温装置，具体的说是指一种多晶硅铸锭炉
测温视镜。
背景技术：
由于多晶硅生产主要是在铸锭炉中进行，而铸锭炉内的温度时刻处在极高的温度 状态下，致使测温视镜玻璃的温度也保持很高的温度。所以，传统的技术往往是在双层视镜 之间加注水冷的方案；这样一来，视镜玻璃内外表面的温差就回导致玻璃外表面出现混合 气的状态，从而就会产生硅沉着物，模糊视镜，以致不便于对炉内温度的测量，最终影响多 晶硅的生产。
发明内容本实用新型的目的是为了克服上述现有技术的不足，提供了结构简单，既能有效
降温，又能有效减少视镜玻璃出现污染物的一种多晶硅铸锭炉测温视镜。 为实现上述技术目的，本实用新型采用的技术方案是 —种多晶硅铸锭炉测温视镜，包括与铸锭炉内壁连通的内空式镜筒，且该镜筒伸
出铸锭炉外壁，所述镜筒的上端密封安装有上层视镜玻璃和底层视镜玻璃，上层视镜玻璃
与底层视镜玻璃之间设置有气孔，底层视镜玻璃内表面侧的镜筒壁上设置有两端分别与镜
筒外的进气管和镜筒内的内通道相通的齿状气体通道，气孔与齿状气体通道相通。 优选地，所述上层视镜玻璃的厚度小于或等于底层视镜玻璃的厚度。 优选地，所述齿状气体通道设置成围绕镜筒壁内的环形状或螺旋状。 优选地，所述镜筒的筒壁在靠近底层视镜玻璃的位置还设置有齿状水冷结构。 通过上述技术方案，本实用新型的有益效果是 1、本实用新型采用的是两层视镜玻璃结构，两层玻璃之间采用的是气体降温方 式；而且，底层视镜玻璃与视镜内通道也是气体降温，减少了内外两层玻璃外表面的较大温 差，大大地降低了污染物的产生，更有利于观察对炉内温度的测量； 2、本实用新型的底层视镜玻璃内表面侧的镜筒壁上设置齿状气体通道和齿状水 冷结构，散热面积更大，降温效果更好，有利于视镜的使用寿命和观察。
图1是本实用新型一种多晶硅铸锭炉测温视镜的结构示意图； 图2是本实用新型安装在多晶硅铸锭炉上的结构示意图； 图中上层视镜玻璃1，底层视镜玻璃2，气孔3，冷却水进水管4，进气管5，齿状气 体通道6，镜筒7，内通道8，齿状水冷结构9，视镜IO，硅芯棒ll，冷却水出水管12，电极13， 铸锭炉外壁14，铸锭炉内壁15，出气管16。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。 如图1，图2所示，一种多晶硅铸锭炉测温视镜，包括与铸锭炉内壁15连通的内空 式镜筒7，且该镜筒7伸出铸锭炉外壁14，所述镜筒7的上端密封安装有上层视镜玻璃1和 底层视镜玻璃2，上层视镜玻璃1与底层视镜玻璃2之间设置有气孔3，底层视镜玻璃2内 表面侧的镜筒7壁上设置有两端分别与镜筒7外的进气管5和镜筒7内的内通道8相通的 齿状气体通道4，气孔3与齿状气体通道4相通。 所述上层视镜玻璃1的厚度小于或等于底层视镜玻璃2的厚度。 所述齿状气体通道6设置成围绕镜筒7壁内的环形状或螺旋状。 所述镜筒7的筒壁在靠近底层视镜玻璃2的位置还设置有齿状水冷结构9。 工作时，打开电源开关，电极13开始通电，硅芯棒11开始加热，铸锭炉内的温度逐 渐升高，冷却的气体可以是采用氩气等惰性气体；打开冷却水进水管4和进气管5，这样内 通道8内顿时会充满气体；而且，气体会通过齿状气体通道6进入气孔3，使上层视镜玻璃1 和底层视镜玻璃2之间亦充满气体，从而达到使用气体对视镜玻璃的冷却。由于上层视镜 玻璃1、底层视镜玻璃2与镜筒7对外界均是密封连接，所以，上层视镜玻璃1和底层视镜玻 璃2之间充满的气体不会与外界发生反应而产生异物，不影响对视镜10的观察效果。而最 后的尾气则通过出气管16排出。 与此同时，冷却水则从一侧的进水管4进入到齿状水冷结构9后，从另一侧的冷却
水出水管12出来，进一步强化对镜筒7的冷却效果。由于齿状气体通道4和齿状水冷结构
9均设置有齿状面，所以散热的效果更好，产生污染物的可能性大大地降低了。 本实用新型利用两层视镜玻璃，逐层平稳降温，有效克服了视镜玻璃上异物的产
生；特有的散热结构通道，能有效实现快速降温；所以，本实用新型更有利于对视镜10玻璃
的保护，延长视镜10的使用寿命，有利于对炉内温度的测量。 以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，本领域的技 术人员在本实用新型技术方案范围内进行的通常变化和替换都应包含在本实用新型的保 护范围内。
权利要求一种多晶硅铸锭炉测温视镜，包括与铸锭炉内壁(15)连通的内空式镜筒(7)，且该镜筒(7)伸出铸锭炉外壁(14)，其特征在于所述镜筒(7)的上端密封安装有上层视镜玻璃(1)和底层视镜玻璃(2)，上层视镜玻璃(1)与底层视镜玻璃(2)之间设置有气孔(3)，底层视镜玻璃(2)内表面侧的镜筒(7)壁上设置有两端分别与镜筒(7)外的进气管(5)和镜筒(7)内的内通道(8)相通的齿状气体通道(6)，气孔(3)与齿状气体通道(6)相通。
2. 根据权利要求l所述的多晶硅铸锭炉测温视镜，其特征在于所述上层视镜玻璃(1)的厚度小于或等于底层视镜玻璃(2)的厚度。
3. 根据权利要求l所述的多晶硅铸锭炉测温视镜，其特征在于所述齿状气体通道(6)设置成围绕镜筒(7)壁内的环形状或螺旋状。
4. 根据权利要求l所述的多晶硅铸锭炉测温视镜，其特征在于所述镜筒(7)的筒壁在靠近底层视镜玻璃(2)的位置还设置有齿状水冷结构(9)。
专利摘要本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉测温视镜，包括与铸锭炉内壁(1 5)连通的内空式镜筒(7)，且该镜筒(7)伸出铸锭炉外壁(14)，所述镜筒(7)的上端密封安装有上层视镜玻璃(1)和底层视镜玻璃(2)，上层视镜玻璃(1)与底层视镜玻璃(2)之间设置有气孔(3)，底层视镜玻璃(2)内表面侧的镜筒(7)壁上设置有两端分别与镜筒(7)外的进气管(5)和镜筒(7)内的内通道(8)相通的齿状气体通道(6)，气孔(3)与齿状气体通道(6)相通。本实用新型的视镜玻璃使用寿命长，更有利于对炉内温度的测量。
文档编号C30B28/06GK201442989SQ20092002895
公开日2010年4月28日 申请日期2009年7月6日 优先权日2009年7月6日
发明者曹顶峰 申请人:济宁凯伦光伏材料有限公